一种N型单晶双面电池的制备方法与流程

文档序号:12370496阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种N型单晶双面电池的制备方法,具体包括如下步骤:

S1在硅片正面制绒,然后进行B扩散;

S2进行湿法蚀刻,去除硅片背面、边缘形成的自扩散层;

S3然后采用PEVCD设备在B扩散层上面沉积SiNX掩膜;

S4对硅片背面进行P扩散;

S5等离子蚀刻硅片边缘的自扩散层,接着用腐蚀液对硅片进行清洗,去除硅片表面SiNX掩膜层和磷硅玻璃层;

S6利用ALD方式形成硅片正面Al2O3钝化膜,然后在硅片正面沉积SiNX保护膜、在硅片背面沉积SiNX减反膜;

S7在硅片的正面和背面分别进行丝网印刷形成电极,然后烧结;

其特征在于,步骤S1所述在硅片正面制绒的具体方法为:先用激光在硅片正面形成金字塔结构,并用氮气清洁干净,然后加热硅片到70°~80°,利用超声波雾化技术在硅片正面沉积一层均匀、不连续的NaOH小液滴,经过2~4分钟腐蚀后在硅片正表面形成金字塔绒面结构。

2.根据权利要求1所述的一种N型单晶双面电池的制备方法,其特征在于:NaOH小液滴雾化前的NaOH溶液的质量百分比浓度为10%~20%。

3.根据权利要求2所述的一种N型单晶双面电池的制备方法,其特征在于:步骤S4形成的正面Al2O3钝化膜的厚度为6~10nm,硅片正面SiNX减反膜的厚度为45~60nm,硅片背面SiNX减反膜的厚度为55~75nm。

4.根据权利要求3所述的一种N型单晶双面电池的制备方法,其特征在于:所述腐蚀液为硝酸与氢氟酸的混合液,硝酸与氢氟酸的质量浓度比为6:1。

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