电子部件的制造方法以及处理系统与流程

文档序号:14011017阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明的一个方面的电子部件的制造方法,准备部件主体(110),该部件主体(110)具有:第一面,其具有设置有多个突起电极(103)的电极形成区域;第二面,其是所述第一面的相反侧;以及侧周面,其设置在所述第一面与所述第二面之间,在所述第一面的至少周缘部,以所述多个突起电极的高度以上的高度形成包围所述电极形成区域的掩膜部(M1),经由所述掩膜部使所述第一面粘接于部件保持用的保持器上的粘合层(30),在所述部件主体形成覆盖所述第二面以及所述侧周面的保护膜(105),并从所述第一面除去所述掩膜部(M1)。

技术研发人员:影山贵志;岛田铁也;高桥康司;中牟田雄;原田学
受保护的技术使用者:株式会社爱发科
技术研发日:2016.08.17
技术公布日:2018.03.23
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