一种可定制的高增益ZnO纳米线阵列紫外探测器及其制备方法与流程

文档序号:11136705阅读:来源:国知局
技术总结
一种可定制的高增益ZnO纳米线阵列紫外探测器及其制备方法,涉及微电子工艺技术、纳米技术与紫外探测领域。本发明中,基于协同学理论,在涨落不稳定时,纳米线之间会彼此争夺反应溶质,在这种竞争机制下,种子层越薄,所需的溶质资源越少,生长时间由生长速率决定。基于此生长原理,本发明中,通过调整种子层厚度和溶液浓度、生长时间得到质量较高的纳米线,从而得到不同增益的紫外探测器件。本发明简单有效,定制不同增益的器件可适用于多种环境下的紫外光检测。

技术研发人员:薛晓玮;李江江;高志远;邹德恕;张洁;赵立欢
受保护的技术使用者:北京工业大学
文档号码:201611012268
技术研发日:2016.11.17
技术公布日:2017.02.15

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