半导体装置及其制造方法与流程

文档序号:11233043阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明涉及一种半导体装置及其制造方法。实施方式的半导体装置具有:积层体,具有经由层间绝缘膜而积层的多个第1导电膜;第1导电体,与所述积层体相接且在积层方向延伸;以及多个第1绝缘膜,与所述多个第1导电膜为同一层,配置于所述第1导电体与所述多个第1导电膜之间,且所述第1导电体具有沿着1个第1绝缘膜及1个第1导电膜上而突出的突出部,且所述突出部的侧面与所述1个第1导电膜的上表面接触。

技术研发人员:福田夏树;岡嶋睦;大贺淳;田中利治;山口豪;高木刚;小村政则
受保护的技术使用者:东芝存储器株式会社
技术研发日:2017.01.11
技术公布日:2017.09.08
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