硬质基板层叠体的加工方法及紧固夹具的制作方法

硬质基板层叠体的加工方法及紧固夹具的制作方法
【专利摘要】本发明提供一种良好地抑制利用蚀刻进行玻璃基板等硬质基板层叠体的外形加工时由蚀刻液引起的表面层的侵蚀、且高效地加工玻璃基板等硬质基板层叠体的方法。一种硬质基板层叠体的加工方法，其包括以下工序：准备硬质基板层叠体的工序，所述硬质基板层叠体是将2片以上的硬质基板彼此用粘接剂贴合，上述硬质基板的至少1片在基板表面具备选自金属层、树脂层、二氧化硅层、有机硅酸盐层以及透明电极层中的任1种或2种以上，且所述硬质基板层叠体进行了规定的倒角；和将上述进行了倒角的硬质基板层叠体在用紧固夹具固定的状态下浸渍于上述蚀刻液中进行蚀刻的工序，所述紧固夹具将上述层叠体的上述两表面的整面在厚度方向进行按压。
【专利说明】硬质基板层叠体的加工方法及紧固夹具

【技术领域】
[0001] 本发明涉及一种硬质基板层叠体的加工方法及紧固夹具。

【背景技术】
[0002] 在电视机、笔记本电脑、汽车导航、台式计算机、手机、电子记事本以及PDA (掌上 电脑，Personal Digital Assistant)之类的各种电子设备的显示装置中，使用液晶显示器 (LCD)、有机EL显示器（0ELD)、电致发光显示器（ELD)、场发射显示器（FED)以及等离子体显 示器（PDP)等显示元件。并且，为了保护显示元件，通常与显示元件对置地设置用于保护的 平板玻璃制品。
[0003] 这样的平板玻璃制品是将平板玻璃加工成适于各显示装置的大小和形状的制品， 但为了应对市场所要求的价格水平，需要以良好的生产效率进行制作。
[0004] 因此，日本特开2009-256125号公报(专利文献1)中提出了提高平板玻璃制品的 生产效率的方法。具体而言，提出了一种平板玻璃的加工方法，其特征在于，堆叠多片原料 平板玻璃（1)，并且通过介于各原料平板玻璃（1)间的能剥离的固定材料（2)将各原料平 板玻璃（1) 一体地固定而形成原料玻璃块(A)，将该原料玻璃块(A)在面方向分割而形成小 面积的分割玻璃块（B)，对该分割玻璃块（B)的至少外周进行加工而形成成为平面制品形 状的制品玻璃块（C)，对该制品玻璃块（C)进行端面加工后，将该制品玻璃块（C)各个分离 (权利要求1)。并记载了如下内容：由此，在堆叠多片原料平板玻璃的状态下，进行了分割、 外形加工以及端面加工，因此能够以较少工序得到多片平板玻璃制品，生产率高(说明书的 [0007]段)。
[0005] 如专利文献1中记载的被分割的玻璃基板层叠体，作为外形加工后的端面加工， 有时进行蚀刻。作为利用蚀刻对层叠体进行处理的技术，例如，专利文献2中记载了如下内 容：利用蜡粘贴适当片数的进行了倒角磨削的晶片，将从各晶片间溢出的蜡利用三氯乙烯 清洗来除去的工序；以及通过将批量晶片（wafer bulk)浸渍在蚀刻剂中，边使其旋转边仅 蚀刻晶片的外周部，从而将晶片的倒角磨削损伤层除去的晶片的倒角磨削损伤层的除去方 法(权利要求1等)。还记载了如下内容：据此，能够在不使晶片的厚度产生不均的情况下仅 将倒角磨削部的损伤层充分地蚀刻除去(说明书第2页左上栏等)。
[0006] 另外，专利文献3中记载了一种蚀刻夹具，其特征在于，作为此时使用的蚀刻夹 具，由支承夹具和压紧夹具构成，所述支承夹具使具有开口部的2个基板的非蚀刻面相对 地支承，所述压紧夹具从分别具有比上述基板小的开口部且被上述支承夹具支承的两基板 的蚀刻面侧，分别隔着嵌有槽的〇型环对该基板进行按压并固定；利用上述支承夹具和上 述2个基板的非蚀刻面形成对蚀刻液气密的空间，浸渍于蚀刻液时，防止蚀刻液附着于该 非蚀刻面(权利要求1等)。还记载了如下内容：据此，能够提供一种蚀刻夹具，即使在填装 多个基板而对多片基板同时进行处理时也能够防止设备的大型化，抑制蚀刻液使用量(说 明书的[0035]段等)。
[0007] 专利文献1 :日本特开2009-256125号公报
[0008] 专利文献2 :日本特开昭62-132324号公报
[0009] 专利文献3 :日本特开2001-358115号公报


【发明内容】

[0010] 然而，各种电子设备的显示装置中使用的平板玻璃制品大多在玻璃基板的端部区 域形成有布线用等的金属图案、印刷，蚀刻时，蚀刻液进入构成层叠体的基板间、或基板内 的空隙，可能使基板剥离、或使金属图案、印刷劣化。
[0011] 针对此，在专利文献2中，如专利文献2的图3和图4所示，将晶片压板4配置于层 叠后的晶片的两表面并对晶片进行按压且使其旋转。然而，在专利文献2中，由于没有小心 地按压至晶片的两表面整体、特别是端部来进行固定，所以蚀刻液可能从层叠体侧面浸入。
[0012] 另外，在专利文献3中，作为蚀刻时固定基板的夹具，使用专利文献3的图2中记 载的0型环，从基板的两蚀刻面侧隔着该0型环进行按压，固定基板(说明书的[0012]段 等)。然而，由于专利文献3中也是使基板的按压隔着0型环来进行，所以无法按压晶片的 两表面整体地进行固定，蚀刻液可能从层叠体侧面浸入。
[0013] 因此，本发明的课题在于提供一种方法，其良好地抑制利用蚀刻进行玻璃基板等 硬质基板层叠体的外形加工时由蚀刻液引起的表面层的侵蚀、且高效地加工玻璃基板等硬 质基板层叠体。另外，本发明的另一课题在于提供用于该加工方法的蚀刻夹具。
[0014] 本发明人等为了解决上述课题而进行了深入研究，发现能够提供一种方法，其在 进行层叠体的端面加工的蚀刻工序中，通过利用紧固夹具将层叠体的两表面的整面在厚度 方向按压地固定，从而良好地抑制由蚀刻液引起的表面层的侵蚀、且高效地加工玻璃基板 等硬质基板层置体。
[0015] 基于以上见解完成的本发明，一方面是一种硬质基板层叠体的加工方法，其包括 如下工序：
[0016] 准备硬质基板层叠体的工序，所述硬质基板层叠体是将2片以上的硬质基板彼此 用粘接剂贴合，所述硬质基板的至少1片在基板表面具备选自金属层、树脂层、二氧化硅 层、有机硅酸盐层以及透明电极层中的任1种或2种以上，且所述硬质基板层叠体进行了规 定的倒角；和
[0017] 将所述进行了倒角的硬质基板层叠体在用紧固夹具固定的状态下浸渍于蚀刻液 中进行蚀刻的工序，所述紧固夹具将所述层叠体的所述两表面的整面在厚度方向进行按 压。
