技术总结
本实用新型公开了一种晶圆与玻璃分离装置，该分离装置包括机架、上吸盘组件、位于上吸盘组件下方的下吸盘组件，所述下吸盘组件包括固定不动的下吸盘、贴合在下吸盘下的下加热器、穿设在下吸盘中能够升降的多根支撑柱，所述上吸盘组件包括上吸盘，贴合在上吸盘上的上加热器，所述机架上还设有能够驱动所述上吸盘组件竖向及左右移动的驱动组件，所述支撑柱的顶面具有吸嘴，所述上吸盘组件中具有压力传感器，所述上加热器和所述下加热器中均具有温度传感器。本实用新型能够实现将玻璃和晶圆片进行安全分离，具有分离效率高、破损率低的优点。
技术研发人员：王为新;袁翔;苏浩杰;邵佳裕
受保护的技术使用者：爱立发自动化设备（上海）有限公司
文档号码：201720201318
技术研发日：2017.03.03
技术公布日：2017.10.31