具有叠层异质结结构的钝化发射极太阳电池的制作方法

文档序号:12262449阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种具有叠层异质结结构的钝化发射极太阳电池,其特征是:包括硅衬底(1),在硅衬底(1)的正面由内到外依次包括扩散层(2)、掺杂非晶硅薄膜层(3)、透明导电薄膜层(4)和正电极(5);在硅衬底(1)的背面由内到外依次包括缓冲钝化层(6)、掺杂非晶硅薄膜层(7)、透明导电薄膜层(8)和背电极(9):

所述位于硅衬底正面的扩散层(2)与掺杂非晶硅薄膜层(3)具有与硅衬底相反的导电类型,同时具有高、低梯度掺杂的特征,共同形成正面发射极;位于硅衬底正面的透明导电薄膜层(4)起到载流子的收集以及发射极的钝化作用;位于硅衬底背面的缓冲钝化层(6)起到背面钝化的作用,同时采用与衬底导电类型相同的掺杂非晶硅薄膜层(7)作为背面场,其上沉积透明导电薄膜层(8)作为背面载流子收集层;最后在正面透明导电薄膜层(4)、背面透明导电薄膜层(8)上分别形成正电极(5)和背电极(9)。

2.如权利要求1所述的一种具有叠层异质结结构的钝化发射极太阳电池,其特征是:所述正面发射极同时具有同质结、异质结结构;所述背面场采用异质结结构。

3.如权利要求1所述的一种具有叠层异质结结构的钝化发射极太阳电池,其特征在于:所述扩散层(2)采用高温扩散工艺形成与硅衬底导电类型相反的半导体介质层,作为底层发射极。

4.如权利要求1所述的一种具有叠层异质结结构的钝化发射极太阳电池,其特征在于:所述掺杂非晶硅薄膜层可采用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)或者热丝化学气相沉积技术(HWCVD)制备。

5.如权利要求1所述的一种具有叠层异质结结构的钝化发射极太阳电池,其特征在于:所述的缓冲钝化层(6)可以是超薄氧化硅(SiO2)、本征非晶硅(a-Si)薄膜或者多层钝化膜的叠层结构。

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