[0018] 本发明涉及的硬质基板层叠体的加工方法，在一个实施方式中，所述紧固夹具具 备将所述层叠体的所述两表面的整面在厚度方向进行按压的2片板状部、固定所述2片板 状部的多个螺栓部和螺母部。
[0019] 本发明涉及的硬质基板层叠体的加工方法，在另一个实施方式中，所述紧固夹具 由对所述蚀刻液具有耐腐蚀性的材料形成。
[0020] 本发明涉及的硬质基板层叠体的加工方法，在又一个实施方式中，在所述蚀刻工 序中，用所述紧固夹具按压所述层叠体时的螺母的扭紧力矩为10?40N · m。
[0021] 本发明涉及的硬质基板层叠体的加工方法，在又一个实施方式中，所述板状部的 面积不小于所述层叠体表面的面积。
[0022] 本发明涉及的硬质基板层叠体的加工方法，在又一个实施方式中，在所述将2片 以上的硬质基板彼此用粘接剂贴合而得的硬质基板层叠体的准备工序中，所述硬质基板层 叠体是在将2片以上的硬质基板彼此用粘接剂贴合后，通过在厚度方向切断、分割来形成。
[0023] 本发明涉及的硬质基板层叠体的加工方法，在又一个实施方式中，在所述蚀刻工 序中，蚀刻液的浓度为30质量％以上，蚀刻时间为20?120秒。
[0024] 本发明涉及的硬质基板层叠体的加工方法，在又一个实施方式中，在所述蚀刻工 序中，蚀刻液的浓度小于30质量％，蚀刻时间超过2分钟且为40分钟以下。
[0025] 本发明涉及的硬质基板层叠体的加工方法，在又一个实施方式中，所述粘接剂含 有（A)多官能（甲基）丙烯酸酯、(B)单官能（甲基）丙烯酸酯以及（C)光聚合引发剂。
[0026] 本发明涉及的硬质基板层叠体的加工方法，在又一个实施方式中，所述粘接剂含 有（A)多官能（甲基）丙烯酸酯、(B)单官能（甲基）丙烯酸酯、(C)光聚合引发剂、(F)有机 过氧化物以及（G)分解促进剂。
[0027] 本发明的另一方面是一种紧固夹具，其在将2片以上的硬质基板彼此用粘接剂贴 合而得的硬质基板层叠体的蚀刻工序中用于固定所述层叠体，
[0028] 具备将所述层叠体的所述两表面的整面在厚度方向进行按压的2片板状部、固定 所述2片板状部的多个螺栓部和螺母部。
[0029] 本发明涉及的紧固夹具，在一个实施方式中，由对所述蚀刻工序中使用的蚀刻液 具有耐腐蚀性的材料形成。
[0030] 本发明涉及的紧固夹具，在一个实施方式中，所述板状部的面积不小于所述层叠 体表面的面积。
[0031] 本发明涉及的紧固夹具，在另一个实施方式中，硬质基板层叠体是将设置在各硬 质基板之间的粘接剂层端部的前端部分除去而成的硬质基板层叠体。
[0032] 本发明涉及的硬质基板层叠体的加工方法，在另一个实施方式中，将设置在各硬 质基板之间的粘接剂层端部的前端部分除去后进行蚀刻。
[0033] 本发明涉及的硬质基板层叠体的加工方法，在另一个实施方式中，进行蚀刻的工 序是在以各硬质基板在横向层叠的方式用紧固夹具固定的状态下浸溃于蚀刻液中进行蚀 刻的工序。
[0034] 根据本发明，能够良好地抑制利用蚀刻进行玻璃基板等硬质基板层叠体的外形加 工时由蚀刻液引起的表面层的侵蚀、且能够高效地加工玻璃基板等硬质基板层叠体。

【专利附图】

【附图说明】
[0035] 图1是进行切断加工前的大尺寸的透光性硬质基板层叠体的示意图。
[0036] 图2是通过切断加工切出的透光性硬质基板层叠体的示意图。
[0037] 图3是示出外形加工线的透光性硬质基板层叠体的示意图。
[0038] 图4是将粘接剂层的端部的规定范围的前端部分除去后的透光性硬质基板层叠 体的示意图。
[0039] 图5是将紧固夹具设置于透光性硬质基板层叠体的状态图。
[0040] 图6是设有贯通孔的板状部的示意图。
[0041] 图7是端面加工后的透光性硬质基板层叠体的平面示意图。
[0042] 图8是将比较例涉及的紧固夹具设置于透光性硬质基板层叠体的状态图。
[0043] 符号说明
[0044] 10 大尺寸的透光性硬质基板层叠体
[0045] 11 大尺寸的透光性硬质基板
[0046] 11'透光性硬质基板
[0047] 12 大尺寸的粘接剂层
[0048] 12'粘接剂层
[0049] 13 切断线
[0050] 14 透光性硬质基板层叠体
[0051] 15 外形加工线
[0052] 20 透光性硬质基板层叠体
[0053] 33 紧固夹具
[0054] 33'紧固夹具
[0055] 34 板状部
[0056] 34'外侧板状部
[0057] 35 螺栓部
[0058] 35'螺栓部
[0059] 36 螺母部
[0060] 36'螺母部
[0061] 37 内侧板状部
[0062] 38 板状部的贯通孔

【具体实施方式】
[0063] 以下，参照附图对本发明的实施方式进行详细说明。
[0064] < 1.透光性硬质基板层叠体10的准备>
[0065] 在本实施方式中，硬质基板没有限定。作为硬质基板，可以使用不具有透光性的硬 质基板。在本实施方式中，作为硬质基板，优选使用透光性硬质基板。图1是进行切断加工 和外形加工前的大尺寸的透光性硬质基板层叠体10的示意图。构成大尺寸的透光性硬质 基板层叠体10的大尺寸的透光性硬质基板11在基板表面具备选自金属层、树脂层、二氧化 硅层、有机硅酸盐层以及透明电极层中的任1种或2种以上，例如可举出平板玻璃(增强平 板玻璃、原料平板玻璃、带有透明导电膜的玻璃基板、形成有电极或电路的玻璃基板等)、蓝 宝石基板、石英基板、塑料基板、氟化镁基板等。一片大尺寸的透光性硬质基板11的大小没 有特别限定，典型的是具有10000?250000mm 2左右的面积，具有0. 1?2mm左右的厚度。 通常层叠的每一片大尺寸的透光性硬质基板11都为相同尺寸。大尺寸的透光性硬质基板 层叠体10层叠有2片以上的透光性硬质基板11。如果大尺寸的透光性硬质基板层叠体10 整体的厚度过薄，则机械强度变弱，为了加工将利用粘接剂固定在承受台上的透光性硬质 基板层叠体10剥离时容易破裂，所以根据透光性硬质基板11的材质，优选介由光固化性粘 接剂层叠5片以上(作为基板11的总计厚度为0. 52mm以上)、更优选10?30片左右(作为 基板11的总计厚度为1. 5?66mm左右）的透光性硬质基板11。
