专利名称：一种等离子刻蚀用硅片夹具的制作方法
技术领域：
一种等离子刻蚀用硅片夹具技术领域[0001]本实用新型涉及一种夹具，具体涉及一种在太阳能电池制作过程中的等离子刻 蚀用硅片夹具。
背景技术：
[0002]晶体硅太阳能电池制作工艺包括制绒、扩散、刻蚀、沉积减反射膜、印刷电极 等步骤，刻蚀步骤一般采用等离子刻蚀的方法，去除在扩散过程中硅片边缘形成的扩散 磷。在目前的刻蚀过程的操作，通常是将几百片硅片重叠在一起组成硅片组，在硅片组 上下两面设置垫板，再使用夹具上下夹持住，然后对硅片组进行等离子刻蚀。等离子刻 蚀所用反应气体为CF4和02，气体从顶部进入，等离子刻蚀机腔体内有自上而下的气体 流，气体在腔体内被电离，电离的气体活性比较强，会与硅片边缘发生反应，对硅片进 行刻蚀，气体最终被泵抽走。[0003]由于目前单晶硅片带有圆角的方形片，故目前使用的直角方形夹具对于硅片圆 角的刻蚀效果有一定的影响，气体在自上而下的过程中，会受到夹具的阻挡与反射，使 得硅片的刻蚀效果不均勻，使得靠近上夹板的硅片圆角由于夹具的遮挡容易刻蚀不足， 而靠近下夹板的硅片圆角由于反射作用容易过度刻蚀。发明内容[0004]本实用新型的目的就是针对上述存在的缺陷而提供一种等离子刻蚀用硅片夹 具。该夹具的夹板板面以及垫板设计为与硅片对应的圆角，并将上下夹板的固定端设置 为背向远离夹持面，有效阻止了夹具对等离子刻蚀气体的阻挡与反射，避免了刻蚀效果 不均勻的后果。[0005]本实用新型的一种等离子刻蚀用硅片夹具技术方案为，包括通过螺栓和螺母连 接的上夹板和下夹板，以及位于上夹板和下夹板中间的垫板，所述的上夹板和下夹板板 面以及垫板为正方形，四角为圆角；上夹板与下夹板的固定端分别背向远离内板面1-5 厘米。[0006]所述的上夹板、下夹板和垫板的四个圆角半径为83士0.5mm。[0007]该夹具的上夹板和下夹板采用铝板制作，垫板采用聚四氟乙烯板。[0008]本实用新型的有益效果为本实用新型的上夹板和下夹板板面以及垫板为正 方形，四角为圆角，形状与所夹持硅片相同，避免了等离子刻蚀气体在自上而下的过程 中，受到夹具的阻挡与反射；上夹板与下夹板的夹板固定端分别背向远离夹持面1-5厘 米，气体，使得硅片的刻蚀效果不均勻，使得靠近上夹板的硅片圆角由于夹具的遮挡容 易刻蚀不足，而靠近下夹板的硅片圆角由于反射作用容易过度刻蚀。。[0009]
[0010]图1所示为本实用新型的结构示意图；[0011]图2所示为本实用新型的上夹板的俯视图；[0012]图3所示为本实用新型的下夹板的仰视图。[0013]图1中，1.上夹板，2.下夹板，3.垫板，4.螺栓，5.螺母，6.硅片，7.固定端。[0014]具体实施方式
[0015]为了更好地理解本实用新型，下面结合具体实例来详细说明本实用新型的技术 方案，但是本实用新型并不局限于此。[0016]本实用新型的一种等离子刻蚀用硅片夹具技术方案为，包括通过螺栓4和螺母5 连接的上夹1和下夹板2，以及位于上夹板1和下夹板2中间的垫板3，所述的上夹板1 和下夹板2板面以及垫板3为正方形，四角为圆角；上夹板1与下夹板2的固定端分别背 向远离夹持面1-5厘米。[0017]所述的上夹板1、下夹板2和垫板3的四个圆角半径为83士0.5mm。[0018]该夹具的上夹板1和下夹板2采用铝板制作，垫板3采用聚四氟乙烯板。[0019]实施例1[0020]将500片硅片重叠在一起组成硅片组，在硅片组上下两面设置垫板3，再使用上 夹板1和下夹板2上下夹持住，用螺栓4和螺母5固定，然后对硅片组进行等离子刻蚀。[0021]所述的上夹板1和下夹板2板面以及垫板3为正方形，四角为圆角；上夹板1与 下夹板2的固定端7分别背向远离夹持面2厘米。[0022]所述的上夹板1、下夹板2和垫板3的四个圆角半径为83mm[0023]该夹具的上夹板1和下夹板2采用铝板制作，垫板3采用聚四氟乙烯板。[0024]实施例2[0025]将600片硅片重叠在一起组成硅片组，在硅片组上下两面设置垫板3，再使用上 夹板1和下夹板2上下夹持住，用螺栓4和螺母5固定，然后对硅片组进行等离子刻蚀。[0026]所述的上夹板1和下夹板2板面以及垫板3为正方形，四角为圆角；上夹板1与 下夹板2的固定端7分别背向远离夹持面3厘米。[0027]所述的上夹板1、下夹板2和垫板3的四个圆角半径为83.5mm[0028]该夹具的上夹板1和下夹板2采用铝板制作，垫板3采用聚四氟乙烯板。[0029]实施例3[0030]将300片硅片重叠在一起组成硅片组，在硅片组上下两面设置垫板3，再使用上 夹板1和下夹板2上下夹持住，用螺栓4和螺母5固定，然后对硅片组进行等离子刻蚀。[0031]所述的上夹板1和下夹板2板面以及垫板3为正方形，四角为圆角；上夹板1与 下夹板2的固定端7分别背向远离夹持面4厘米。[0032]所述的上夹板1、下夹板2和垫板3的四个圆角半径为82.5mm[0033]该夹具的上夹板1和下夹板2采用铝板制作，垫板3采用聚四氟乙烯板。
权利要求1.一种等离子刻蚀用硅片夹具，包括通过螺栓和螺母连接的上夹板和下夹板，以及 位于上夹板和下夹板中间的垫板，其特征在于，所述的上夹板和下夹板板面以及垫板为 正方形，四角为圆角；上夹板与下夹板的夹板固定端分别背向远离夹持面1-5厘米。
2.根据权利要求1所述的等离子刻蚀用硅片夹具，其特征在于，所述的上夹板、下夹 板和垫板的四个圆角半径为83士0.5mm。
专利摘要本实用新型涉及一种夹具，具体涉及一种在太阳能电池制作过程中的等离子刻蚀用硅片夹具。该夹具的夹板板面以及垫板设计为与硅片对应的圆角，并将上下夹板的固定端设置为背向远离夹持面，有效阻止了夹具对等离子刻蚀气体的阻挡与反射，避免了刻蚀效果不均匀的后果。
文档编号H01L31/18GK201812842SQ201020547548
公开日2011年4月27日 申请日期2010年9月29日 优先权日2010年9月29日
发明者任现坤, 刘鹏, 姜言森, 张春燕, 徐振华, 李玉花, 杨青天, 焦云峰, 王兆光, 程亮 申请人:山东力诺太阳能电力股份有限公司