硅纳米线阵列的制备方法与流程

文档序号:11136383阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种硅纳米线阵列的制备方法,包括以下步骤:

⑴、在玻璃衬底上用T-CVD法沉积硅薄膜;

⑵、用金属辅助化学刻蚀法在硅薄膜上制出纳米线阵列。

2.如权利要求1所述硅纳米线阵列的制备方法,其特征在于:步骤⑴玻璃衬底的表面为清洗除去有机杂质和无机杂质的。

3.如权利要求2所述硅纳米线阵列的制备方法,其特征在于:所述清洗方法为:用丙酮、乙醇、去离子水依次超声清洗10min;再用体积比为3﹕1的浓硫酸和过氧化氢溶液,在80℃水浴下清洗10min;最后用去离子水冲洗。

4.如权利要求1所述硅纳米线阵列的制备方法,其特征在于:步骤⑴中T-CVD法沉积硅薄膜,具体方法为:将玻璃衬底置于T-CVD的沉积区,进行电阻加热;向该T-CVD炉中通入硅烷和氢气的混合气体,使该硅烷气体在该加热区中充分分解,在衬底上沉积一层硅薄膜;对该硅薄膜进行氢退火结晶化。

5.如权利要求1所述硅纳米线阵列的制备方法,其特征在于:步骤⑵中金属辅助化学刻蚀法,具体方法为:将硅薄膜样品放入氢氟酸和硝酸银混合溶液中进行刻蚀;除去沉积的银枝晶;用去离子水彻底清除残留的氢氟酸溶液,干燥。

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