[0066] 虽非限定，但可以在各透光性硬质基板11的表面附加用于发挥板状制品的功能 之一的规定的印刷图案、镀覆图案。作为印刷图案的例子，可举出手机的显示画面的设计， 作为镀覆图案的例子，可举出实施有A1或AINd等的金属布线图案、镀铬图案的旋转编码 器。
[0067] 透光性硬质基板11的层叠例如可以通过如下方式来实施，即，在将在一侧或两侧 的贴合面涂布有光固化性粘接剂的各透光性硬质基板11彼此贴合后，照射用于使夹在两 透光性硬质基板11之间并扩展的粘接剂发生固化的光。通过将上述过程重复所希望的次 数，从而能够制作层叠有所希望片数的透光性硬质基板11的透光性硬质基板层叠体10。光 照射可以在每次层叠1片透光性硬质基板11时实施，也可以在光到达粘接剂的限度内进行 多片层叠后集中实施。此时，如果光照射量过强，则透光性硬质基板层叠体的剥离性、外观 变得容易经时劣化，另一方面，如果光照射量过弱，则粘接剂的固化变得不充分。并且，如 果光照射量过多，则固化的粘接剂的层变得不均，可能产生不均匀。由于这样的不均匀，在 后述的蚀刻工序中，蚀刻液进入基板间，有时发生基板剥离、形成于基板上的金属图案或印 刷涂料的腐蚀。从这些观点出发，优选每次贴合透光性硬质基板时为了使粘接剂固化而照 射的光的照射量为10?10000mJ/cm 2,更优选为1000?6000mJ/cm2,进一步优选为10? 3000mJ/cm 2。照射时间优选为1?200秒，更优选为1?100秒。
[0068] 作为光固化性粘接剂，可以使用公知的任意的光固化性粘接剂，没有特别限定，例 如优选如W02008/018252中记载的含有（A)多官能（甲基）丙烯酸酯、（B)单官能（甲基）丙 烯酸酯以及（C)光聚合引发剂的粘接性组合物。
[0069] 作为（A)多官能（甲基）丙烯酸酯，可以使用在低聚物/聚合物末端或侧链上2个 以上（甲基）丙烯酰化的多官能（甲基）丙烯酸酯低聚物/聚合物、具有2个以上（甲基）丙 烯酰基的多官能（甲基）丙烯酸酯单体。例如，作为多官能（甲基）丙烯酸酯低聚物/聚合 物，可举出1，2-聚丁二烯末端聚氨酯（甲基）丙烯酸酯(例如，日本曹达公司制"TE-2000"、 "TEA-1000")、其氢化物(例如，日本曹达公司制"TEAI-1000")、l，4-聚丁二烯末端聚氨酯 (甲基）丙烯酸酯(例如，大阪有机化学公司制"BAC-45")、聚异戊二烯末端（甲基）丙烯酸 酯、聚酯系聚氨酯（甲基）丙烯酸酯(例如，日本合成化学公司制"UV-2000B"、"UV-3000B"、 "UV-7000B"，根上工业公司制"KHP-11"、"KHP-17")、聚醚系聚氨酯（甲基）丙烯酸酯(例如， 日本合成化学公司制"，-370(?"、"，-610(?")、或双酚4型环氧（甲基)丙烯酸酯等。其中， 优选聚酯系聚氨酯（甲基）丙烯酸酯。
[0070] 在此，聚氨酯（甲基）丙烯酸酯是指通过使多元醇化合物（以下，用X表示）与有机 聚异氰酸酯化合物（以下，用Y表示）与羟基（甲基）丙烯酸酯（以下，用Z表示）反应(例如， 加聚反应）而得到的聚氨酯（甲基）丙烯酸酯。在此，羟基（甲基）丙烯酸酯是指具有羟基的 (甲基）丙烯酸酯。
[0071 ] 作为多元醇化合物（X)，可举出乙二醇、二乙二醇、三乙二醇、四乙二醇、聚乙二醇、 丙二醇、二丙二醇、聚丙二醇、丁二醇、1，4- 丁二醇、聚丁二醇、1，5-戊二醇、1，6-己二醇、 1，8_半二醇、1，9_壬二醇、3_甲基_1，5_戊二醇、2, 4_二乙基_1，5_戊二醇、2, 2_ 丁基乙 基-1，3-丙二醇、新戊二醇、环己烷二甲醇、氢化双酚A、聚己内酯、三羟甲基乙烷、三羟甲基 丙烷、聚三羟甲基丙烷、季戊四醇、聚季戊四醇、山梨糖醇、甘露糖醇、丙三醇、聚丙三醇、聚 四亚甲基二醇等多元醇，聚环氧乙烷、聚环氧丙烷、具有环氧乙烷/环氧丙烷的嵌段或无规 共聚的至少1种结构的聚醚多元醇，作为该多元醇或聚醚多元醇与马来酸酐、马来酸、富马 酸、衣康酸酐、衣康酸、己二酸、间苯二甲酸等多元酸的缩合物的聚酯多元醇，己内酯改性聚 四亚甲基多元醇等己内酯改性多元醇，聚烯烃系多元醇，聚碳酸酯系多元醇，聚丁二烯多元 醇、聚异戊二烯多元醇、氢化聚丁二烯多元醇、氢化聚异戊二烯多元醇等聚二烯系多元醇， 聚二甲基硅氧烷多元醇等有机硅多元醇等。其中，更优选聚醚多元醇和/或聚酯多元醇。
[0072] 作为有机聚异氰酸酯化合物（Y)，无需特别限定，例如可以使用芳香族系、脂肪族 系、环式脂肪族系、脂环式系等的聚异氰酸酯，其中优选使用甲苯二异氰酸酯（TDI)、二苯 基甲烷二异氰酸酯（MDI)、氢化二苯基甲烷二异氰酸酯（H-MDI)、聚苯基甲烷聚异氰酸酯 (粗MDI)、改性二苯基甲烷二异氰酸酯（改性MDI)、氢化苯二亚甲基二异氰酸酯（H-XDI)、 苯二亚甲基二异氰酸酯（XDI)、六亚甲基二异氰酸酯（HMDI)、三甲基六亚甲基二异氰酸酯 (TMXDI)、四甲基苯二亚甲基二异氰酸酯（m-TMXDI)、异佛尔酮二异氰酸酯（ΙΗΠ)、降冰片 烯二异氰酸酯（NBDI )、1，3-双(异氰酸根合甲基）环己烷（H6XDI)等聚异氰酸酯或这些聚异 氰酸酯的三聚体化合物、这些聚异氰酸酯与多元醇的反应生成物等。其中，优选氢化苯二亚 甲基二异氰酸酯（H-XDI)和/或异佛尔酮二异氰酸酯（iroi)。
[0073] 作为羟基（甲基）丙烯酸酯（Z)，例如可举出（甲基）丙烯酸2-羟乙酯、（甲基）丙烯 酸2-羟丙酯、（甲基）丙烯酸2-羟丁酯、2-羟基乙基（甲基)丙烯酰基磷酸酯、（甲基)丙烯酸 4-羟丁酯、2-(甲基)丙烯酰氧基乙基-2-羟基丙基邻苯二甲酸酯、二（甲基)丙烯酸甘油酯、 2-羟基-3-(甲基）丙烯酰氧基丙基（甲基）丙烯酸酯、己内酯改性2-羟基乙基（甲基）丙烯 酸酯、季戊四醇三（甲基）丙烯酸酯、二季戊四醇五（甲基）丙烯酸酯、己内酯改性（甲基）丙烯 酸2-羟基乙酯等。其中，优选选自（甲基）丙烯酸2-羟乙酯、（甲基）丙烯酸2-羟丙酯、（甲 基）丙烯酸2-羟丁酯中的1种以上。
[0074] 多官能（甲基)丙烯酸酯低聚物/聚合物的重均分子量优选为7000?60000,更优 选为13000?40000。在第1实施例中，重均分子量按下述条件，使用四氢呋喃作为溶剂，使 用GPC系统（T0S0H公司制SC-8010)，用市售的标准聚苯乙烯制作标准曲线而求得。
[0075] 流速：1. Oml/min
[0076] 设定温度：40 °C
