半导体结构与半导体器件的制作方法

文档序号:19721439发布日期:2020-01-17 21:00阅读:来源:国知局
技术总结
本申请公开了一种半导体结构与半导体器件,该半导体结构包括:半导体衬底;外延层,为第一掺杂类型,位于半导体衬底的第一表面上;阱区,为第二掺杂类型,位于外延层上,阱区的掺杂浓度大于外延层的掺杂浓度,第二掺杂类型与第一掺杂类型相反;掺杂区,为第一掺杂类型,自阱区延伸至外延层中,从而在阱区中限定出至少一个阱区岛;以及隔离层,至少部分位于阱区与掺杂区之间,用于分隔阱区与掺杂区,其中,掺杂区接收控制电压,当控制电压满足预定范围时,每个阱区岛中形成与阱区反型的沟道区,沟道区靠近隔离层且与外延层接触。从而将之前决定PN结击穿电压的因素——外延层浓度,变成了阱区浓度,进而改变了PN结的击穿电压。

技术研发人员:周源;张小麟;李静怡;王超;张志文;朱林迪;牛玉玮;郭艳华
受保护的技术使用者:北京燕东微电子科技有限公司
技术研发日:2019.03.27
技术公布日:2020.01.17

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