一种等离子体刻蚀硅片夹具的制作方法
【专利摘要】本发明公开了一种等离子体刻蚀硅片夹具，包括上夹板、下夹板、螺丝螺杆以及位于上夹板与下夹板之间的垫片，所述上夹板、下夹板上设有与螺丝螺杆相配合的通孔，上夹板、下夹板通过通孔套设在可调节两块夹板间距的螺丝螺杆上，螺丝螺杆上端穿过上夹板并向外延伸，延伸部分与上夹板之间设有螺母；下端固定在下夹板的通孔内；在上夹板与下夹板上各设有一组对称的矩形长条，所述的上夹板上的矩形长条与下夹板上的矩形长条相互对立。本发明可以用更小的力使硅片叠加的更紧密减小内部的刻蚀，同时压片在硅片其他位置不施加力，不会使硅片产生隐裂，既改善了刻蚀效果同时避免了整体压力过大造成硅片损伤。
【专利说明】一种等离子体刻蚀硅片夹具
【技术领域】
[0001] 本发明属于夹具领域，具体涉及一种等离子体刻蚀硅片夹具。
【背景技术】
[0002] 太阳能电池生产中有一道工序叫做等离子体刻蚀工序，该工序的目的是利用等离 子体激发四氟化碳和氧气对硅片四边进行刻蚀。由于等离子体对硅片的刻蚀没有选择性， 渗透性强，所以硅片常被放在夹具中，并在表面加一层盖板施加一定的压力，防止过刻。目 前行业中使用的夹具一般都由两块平板和两侧螺杆组成。夹具在硅片上施加的力被分散在 整个硅片上，边缘容易出现夹不紧造成过刻，并且当硅片有切割痕、异物时容易造成硅片 隐裂。
【发明内容】
[0003] 本发明的目的在于克服上述现有技术的不足，提供一种等离子体刻蚀硅片夹具， 既能保证刻蚀效果，还可以减少夹具对硅片的损伤。
[0004] 本发明所述的一种等离子体刻蚀硅片夹具，包括上夹板、下夹板、螺丝螺杆以及位 于上夹板与下夹板之间的垫片，所述上夹板、下夹板上设有与螺丝螺杆相配合的通孔，上夹 板、下夹板通过通孔套设在可调节两块夹板间距的螺丝螺杆上，螺丝螺杆上端穿过上夹板 并向外延伸，延伸部分与上夹板之间设有螺母；下端固定在下夹板的通孔内；在上夹板与 下夹板上各设有一组对称的矩形长条，所述的上夹板上的矩形长条与下夹板上的矩形长条 相互对立。
[0005] 进一步改进，所述的矩形长条离上、下夹板四条边的距离相等，相对距离为125cm 或 156cm〇
[0006] 进一步改进，所述的垫片位于硅片与矩形长条之间。
[0007] 进一步改进，所述的垫片为四氟垫片。
[0008] 本发明的有益效果在于： 与现有技术相比，本发明所述的夹具，采用矩形长条夹住硅片，压片的力施加在硅片边 缘，可以用更小的力使硅片叠加的更紧密减小内部的刻蚀，同时压片在硅片其他位置不施 加力，不会使硅片产生隐裂，既改善了刻蚀效果同时避免了整体压力过大造成硅片损伤。
【专利附图】
【附图说明】
[0009] 图1是本发明的结构示意图。
【具体实施方式】
[0010] 如图1所示，本发明所述的一种等离子体刻蚀硅片夹具，包括上夹板1、下夹板2、 螺丝螺杆3以及位于上夹板1与下夹板2之间的垫片4,所述上夹板1、下夹板2上设有与 螺丝螺杆3相配合的通孔，上夹板1、下夹板2通过通孔套设在可调节两块夹板间距的螺丝 螺杆3上，螺丝螺杆3上端穿过上夹板1并向外延伸，延伸部分与上夹板1之间设有螺母5 ; 下端固定在下夹板2的通孔内；在上夹板1与下夹板2上各设有一组对称的矩形长条6,所 述的上夹板1上的矩形长条6与下夹板2上的矩形长条6相互对立；所述的上夹板1上的 矩形长条6与下夹板2上的矩形长条6之间设有硅片7,所述的垫片4位于硅片7与矩形长 条6之间。
[0011] 所述的矩形长条6离上、下夹板1、2四条边的距离相等，相对距离为125cm或者 156cm〇
[0012] 所述的垫片4为四氟垫片。
[0013] 本发明提供了一种等离子体刻蚀硅片夹具，以上所述仅是本发明的优选实施方 法，应当指出，对于本【技术领域】的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可 以作出若干改进，这些改进也应视为本发明的保护范围。
【权利要求】
1. 一种等离子体刻蚀硅片夹具，包括上夹板（1)、下夹板（2)、螺丝螺杆（3)以及位于上 夹板（1)与下夹板（2)之间的垫片（4)，所述上夹板（1)、下夹板（2)上设有与螺丝螺杆（3) 相配合的通孔，上夹板（1)、下夹板（2)通过通孔套设在可调节两块夹板间距的螺丝螺杆 (3)上，螺丝螺杆（3)上端穿过上夹板（1)并向外延伸，延伸部分与上夹板（1)之间设有螺 母（5);下端固定在下夹板（2)的通孔内；其特征在于，在上夹板（1)与下夹板（2)上各设有 一组对称的矩形长条（6)，所述的上夹板（1)上的矩形长条（6)与下夹板（2)上的矩形长条 (6)相互对立。
2. 根据权利要求1所述的等离子体刻蚀硅片夹具，其特征在于，所述的矩形长条（6)离 上、下夹板（1、2)四条边的距离相等，相对距离为125cm或156cm。
3. 根据权利要求1所述的等离子体刻蚀硅片夹具，其特征在于，所述的垫片（4)位于硅 片与矩形长条（6)之间。
4. 根据权利要求1或3所述的等离子体刻蚀硅片夹具，其特征在于，所述的垫片（4)为 四氟垫片。
【文档编号】H01L21/687GK104124192SQ201410365150
【公开日】2014年10月29日 申请日期:2014年7月29日 优先权日:2014年7月29日
【发明者】蒋建宝 申请人:无锡赛晶太阳能有限公司