[0077] 柱构成：1 根 TOSOH 公司制"TSK guardcolumn MP ( XL)"6. 0mmIDX4. 0cm 和 2 根 T0S0H 公司制"TSK-GELMULTIP0REHXL-M"7. 8mmIDX30. 0cm (理论塔板数 16000 塔板)，共计 3根(作为整体，理论塔板数32000塔板）
[0078] 样品注入量：100μ 1 (试样液浓度lmg/ml)
[0079] 送液压力：39kg/cm2
[0080] 检测器：RI检测器
[0081] 作为2官能（甲基)丙烯酸酯单体，可举出1，3-丁二醇二（甲基)丙烯酸酯、1，4-丁 二醇二（甲基）丙烯酸酯、1，6-己二醇二（甲基）丙烯酸酯、1，9-壬二醇二（甲基）丙烯酸酯、 新戊二醇二（甲基)丙烯酸酯、二环戊基二（甲基)丙烯酸酯、2-乙基-2-丁基-丙二醇二（甲 基）丙烯酸酯、新戊二醇改性三羟甲基丙烷二（甲基）丙烯酸酯、硬脂酸改性季戊四醇二（甲 基）丙烯酸酯、聚丙二醇二（甲基）丙烯酸酯、2, 2-双（4-(甲基）丙烯酰氧基二乙氧基苯基） 丙烷、2, 2-双（4-(甲基）丙烯酰氧基丙氧基苯基）丙烷、或2, 2-双（4-(甲基）丙烯酰氧基 四乙氧基苯基）丙烷等。作为3官能（甲基）丙烯酸酯单体，可举出三羟甲基丙烷三（甲基） 丙烯酸酯、三[(甲基）丙烯酰氧基乙基]异氰脲酸酯等。作为4官能以上的（甲基）丙烯酸酯 单体，可举出二羟甲基丙烷四（甲基）丙烯酸酯、季戊四醇四（甲基）丙烯酸酯、季戊四醇乙氧 基四（甲基）丙烯酸酯、二季戊四醇五（甲基）丙烯酸酯、或二季戊四醇六（甲基）丙烯酸酯等。
[0082] 在多官能（甲基）丙烯酸酯中，从效果大的角度出发，优选含有多官能（甲基）丙烯 酸酯低聚物/聚合物和/或2官能（甲基）丙烯酸酯单体，更优选并用多官能（甲基）丙烯酸 酯低聚物/聚合物与2官能（甲基）丙烯酸酯单体。并用多官能（甲基）丙烯酸酯低聚物/ 聚合物与2官能（甲基）丙烯酸酯单体时的含有比例是，在多官能（甲基）丙烯酸酯低聚物/ 聚合物与2官能（甲基)丙烯酸酯单体的总计100质量份中，以质量比计，优选多官能（甲基） 丙烯酸酯低聚物/聚合物：2官能（甲基)丙烯酸酯单体=10?90:90?10、更优选为25? 75:75?25、最优选为40?65:60?35。
[0083] (A)多官能（甲基)丙烯酸酯优选疏水性的多官能（甲基)丙烯酸酯。疏水性的多官 能（甲基）丙烯酸酯是指不具有羟基的（甲基）丙烯酸酯。为水溶性的情况下，切削加工时组 合物的固化体发生溶胀而引起错位，有可能加工精度差，因此不优选。即使为亲水性，如果 其组合物的固化体不会因水而发生大幅溶胀或部分溶解，则可以使用。
[0084] 作为（B)单官能（甲基）丙烯酸酯单体、可举出（甲基）丙烯酸甲酯、（甲基）丙烯酸 乙酯、（甲基）丙烯酸丙酯、（甲基）丙烯酸丁酯、（甲基）丙烯酸2-乙基己酯、（甲基）丙烯酸异 辛酯、（甲基）丙烯酸异癸酯、（甲基）丙烯酸月桂酯、（甲基）丙烯酸硬脂酯、（甲基）丙烯酸苯 酯、（甲基）丙烯酸环己酯、（甲基）丙烯酸二环戊酯、（甲基）丙烯酸二环戊烯酯、（甲基）丙烯 酸二环戊烯氧基乙酯、（甲基）丙烯酸异冰片酯、甲氧基化环癸三烯（甲基）丙烯酸酯、（甲基） 丙烯酸2-羟乙酯、（甲基）丙烯酸2-羟丙酯、（甲基）丙烯酸3-羟丙酯、（甲基）丙烯酸4-羟 丁酯、（甲基)丙烯酸四氢糠酯、（甲基)丙烯酸2-羟基-3-苯氧基丙酯、（甲基)丙烯酸缩水甘 油酯、己内酯改性（甲基）丙烯酸四氢糠酯、（甲基）丙烯酸3-氯-2-羟丙酯、（甲基）丙烯酸 N，N-二甲氨基乙酯、（甲基）丙烯酸N，N-二乙基氨基乙酯、（甲基）丙烯酸叔丁基氨基乙酯、 乙氧羰基甲基（甲基）丙烯酸酯、苯酚环氧乙烷改性（甲基）丙烯酸酯、苯酚(环氧乙烷2摩尔 改性）（甲基）丙烯酸酯、苯酚(环氧乙烷4摩尔改性）（甲基）丙烯酸酯、对异丙苯基苯酚环 氧乙烷改性（甲基）丙烯酸酯、壬基苯酚环氧乙烷改性（甲基）丙烯酸酯、壬基苯酚(环氧乙烷 4摩尔改性）（甲基)丙烯酸酯、壬基苯酚(环氧乙烷8摩尔改性）（甲基)丙烯酸酯、壬基苯酚 (环氧丙烷2. 5摩尔改性）（甲基）丙烯酸酯、2-乙基己基卡必醇（甲基）丙烯酸酯、环氧乙烷 改性邻苯二甲酸（甲基）丙烯酸酯、环氧乙烷改性琥珀酸（甲基）丙烯酸酯、（甲基）丙烯酸三 氟乙酯、丙烯酸、甲基丙烯酸、马来酸、富马酸、ω-羧基-聚己内酯单（甲基)丙烯酸酯、邻苯 二甲酸单羟基乙基（甲基）丙烯酸酯、（甲基）丙烯酸二聚体、β-(甲基）丙烯酰氧基乙基氢 琥珀酸酯、Ν-(甲基）丙烯酰氧基烷基六氢邻苯二甲酰亚胺、（甲基）丙烯酸2- (1，2_环己 二甲酰亚胺）乙酯、乙氧基乙二醇二（甲基）丙烯酸酯、（甲基）丙烯酸苄酯等。
[0085] 在单官能（甲基)丙烯酸酯中，从效果大的角度出发，优选选自苯酚环氧乙烷2摩尔 改性（甲基）丙烯酸酯、（甲基）丙烯酸2- (1，2-环己二甲酰亚胺）乙酯以及（甲基）丙烯酸 2-羟基-3-苯氧基丙酯中的1种以上。更优选并用苯酚环氧乙烷2摩尔改性（甲基）丙烯 酸酯与2- (1，2-环己二甲酰亚胺）乙酯和/或（甲基）丙烯酸2-羟基-3-苯氧基丙酯。
[0086] 并用苯酚环氧乙烷2摩尔改性（甲基）丙烯酸酯与（甲基）丙烯酸2- (1，2-环己二 甲酰亚胺）乙酯和/或（甲基）丙烯酸2-羟基-3-苯氧基丙酯时的含有比例是，在苯酚环氧 乙烷2摩尔改性（甲基）丙烯酸酯、（甲基）丙烯酸2- (1，2-环己二甲酰亚胺）乙酯以及（甲 基）丙烯酸2-羟基-3-苯氧基丙酯的总计100质量份中，以质量比计，优选苯酚环氧乙烷 2摩尔改性（甲基）丙烯酸酯：（甲基）丙烯酸2- (1，2-环己二甲酰亚胺）乙酯和/或（甲基） 丙烯酸2-羟基-3-苯氧基丙酯=5?80:95?20,更优选为15?60:85?40,最优选为 20 ?40:70 ?60〇
[0087] (B)单官能（甲基)丙烯酸酯与（A)同样地更优选疏水性的单官能（甲基)丙烯酸酯。 疏水性的多官能（甲基）丙烯酸酯是指不具有羟基的（甲基）丙烯酸酯。为水溶性的情况下， 因切削加工时组合物的固化体发生溶胀而引起错位，有可能加工精度差，因此不优选。即使 为亲水性，如果其组合物的固化体不会因水而发生溶胀或部分溶解，则可以使用。
