电阻式随机存取存储器装置的制作方法

文档序号:11064336阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种电阻式随机存取存储器装置,其特征在于,包括:

一底电极;

一电阻转态层,设置于该底电极上;

一可氧化层,设置于该电阻转态层上;

一第一氧扩散阻障层,位于该可氧化层与该电阻转态层之间;以及

一第二氧扩散阻障层,位于该可氧化层上。

2.如权利要求1所述的电阻式随机存取存储器装置,其特征在于,该底电极包括钨、铂、铝、钛、氮化钛、或上述的组合,且该底电极的厚度介于10nm至100nm之间。

3.如权利要求1所述的电阻式随机存取存储器装置,其特征在于,该电阻转态层包括氧化铪、氧化钛、氧化钨、氧化钽、氧化锆、或上述的组合,且该电阻转态层的厚度介于5nm至10nm之间。

4.如权利要求1所述的电阻式随机存取存储器装置,其特征在于,该可氧化层包括钛,且该可氧化层的厚度介于10nm至50nm之间。

5.如权利要求1所述的电阻式随机存取存储器装置,其特征在于,该第一氧扩散阻障层包括氧化铝,且该第一氧扩散阻障层的厚度介于0.3nm至0.6nm之间。

6.如权利要求1所述的电阻式随机存取存储器装置,其特征在于,该第二氧扩散阻障层包括氮氧化钛层位于氮化钛层下,且氮化钛层作为顶电极。

7.如权利要求6所述的电阻式随机存取存储器装置,其特征在于,该第二氧扩散阻障层更包括另一氮化钛层位于该氮氧化钛层下。

8.如权利要求6所述的电阻式随机存取存储器装置,其特征在于,该氮氧化钛层的厚度介于5nm至15nm之间,且该氮化钛层的厚度介于10nm至20nm之间。

9.如权利要求6所述的电阻式随机存取存储器装置,其特征在于,该氮氧化钛层的钛、氧、与氮的摩尔比介于4:0.04:1至4:1:3之间。

10.如权利要求1所述的电阻式随机存取存储器装置,其特征在于,该第二氧扩散阻障层包括氧化铝层位于氮化钛层下,且氮化钛层作为顶电极。

11.如权利要求10所述的电阻式随机存取存储器装置,其特征在于,该氧化铝层的厚度介于0.3nm至0.6nm之间,而该些氮化钛层的厚度介于10nm至20nm之间。

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