技术总结
一种形成半导体装置用的凸块的方法,包括:接合步骤,将自接合工具的前端伸出的金属线的前端接合于第1地点X1;金属线抽出步骤,使接合工具向远离第1地点X1的方向移动;薄壁部形成步骤,在基准面的第2地点X2利用接合工具按压金属线的一部分,而在金属线形成薄壁部(64);金属线整形步骤,将接合于第1地点X1的金属线以自基准面竖立的方式进行整形;及凸块形成步骤,将金属线自薄壁部切断,而在第1地点X1形成具有自基准面竖立的形状的凸块(60)。由此,可更简便且有效率地形成具有所需高度的凸块。
技术研发人员:吉野浩章;富山俊彦
受保护的技术使用者:株式会社新川
文档号码:201480078105
技术研发日:2014.04.24
技术公布日:2016.12.14