具有优化电容的不透光焊盘结构的X射线检测器的制作方法

文档序号:14254509阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明涉及一种X射线检测器(1),其包括衬底(23),衬底(23)具有在读出触点(57)和前置放大器(3)的输入端之间的导电连接,读出触点(57)位于衬底(23)的顶侧的区域中,前置放大器(3)位于集成电路的有源层(5)中。第一导电连接(17)设置在读出触点和第二导电连接(19)之间。衬底(23)的顶侧处的第一光防护件(7)的表面大于透光区域(15)的表面,使得第一光防护件(7)的表面在沿表面法线的第一投影中覆盖透光区域(15)的表面,透光区域(15)位于衬底中,在侧向上由第二光防护件(9)界定。第二导电连接(19)设置在透光区域(15)的表面沿表面法线的第二投影内,并且在第二光防护件(9)的下方。第二导电连接(19)与前置放大器(3)之间的第三导电连接(21)设置在第二光防护件(9)的下方。前置放大器(3)的输入端被保护,以免受光的直接入射。

技术研发人员:M·格勒普尔;E·格德尔;T·祖特普
受保护的技术使用者:西门子医疗有限公司
技术研发日:2016.06.03
技术公布日:2018.04.20
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