[0088] (A)多官能（甲基）丙烯酸酯的使用量在（A)和（B)的总计量100质量份中优选为 15?95质量份，更优选为20?50质量份。如果为15质量份以上，则将组合物的固化体浸 渍于温水时，能够充分促进该固化体从被粘物剥离的性质（以下，简称为"剥离性")，组合物 的固化体能够膜状地剥离。如果为95质量份以下，则也不用担心初始粘接性降低。
[0089] (C)光聚合引发剂是为了利用可见光线、紫外线的活性光线进行敏化来促进树 脂组合物的光固化而配合的物质，可以使用公知的各种光聚合引发剂。具体而言，可举出 二苯甲酮或其衍生物；苯偶酰或其衍生物；蒽醌或其衍生物；苯偶姻；苯偶姻甲醚、苯偶姻 乙醚、苯偶姻丙醚、苯偶姻异丁醚、苯偶酰二甲基缩酮等苯偶姻衍生物；二乙氧基苯乙酮、 4_叔丁基三氯苯乙酮等苯乙酮衍生物；2-二甲氨基乙基苯甲酸酯；对二甲氨基乙基苯甲 酸酯；二苯基二硫醚；噻吨酮或其衍生物；樟脑醌；7, 7-二甲基-2, 3-二氧代双环[2. 2. 1] 庚烧_1-羧酸、7, 7-二甲基-2, 3-二氧代双环[2. 2. 1]庚烧-1-羧基-2-溴乙酯、7, 7-二 甲基-2, 3-二氧代双环[2. 2. 1]庚烧-1-羧基-2-甲酯、7, 7-二甲基-2, 3-二氧代双环 [2. 2. 1]庚烷-1-羧酸酰氯等樟脑醌衍生物；2-甲基-1- [4-(甲硫基）苯基]-2-吗啉基 丙烷-1-酮、2-苄基-2-二甲氨基-1- (4-吗啉基苯基）-丁酮-1等α -氨基烷基苯酮衍 生物；苯甲酰基二苯基氧化膦、2, 4, 6-三甲基苯甲酰基二苯基氧化膦、苯甲酰基二乙氧基 氧化膦、2, 4, 6-三甲基苯甲酰基二甲氧基苯基氧化膦、2, 4, 6-三甲基苯甲酰基二乙氧基苯 基氧化勝等醜基氧化勝衍生物；轻基-苯基-乙酸2-[2-氧代_2_苯基-乙醜氧基-乙氧 基]-乙酯和/或羟基-苯基-乙酸2- [2-羟基-乙氧基]-乙酯等。光聚合引发剂可以 使用1种或组合2种以上使用。其中，从效果大的角度出发，优选选自苯偶酰二甲基缩酮、 轻基 -苯基-乙酸2- [2-氧代_2_苯基-乙醜氧基-乙氧基]-乙酯以及轻基-苯基-乙 酸2- [2-羟基-乙氧基]-乙酯中的1种或2种以上。
[0090] (C)光聚合引发剂的含量优选相对于（Α)和（Β)的总计100质量份为0. 1?20质 量份，更优选为〇. 5?10质量份。如果为0. 1质量份以上，则能够可靠地得到固化促进的 效果，20质量份以下则能够得到充分的固化速度。从能够不依赖于光照射量地进行固化以 及组合物的固化体的交联度变高、切削加工时不引起错位等角度、剥离性提高的角度出发， 进一步优选添加（C)成分1质量份以上。
[0091] 优选光固化性粘接剂含有不溶于粘接剂成分（Α)、(Β)以及（C)的粒状物质（D)。由 此，固化后的组合物能够保持一定的厚度，因此，如后所述，加工精度提高。
[0092] 作为粒状物质（D)的材质，可以为通常使用的有机粒子、或无机粒子中的任一种。 具体而言，作为有机粒子，可举出聚乙烯粒子、聚丙烯粒子、交联聚（甲基）丙烯酸甲酯粒子、 交联聚苯乙烯粒子等。作为无机粒子，可举出玻璃、二氧化硅、氧化铝、钛等陶瓷粒子。其中， 优选有机粒子，更优选交联聚苯乙烯粒子。
[0093] 从提高加工精度、即控制粘接剂层12的膜厚的观点出发，粒状物质优选为球状。 优选粒状物质基于激光法测得的平均粒径在50?200 μ m的范围。如果上述粒状物质的平 均粒径小于50 μ m，则在切削用工具中因使用强度差的切削部前端而降低切削用工具的寿 命，并且，有时引起切削加工效率的降低，如果大于200 μ m，则由于粘接剂的使用量变多、成 本变高，所以有时生产率差。更优选的平均粒径（D50)为70μπι?150μπι，进一步优选为 80 μ m?120 μ m。粒径分布利用激光衍射式粒度分布测定装置测定。
[0094] 从粘接性、加工精度、剥离性的观点出发，粒状物质（D )的使用量优选相对于（A) 和（B)的总计量100质量份为0. 1?20质量份，更优选为0. 2?10质量份，最优选为0. 2? 6质量份。
[0095] 为了提高贮存稳定性，可以在光固化性粘接剂中添加阻聚剂（E)。作为阻聚剂，可 举出甲基氢醌、氢醌、2, 2-亚甲基-双（4-甲基-6-叔丁基苯酚)、邻苯二酚、氢醌单甲醚、单 叔丁基氢醌、2, 5-二叔丁基氢醌、对苯醌、2, 5-二苯基对苯醌、2, 5-二叔丁基对苯醌、苦味 酸、柠檬酸、吩噻嗪、叔丁基邻苯二酚、2-丁基-4-羟基苯甲醚以及2, 6-二叔丁基对甲酚等。
[0096] 阻聚剂（E)的使用量优选相对于（A)和（B)的总计量100质量份为0· 001?3质 量份，更优选为〇. 01?2质量份。如果为0. 001质量份以上，则可确保贮存稳定性，如果为 3质量份以下，则可得到良好的粘接性，也不会未固化。
[0097] 光固化性粘接剂可以含有（F)有机过氧化物和（G)分解促进剂。由此，即使从外观 设计性的角度出发对透光性硬质基板实施了不透光的印刷图案也能够可靠地得到固化性。
[0098] 作为（F)有机过氧化物，可举出过氧化月桂酰、过氧化苯甲酰等二酰基过氧化物 类，过氧化-3, 5, 5-三甲基己酸叔丁酯、过氧化新癸酸异丙苯酯、过氧化新戊酸己酯、过氧 化异丁酸叔丁酯、过氧化新戊酸叔丁酯、过氧化乙酸叔丁酯、过氧化苯甲酸叔丁酯、过氧 化-2-乙基己酸叔丁酯等烷基过氧酯类，过氧化二碳酸二异丙酯、过氧化二碳酸二-2-乙 基己酯、过氧化二碳酸二正丙酯、过氧化二碳酸双（4-叔丁基环己基）酯、过氧化二碳酸 二-2-乙氧基乙酯、过氧化二碳酸二甲氧基异丙酯、过氧化二碳酸二（3-甲基-3-甲氧基丁 基）酯以及过氧化二碳酸二烯丙酯等过氧化二碳酸酯类，过氧化异丙基碳酸叔丁酯等过氧 化碳酸酯类，二叔丁基过氧化环己烷、二(叔丁基过氧化）丁烷等过氧缩酮类，过氧化二异丙 苯、过氧化叔丁基异丙苯、二叔丁基过氧化物等二烧基过氧化物类，异丙苯过氧化氢、四甲 基丁基过氧化氢等过氧化氢类，过氧化环己酮等酮过氧化物类等。其中，优选烷基过氧酯类 和/或过氧化氢类，更优选过氧化氢类，最优选异丙苯过氧化氢。
[0099] (F)有机过氧化物的使用量优选相对于（A)和（B)的总计量100质量份为0. 01? 10质量份，更优选为〇. 05?5质量份，最优选为1?3质量份。如果为0. 01质量份以上， 则能够可靠地得到固化性，如果为10质量份以下，则可得到充分的贮存稳定性，皮肤刺激 性变低。
