一种薄膜晶体管、阵列基板和显示装置的制作方法

文档序号:13859233阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型实施例公开了一种薄膜晶体管、阵列基板和显示装置,其中,该薄膜晶体管包括:栅电极和源漏电极,栅电极和/或源漏电极为包括保护层和导电层的电极,保护层包括:设置在导电层表面的第一保护层和设置在导电层侧面的第二保护层,第二保护层用于阻隔氧化硅,通过在电极的导电层的侧面设置阻隔氧化硅的第二保护层,避免了氧化硅中的氢从导电层的侧面“游走”并进入导电层而导致的电极的接触电阻不均匀甚至断裂,进而改善了薄膜晶体管中电极的导电性,提高了薄膜晶体管的良品率。

技术研发人员:王东方;袁广才
受保护的技术使用者:京东方科技集团股份有限公司
文档号码:201721104937
技术研发日:2017.08.30
技术公布日:2018.03.02

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