异质接面双极晶体管的制作方法

文档序号:12129289阅读:来源:国知局
技术总结
本发明公开了一种异质接面双极晶体管,其包括在一GaAs基板上的一集电极、一基极和一发射极,其中所述基极包括一第一基极层,其包括具有一铟含量i和一第一斜率s1的IniGa1‑iAs,和一第二基极层,其包括具有一铟含量j和一第二斜率s2的InjGa1‑jAs,且s1的平均值为s2的平均值的一半或更小;或者其中所述基极包括一第三基极层,其包括具有一铟含量m的InmGa1‑mAs,和一第四基极层,其包括具有一铟含量n的InnGa1‑nAs,且n的一平均值大于靠近第四基极层处的m;或者其中所述基极包括一第五基极层,其拟晶于GaAs且其体晶格常数大于GaAs,所述发射极包括一第三射极层,其拟晶于GaAs且其体晶格常数小于GaAs。

技术研发人员:高谷信一郎;邱瑞斌;张家达
受保护的技术使用者:稳懋半导体股份有限公司
文档号码:201610720947
技术研发日:2016.08.25
技术公布日:2017.03.15

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