[0100] 作为（G)分解促进剂，优选促进有机过氧化物的分解的分解促进剂。作为（G)促进 有机过氧化物的分解的分解促进剂，可举出以下物质。
[0101] 使用过氧化氢类、酮过氧化物类化合物作为有机过氧化物时，作为分解促进剂，可 举出有机酸金属盐、有机金属螯合物等。作为有机酸金属盐、有机金属螯合物，例如可举出 环烷酸钴、环烷酸铜、环烷酸锰、辛烯酸钴、辛烯酸铜、辛烯酸锰、辛酸钴、乙酰丙酮铜、乙酰 丙酮钛、乙酰丙酮锰、乙酰丙酮铬、乙酰丙酮铁、乙酰丙酮氧钒以及乙酰丙酮钴等。其中，优 选辛酸钴和/或乙酰丙酮氧钒，最优选辛酸钴。作为其它分解促进剂，可举出硫脲衍生物 类、巯基苯并咪唑、胺类等。这些（G)分解促进剂可以使用1种或2种以上。
[0102] (G)分解促进剂的使用量优选相对于（A)和（B)的总计100质量份为0. 01?10 质量份，更优选为〇. 05?5质量份，最优选为0. 3?3质量份。如果为0. 01质量份以上， 则可靠地得到固化性，如果为10质量份以下，则得到充分的贮存稳定性。
[0103] 含有（F)有机过氧化物和（G)分解促进剂的光固化性粘接剂典型的是作为二剂型 的组合物来提供。对于二剂型，优选贮藏中不混合光固化性粘接剂的全部必需成分，而是将 光固化性粘接剂分成第一剂和第二剂进行贮藏。这种情况下，通过将第一剂和第二剂同时 或分别涂布在部件上而进行接触、固化，从而能够作为二剂型的光固化性粘接剂来使用。作 为二剂型的光固化性粘接剂使用时，优选第一剂至少含有（F)有机过氧化物，第二剂至少含 有（G)分解促进剂。（C)光聚合引发剂可以含于第一剂和第二剂中的任一方或双方中。本 发明通过仅混合二剂就能够使组合物固化。
[0104] 不具有透光性的硬质基板11的层叠中，例如，可以并用（F)有机过氧化物和（G)分 解促进剂来代替（C)光聚合引发剂。
[0105] < 2.透光性硬质基板层叠体10的切断加工>
[0106] 接着，将大尺寸的透光性硬质基板层叠体10固定于承受台后，沿图1所示的切断 线13在厚度方向切断，形成被分割成所希望个数的、利用粘接剂层12'贴合而成的由多片 透光性硬质基板11'构成的透光性硬质基板层叠体14。图2表示通过该切断加工切出的透 光性硬质基板层叠体14的示意图。分割方法没有特别限制，可举出分别单独或组合使用下 述切断方式而分割成同尺寸的长方体形状的方法，所述切断方式是圆盘刀具（金刚石盘、硬 质合金盘)、固定磨粒式或游离磨粒式线锯、激光束、蚀刻(例：使用氢氟酸、硫酸等的化学蚀 亥IJ、电解蚀刻)、水力喷射以及红热带(镍铬电热线）等。蚀刻也可以用于分割后的切断面的 表面处理。如此，由于透光性硬质基板层叠体14通过在准备大尺寸的透光性硬质基板层叠 体10后将其分割来制作，所以制造效率变得良好。
[0107] < 3.透光性硬质基板层叠体14的外形加工(倒角）>
[0108] 接下来，将分割得到的透光性硬质基板层叠体14固定于承受台，对承受台上的透 光性硬质基板层叠体14进行所希望的外形加工。图3表示示出外形加工线15的透光性硬 质基板层叠体14的示意图。在该工序中，由于能够将每个分割得到的透光性硬质基板层叠 体14 一体地加工成目标板状制品的形状，所以具有格外提高板状制品的生产速度这样的 优点。外形加工利用公知的任意方式进行即可，例如可举出利用旋转砂轮进行的磨削、利用 超声波振动钻进行的钻孔、利用旋转刷进行的抛光加工等。
[0109] 另外，接着，如图4所示，可以通过磨削等将设置于透光性硬质基板层叠体14的各 透光性硬质基板11'之间的粘接剂层12'的端部的规定范围的前端部分除去。如此除去粘 接剂层12'的端部的规定范围的前端部分后，通过后述的透光性硬质基板层叠体14的蚀刻 来进行端面加工，从而能够使各透光性硬质基板11'的端面更圆。通过如此使透光性硬质 基板11'的端面更圆，从而有更难以刮伤端部等优点。
[0110] < 4.透光性硬质基板层叠体14的端面加工>
[0111] 接下来，进行作为透光性硬质基板层叠体14的端面加工的蚀刻。对于蚀刻工序， 可以如上所述，在将大尺寸的透光性硬质基板层叠体10切断加工后继续进行，也可以在该 切断加工后另外进行切削加工，其后进行。作为蚀刻液，可举出氢氟酸水溶液。
[0112] 如图5所示，蚀刻工序将透光性硬质基板层叠体14在用紧固夹具33固定的状态 下浸渍于蚀刻槽内的蚀刻液中进行，该紧固夹具33将透光性硬质基板层叠体14的两表面 的整面在厚度方向进行按压。
[0113] 紧固夹具33至少具备具有面积不小于透光性硬质基板层叠体14的各表面的面积 的板状部34、螺栓部35以及螺母部36。板状部34分别在4角附近具备贯通孔(未图示)， 分别在该贯通孔插入4根螺栓部35,在板状部34的外侧利用螺母部36固定。
[0114] 板状部34、螺栓部35以及螺母部36的形成材料只要是对蚀刻液具有耐腐蚀性就 没有特别限定，例如可举出聚氯乙烯、聚偏氯乙烯、聚四氟乙烯等。
[0115] 紧固夹具33的螺母的扭紧力矩优选为10?40N · m。如果紧固夹具33的螺母的 扭紧力矩小于1〇Ν·πι，则可能难以抑制蚀刻液从透光性硬质基板层叠体14的端面浸入。如 果紧固夹具33的螺母的扭紧力矩大于40Ν ·πι，则透光性硬质基板层叠体可能破损。按压力 可以根据螺栓部35和螺母部36的紧固情况进行调整。
[0116] 如此，通过利用紧固夹具33按压透光性硬质基板层叠体14地固定，从而在蚀刻 时，能够良好地抑制蚀刻液向透光性硬质基板层叠体14的基板间浸入，由此，可良好地抑 制基板剥离、形成于基板上的金属图案或印刷涂料的腐蚀等。在本发明中，特别是如图5所 示，紧固夹具33具有板状部34,并且该板状部34将透光性硬质基板层叠体14的包括两表 面的端部的整面在厚度方向进行按压，因此能够在抑制透光性硬质基板层叠体14的侧面 产生空隙。因此，可良好地抑制蚀刻液从透光性硬质基板层叠体14的侧面浸入。通过这样 的构成，从而即使在透光性硬质基板层叠体14的各基板的端部区域形成有布线用等的金 属图案或印刷，也良好地抑制蚀刻液从层叠体侧面浸入，因此能够良好地抑制蚀刻液进入 该基板间或基板内的空隙而使基板上的金属图案、印刷劣化。
