技术总结
本实用新型公开了一种用于饱和管式PECVD用石墨舟的陶瓷罩，其包括陶瓷罩本体，所述陶瓷罩本体的正面设有与石墨舟上的卡点相配合的凹槽，所述凹槽的一端为延伸到陶瓷罩本体的边缘的开口结构，所述凹槽的另一端为位于陶瓷罩本体上的封闭结构。本实用新型在安装时无需拆卸石墨舟，不仅缩短了工艺流程，提高了生产效率，还能避免石墨舟因频繁拆卸而损坏，降低了生产成本。
技术研发人员：郑银先;党继东;张标
受保护的技术使用者：苏州阿特斯阳光电力科技有限公司;盐城阿特斯协鑫阳光电力科技有限公司
文档号码：201720426637
技术研发日：2017.04.21
技术公布日：2017.11.14