技术总结
本发明提供了一种电阻式随机存取存储器装置,包括:底电极;电阻转态层,设置于底电极上;可氧化层,设置于电阻转态层上;第一氧扩散阻障层,位于可氧化层与电阻转态层之间;以及第二氧扩散阻障层,位于可氧化层上。本发明实施例的电阻式随机存取存储器装置,可以克服现有技术中的在施加写入电压至RRAM装置时,电阻转态层中的氧原子可能回扩散至电阻转态层,甚至逃逸出顶电极而造成RRAM装置失效的问题。
技术研发人员:陈达;廖绍憬;王炳琨
受保护的技术使用者:华邦电子股份有限公司
文档号码:201510988007
技术研发日:2015.12.24
技术公布日:2017.05.03