一种铁氧体基薄膜微波负载的制作方法

文档序号:14717133发布日期:2018-06-16 01:41阅读:来源:国知局
技术总结
本发明涉及一种铁氧体基薄膜微波负载,包括铁氧体基片以及形成于铁氧体基片上的电阻膜、微波信号馈入电路和LC匹配电路,所述电阻膜为半圆环状结构,所述电阻膜的内弧形段与微波信号馈入电路连接,并通过所述微波信号馈入电路连接至器件端口;所述电阻膜的外弧形段与LC匹配电路连接,并通过所述LC匹配电路实现分布式接地。本发明采用半圆环形电阻膜结构,相比于方形电阻膜结构,增大了电阻膜的表面积,最大限度提升了在同样介质状态下负载的功率容量。同时,本发明采用四分之一波长的LC匹配电路,在末端实现分布式接地,以避免负载需要末端侧面接地或设计接地化过孔的复杂工艺。 1

技术研发人员:贾亮
受保护的技术使用者:北京无线电测量研究所
技术研发日:2017.12.20
技术公布日:2018.06.15

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