技术总结
一种形成图案的方法包括：在下面层上形成引导图案，在引导图案和下面层上形成自组装嵌段共聚物(BCP)层，将自组装BCP层退火以形成被交替地且重复地排列的第一聚合物嵌段域和第二聚合物嵌段域，以及选择性地去除第一聚合物嵌段域。引导图案由可显影抗反射材料形成。另外，引导图案彼此间隔开，使得引导图案中的每个的宽度小于引导图案之间的距离。
技术研发人员：潘槿道;卜喆圭;许仲君;金弘益
受保护的技术使用者：爱思开海力士有限公司
文档号码：201510210383
技术研发日：2015.04.29
技术公布日：2016.12.07