一种含阴极辅助的快恢复二极管材料片结构及其制造方法与流程

文档序号:14686100发布日期:2018-06-14 23:12阅读:来源:国知局
技术特征:

1.含阴极辅助的快恢复二极管材料片,其结构包括:如图2,在低掺杂的N-单晶硅片(D)的下面通过掺杂形成10-20um厚的N层(C),在N层涂覆磷乳胶源(A),通过乳胶源粘附一片N型单晶片(B),通过热氧化方式使两片硅片结合在一起,同时在N层内形成4-6um的N+区(E),将N-层(D)减薄到20-80um。

2.根据权利要求1所述的含阴极辅助的快恢复二极管的材料片结构,其特征在于,具有N+(E)/N(C)形成的阴极辅助结构。

3.根据权利要求1所述的材料片结构,其特征在于,乳胶源厚度在5um~30um,形成N+区宽度20um~150um,N型区(C)和N-区(D)总厚度在30-100um,N型区(C)面有粘附的单晶片(B)做支撑。

4.一种含阴极辅助的快恢复二极管材料片结构及其制造方法,其步骤包括:在低掺杂N-单晶片(D)的下面扩磷形成N型区(C),再在N型区(C)通过丝网印刷涂覆磷乳胶源,利用乳胶源粘附一片单晶片(B),经过高温扩散,在N型区(C)内形成N+区(E),形成阴极辅助二极管,并且高温扩散时通过硅氧化的方式使两硅片紧密结合在一起,减薄、抛光N-单晶片(D)上表面,使N型区(C)和N-区(D)的总厚度变薄。

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