[0117] 如图5所示，透光性硬质基板层叠体14优选以各基板在横向层叠的方式即以"横 置"的方式利用紧固夹具33进行按压地固定。大多是位于蚀刻浴下部的蚀刻液与位于上 部的蚀刻液相比浓度变小，另一方面，在蚀刻浴内，位于相同程度高度的蚀刻液的浓度偏差 小。因此，如果这样将透光性硬质基板层叠体14横置并利用紧固夹具33进行按压地固定， 则与坚置的情况相比，蚀刻时位于周围的蚀刻液的浓度偏差小，能够实施均匀的蚀刻加工。 另外，通过以使固定透光性硬质基板层叠体14的紧固夹具33旋转的方式进行设计，从而能 够在蚀刻时使透光性硬质基板层叠体14旋转，使周围的蚀刻液循环，经常保持新鲜，能够 提1?蚀刻性能。
[0118] 为了按压透光性硬质基板层叠体14的表面整体，紧固夹具33的板状部34的面积 必须至少为透光性硬质基板层叠体14的表面的面积以上。紧固夹具33的板状部34的面 积是指为了进行按压而与透光性硬质基板层叠体14相接的板状部34的表面的面积。
[0119] 在本实施方式中，如图5所示，紧固夹具33是具备板状部34、螺栓部35以及螺母 部36的构成，但并不限于此，例如，可以是具备板状部34,还具备将夹持透光性硬质基板层 叠体14的板状部34从两外侧按压这样的按压机构的构成。另外，如图6所示，板状部34 可以在厚度方向设有贯通孔38。通过设置这样的贯通孔38,从而能够在蚀刻时在透光性硬 质基板层叠体14的表面的与该孔38对应的位置实施所希望的蚀刻加工。
[0120] 作为蚀刻槽内的蚀刻条件，没有特别限定。蚀刻液可以为高浓度，也可以为低浓 度。
[0121] 蚀刻液为高浓度时，例如，可以使用30质量％以上的氢氟酸作为蚀刻液，将液温控 制在18°C?30°C，进行20?120秒钟的蚀亥lj。如此如果在使蚀刻液的氢氟酸浓度为30质 量％以上这种高浓度下进行、且在使蚀刻时间为20?120秒钟这种短时间下进行，则在透 光性硬质基板层叠体14的各基板的端部区域形成布线用等的金属图案、印刷涂料等时，能 够更良好地抑制蚀刻液渗透至该金属图案、印刷涂料等而使金属图案、印刷涂料等劣化的 情况。另外，更优选使蚀刻液的浓度为49?55质量％、使蚀刻液温度为20?27°C、使蚀刻 时间为20?60秒钟。
[0122] 蚀刻液为低浓度时，例如，可以使用小于30质量％的氢氟酸作为蚀刻液，将液温控 制在18°C?30°C，进行超过2分钟且为40分钟以下的蚀刻。如此如果在使蚀刻液的氢氟 酸浓度小于30质量％这种低浓度下进行、且在使蚀刻时间大于2分钟且40分钟以下这种 长时间下进行，则虽然有蚀刻液浸入玻璃面，但由于是低浓度，所以即使是长时间处理也能 够反应速度慢地、无 ΙΤ0图案缺损地进行加工。另外，更优选使蚀刻液的浓度为3?20质 量％、使蚀刻液温度为20?27°C、使蚀刻时间为10?40分钟。另外，更优选使蚀刻液的浓 度为3?10质量％、使蚀刻液温度为20?27°C、使蚀刻时间为30?40分钟。
[0123] 将如此进行了端面加工后的透光性硬质基板层叠体20的平面示意图示于图7。通 过上述工序，将在透光性硬质基板层叠体14的端面的缘部产生的碎屑、裂缝、微裂纹、或缺 损等商效且良好地一并除去。
[0124] <5.板状制品的形成>
[0125] 接着，从透光性硬质基板层叠体14将贴合的透光性硬质基板11'彼此剥离，使用 它形成多个板状制品。
[0126] 以上，参照附图对本发明的实施方式进行了说明，但本发明不限于这些实施方式， 可以是各种变形。
[0127] 实施例
[0128] 为了更好地理解本发明及其优点，提供以下实验例。
[0129] (实验例1)
[0130] 1.光固化性粘接剂1的制作
[0131] 混合以下的（A)?（E)成分，制作光固化性粘接剂1。
[0132] 作为（A)多官能（甲基)丙烯酸酯，日本合成公司制"UV-3000B"（聚氨酯丙烯酸酯， 以下简称为"UV-3000B"，重均分子量18000,多元醇化合物为聚酯多元醇，有机聚异氰酸酯 化合物为异佛尔酮二异氰酸酯，羟基（甲基）丙烯酸酯为丙烯酸2-羟乙酯）20质量份、二丙 烯酸二环戊酯（日本化药公司制"KAYARAD R-684"，以下简称为"R-684"）15质量份，
[0133] 作为（B)单官能（甲基)丙烯酸酯，丙烯酸2- (1，2-环己二甲酰亚胺）乙酯(东亚合 成公司制"ARONIX M-140"，以下简称为"M-140"）50质量份、苯酚环氧乙烷2摩尔改性丙烯 酸酯(东亚合成公司制"ARONIX M-101A"）15质量份，
[0134] 作为（C)光聚合引发剂，苯偶酰二甲基缩酮（BASF公司制" IRGA⑶RE651")，以下简 称为"BDK"）10质量份，
[0135] 作为（D)粒状物质，平均粒径100 μ m的球状交联聚苯乙烯粒子（GANZ Chemical公 司制"GS-100S"）1质量份，
[0136] 作为（E)阻聚剂，2,2_亚甲基双（4-甲基-6-叔丁基苯酚）（住友化学公司制 "Sumilizer MDP-S"，以下简称为 "MDP"）0· 1 质量份
[0137] 2.平板玻璃层叠体的制作
[0138] 作为透光性硬质基板，准备20片平板玻璃（横530mmX纵420mmX厚0· 7mm)，介 由含有交联聚苯乙烯粒子的上述光固化性粘接剂，以光照射量500mJ/cm2 (利用基于365nm 的受光器的累积照度计进行测定)进行UV照射而贴合，制作平板玻璃的层叠体。另外，在各 平板玻璃表面的端部形成金属布线、ΙΤ0膜、有机树脂膜以及有机硅酸盐膜。具体而言，在 第1片平板玻璃上涂布26g上述光固化性粘接剂后，在第1片平板玻璃上贴合第2片平板 玻璃，从第2片平板玻璃的表面侧进行UV照射，使上述光固化性粘接剂固化。UV照射时间 设为10秒。通过重复该程序，从而制成由20片平板玻璃构成的厚度14_ (该厚度是总计 20片平板玻璃的层叠体的厚度）的平板玻璃层叠体。
[0139] 3.平板玻璃层叠体的切断加工
[0140] 接下来，将平板玻璃的层叠体固定于承受台后，利用圆盘刀具沿规定的切断线在 厚度方向切断，制作被分割的平板玻璃的层叠体。此时，各平板玻璃被分割成纵lOOmmX横 50mmX厚0. 7mm (该厚度是1片平板玻璃的厚度)。
[0141] 4.平板玻璃层叠体的外形加工
