技术总结
本实用新型涉及一种多工位扫描电镜EBSD样品台，可同时装多个样品的扫描电镜EBSD样品台，此样品台由一个底座、多个平台，一个挖槽试样台组成。底座起固定70度角的作用，平台和挖槽试样台的结合可单独控制每个样品的高度，从而实现在同一水平面上的测量，挖槽试样台侧面可测量试样另一个表面，此实用新型着重解决在进行EBSD测试时多个样品形状、大小和厚度不一样的样品表面表征的问题，且挖槽试样台与底座的配合可调节挖槽试样台的高度，即可整体调节所有样品的高度。样品台具有造价低廉、制作方便、操作简单、适用性广、不易损坏、同时表征多个样品表面的优点。
技术研发人员：汪炳叔;杨容;张鼎;刘慧敏;吴诗萍
受保护的技术使用者：福州大学
文档号码：201720092546
技术研发日：2017.01.24
技术公布日：2017.09.01