[0142] 接下来，通过将被分割的平板玻璃层叠体固定于承受台，使用旋转砂轮磨削承受 台上的平板玻璃层叠体，从而对外形进行加工。
[0143] 5.平板玻璃层叠体的端面加工
[0144] 接下来，对于实施例，准备如图5所示的由聚四氟乙烯形成的紧固夹具，用该紧固 夹具以表1中记载的按压力将平板玻璃层叠体两表面的整面在厚度方向按压地固定，将该 固定物横置于蚀刻槽内进行浸渍，进行蚀刻。蚀刻槽内的蚀刻液为浓度55质量％的氢氟酸， 在控制液温为25°C的状态下进行30?60秒钟的蚀刻。另外，紧固夹具的板状部的面积使 用如上所述比平板玻璃层叠体的表面积大的面积，为纵150mmX横100mm。
[0145] 另一方面，对于比较例，使用以下的例子：不使用紧固夹具而直接将平板玻璃层 叠体设置于蚀刻槽内，在与上述相同的条件下进行蚀刻（比较例1-1和1-5);虽然使用由 聚四氟乙烯形成的紧固夹具，但板状部由如图8所示的外侧板状部34'和与层叠体接触的 内侧板状部37构成，内侧板状部37的面积为纵90mmX横40mm，小于平板玻璃的面积(横 lOOmmX纵50mm)，不能按压平板玻璃表面的整面，四边的端部分别有5mm宽度未被按压（t匕 较例1-2?1-4和1-6?1-8)。
[0146] 蚀刻量是：从层叠体的各一侧起15 μ m的宽度，即两侧总计30 μ m的宽度，以及从 层叠体的各一侧起30 μ m的宽度，即两侧总计60 μ m的宽度。
[0147] 接着，将蚀刻后的平板玻璃层叠体放入温水槽，对各平板玻璃进行温水剥离后进 行清洗。
[0148] 对于各平板玻璃的端部，对于蚀刻液浸入痕、金属布线、有机硅酸盐膜、ITO膜的状 态，逐一对平板玻璃进行确认，它们的状态根据以下基准进行评价。
[0149] 蚀刻液浸入痕的评价：在使用实体显微镜放大至倍率10倍的观察中，将由蚀刻液 引起的在基板端部有由蚀刻液引起的玻璃腐蚀(浸入痕）的试样记为不良。
[0150] 金属布线的状态的评价：在使用实体显微镜放大至倍率10倍的观察中，将有由蚀 刻液引起的基板面内金属布线的腐蚀或脱落的试样记为不良。
[0151] 有机硅酸盐膜的状态的评价：在使用实体显微镜放大至倍率10倍的观察中，将有 由蚀刻液引起的基板面内有机硅酸盐膜侵蚀的试样记为不良。
[0152] ΙΤ0膜的状态的评价：在使用实体显微镜放大至倍率10倍的观察中，将有由蚀刻 液引起的基板面内ΙΤ0图案侵蚀的试样记为不良。
[0153] 将上述试验条件和评价结果示于表1。应予说明，对于表1的"蚀刻液浸入痕"、"金 属布线的状态"、"有机硅酸盐膜的状态"以及"ΙΤ0图案的状态"，是相对于投入片数（20片） 的上述评价中的不良片数（N片)，即，以N/20的数值表示。
[0154] Μ·

【权利要求】
1. 一种硬质基板层叠体的加工方法，其特征在于，包括以下工序： 准备硬质基板层叠体的工序，所述硬质基板层叠体是将2片以上的硬质基板彼此用粘 接剂贴合，所述硬质基板的至少1片在基板表面具备选自金属层、树脂层、二氧化硅层、有 机硅酸盐层以及透明电极层中的任1种或2种以上，且所述硬质基板层叠体进行了规定的 倒角；和 将所述进行了倒角的硬质基板层叠体在用紧固夹具固定的状态下浸渍于蚀刻液中进 行蚀刻的工序，所述紧固夹具将所述层叠体的所述两表面的整面在厚度方向进行按压。
2. 根据权利要求1所述的硬质基板层叠体的加工方法，其中，所述紧固夹具具备将所 述层叠体的所述两表面的整面在厚度方向进行按压的2片板状部、固定所述2片板状部的 多个螺栓部和螺母部。
3. 根据权利要求1所述的硬质基板层叠体的加工方法，其中，所述紧固夹具由对所述 蚀刻液具有耐腐蚀性的材料形成。
4. 根据权利要求1所述的硬质基板层叠体的加工方法，其中，在所述蚀刻工序中，用所 述紧固夹具按压所述层叠体时的螺母的扭紧力矩为10?40N · m。
5. 根据权利要求2所述的硬质基板层叠体的加工方法，其中，所述板状部的面积不小 于所述层叠体表面的面积。
6. 根据权利要求1所述的硬质基板层叠体的加工方法，其中，在所述将2片以上的硬 质基板彼此用粘接剂贴合而得的硬质基板层叠体的准备工序中，所述硬质基板层叠体是将 2片以上的硬质基板彼此用粘接剂贴合后，通过在厚度方向切断、分割来形成的。
7. 根据权利要求1所述的硬质基板层叠体的加工方法，其中，在所述蚀刻工序中，蚀刻 液的浓度为30质量％以上，蚀刻时间为20?120秒。
8. 根据权利要求1所述的硬质基板层叠体的加工方法，其中，在所述蚀刻工序中，蚀刻 液的浓度小于30质量％，蚀刻时间超过2分钟且为40分钟以下。
9. 根据权利要求1所述的硬质基板层叠体的加工方法，其中，所述粘接剂含有（A)多官 能（甲基）丙烯酸酯、（B)单官能（甲基）丙烯酸酯以及（C)光聚合引发剂。
10. 根据权利要求1所述的硬质基板层叠体的加工方法，其中，所述粘接剂含有（A)多 官能（甲基）丙烯酸酯、（B)单官能（甲基）丙烯酸酯、（C)光聚合引发剂、（F)有机过氧化物 以及（G)分解促进剂。
11. 一种紧固夹具，其在将2片以上的硬质基板彼此用粘接剂贴合而得的硬质基板层 叠体的蚀刻工序中用于固定所述层叠体， 具备将所述层叠体的所述两表面的整面在厚度方向进行按压的2片板状部、固定所述 2片板状部的多个螺栓部和螺母部。
12. 根据权利要求11所述的紧固夹具，其中，由对所述蚀刻工序中使用的蚀刻液具有 耐腐蚀性的材料形成。
13. 根据权利要求11所述的紧固夹具，其中，所述板状部的面积不小于所述层叠体表 面的面积。
14. 根据权利要求11所述的紧固夹具，其中，硬质基板层叠体是将设置在各硬质基板 之间的粘接剂层端部的前端部分除去而成的硬质基板层叠体。
15. 根据权利要求1?10中任一项所述的硬质基板层叠体的加工方法，其中，将设置在 各硬质基板之间的粘接剂层端部的前端部分除去后进行蚀刻。
16.根据权利要求1?10中任一项所述的硬质基板层叠体的加工方法，其中，进行蚀刻 的工序是在以各硬质基板在横向层叠的方式用紧固夹具固定的状态下浸渍在蚀刻液中进 行蚀刻的工序。
【文档编号】H01L21/687GK104045240SQ201310080260
【公开日】2014年9月17日 申请日期:2013年3月13日 优先权日:2013年3月13日
【发明者】江田幸雄, 武间淳一郎, 栗村启之, 伊林敏成 申请人:电气化学工业株式会社