键合夹具取放装置的制作方法

本实用新型涉及一种取放装置，尤其是一种键合夹具取放装置，属于微纳米工艺中夹具取放的技术领域。

背景技术：

在微纳米技术领域，经常要用到键合机及键合夹具。键合夹具在取放过程中多带有高温，会带来烫伤危害，同时用手取放键合夹具时会对衬底带来污染。因此，目前急需解决键合夹具的取放问题。

技术实现要素：

本实用新型的目的是克服现有技术中存在的不足，提供一种键合夹具取放装置，其结构紧凑，能方便快捷地将键合夹具从键合机腔中取出，能避免烫伤操作人员，能减少取放键合夹具时对衬底的污染，使用方便，安全可靠。

按照本实用新型提供的技术方案，所述键合夹具取放装置，包括第一夹爪连板、设置于所述第一夹爪连板上的第一拉手、第二夹爪连板以及设置于所述第二夹爪连板上的第二拉手；在所述第一夹爪连板远离第二夹爪连板的端部设置第一夹爪，在所述第二夹爪连板远离第一夹爪连板的端部设置第二夹爪，在第一夹爪、第二夹爪相对应的内侧均设置能与键合夹具适配连接的定位器；

还包括能对第一夹爪连板与第二夹爪连板间运动进行导向的连接运动导向机构，通过第一拉手、第二拉手间的相对运动能驱动第一夹爪连板与第二夹爪连板之间相对运动，第一拉手与第二拉手靠近时，能使得第一夹爪能与第二夹爪相互靠近；第一拉手与第二拉手在连接运动导向机构作用下复位时，通过第一夹爪连板与第二夹爪连板间的相对运动能驱动第一夹爪与第二夹爪复位。

所述第一拉手通过第一拉手紧固螺丝固定在第一夹爪连板上，第二拉手通过第二拉手紧固螺丝固定在第二夹爪连板上；第一夹爪与第一夹爪连板间相互垂直连接，第二夹爪与第二夹爪连板间相互垂直连接。

在第一夹爪连板的端部设置第一夹爪连板运动导向台阶面，所述第一夹爪连板运动导向台阶面与第一夹爪分别位于第一夹爪连板的两端，在第二夹爪连板的端部设置第二夹爪连板运动导向台阶面，所述第二夹爪连板运动导向台阶面与第二夹爪分别位于第二夹爪连板的两端；第一夹爪连板与第二夹爪连板呈同轴分布，且第一夹爪连板的第一夹爪连板运动导向台阶面与第二夹爪连板的第二夹爪连板运动导向台阶面间滑动连接。

在第一夹爪、第二夹爪上均设置夹爪通孔，所述夹爪通孔贯通相应的第一夹爪、第二夹爪；第一夹爪、第二夹爪上的定位器均对称分布于夹爪通孔的两侧。

所述连接运动导向机构位于第一夹爪与第二夹爪间，连接运动导向机构包括与第二夹爪连板固定连接的轴承支座、与所述轴承支座固定的长法兰直线轴承、与第一夹爪连板连接的轴支座以及贯穿轴座支座、长法兰直线轴承、轴支座的直推杆，在直推杆上还套有弹性体，所述弹性体位于长法兰直线轴承与轴支座间。

还包括能对轴支座进行限位的固定环，所述固定环能套在直推杆上，且固定环位于轴支座与第一夹爪之间。

在直推杆的端部设置推杆限位端板，所述推杆限位端板位于轴承支座的外侧。

所述直推杆的轴线与第一夹爪连板、第二夹爪连板相对应的长度方向相互平行。

本实用新型的优点：在第一夹爪连板上设置第一拉手以及第一夹爪，在第二夹爪连板上设置第二拉手以及第二棘爪，通过连接运动导向机构能对第一夹爪连板、第二夹爪连板的运动进行导向，通过第一拉手、第二拉手间的相对运动能驱动第一夹爪连板与第二夹爪连板之间相对运动，第一拉手与第二拉手靠近时，能使得第一夹爪能与第二夹爪相互靠近；第一拉手与第二拉手在连接运动导向机构作用下复位时，通过第一夹爪连板与第二夹爪连板间的相对运动能驱动第一夹爪与第二夹爪复位，从而通过定位器与键合夹具配合后能实现对键合夹具的夹紧与松开，能方便快捷地将键合夹具从键合机腔中取出，能避免烫伤操作人员，能减少取放键合夹具时对衬底的污染，使用方便，安全可靠。

附图说明

图1为本实用新型的立体图。

图2为本实用新型第一夹爪与第二夹爪的初始状态示意图。

图3为本实用新型第一夹爪与第二夹爪相互靠近后的示意图。

附图标记说明：1-第一拉手、2-第二拉手、3-第一拉手紧固螺丝、4-第一夹爪连板、5-第一夹爪、6-第二夹爪连板、7-定位器、8-固定环、9-直推杆、10-长法兰直线轴承、11-轴支座、12-弹性体、13-轴承支座、14-第二拉手紧固螺丝、15-第二夹爪连板运动导向台阶面、16-第二夹爪、17-夹爪通孔、18-第一夹爪连板运动导向台阶面以及19-推杆限位端板。

具体实施方式

下面结合具体附图和实施例对本实用新型作进一步说明。

如图1、图2和图3所示：为了能方便快捷地将键合夹具从键合机腔中取出，能避免烫伤操作人员，能减少取放键合夹具时对衬底的污染，本实用新型包括第一夹爪连板4、设置于所述第一夹爪连板4上的第一拉手1、第二夹爪连板6以及设置于所述第二夹爪连板6上的第二拉手2；在所述第一夹爪连板4远离第二夹爪连板6的端部设置第一夹爪5，在所述第二夹爪连板6远离第一夹爪连板4的端部设置第二夹爪16，在第一夹爪5、第二夹爪16相对应的内侧均设置能与键合夹具适配连接的定位器7；

还包括能对第一夹爪连板4与第二夹爪连板6间运动进行导向的连接运动导向机构，通过第一拉手1、第二拉手2间的相对运动能驱动第一夹爪连板4与第二夹爪连板6之间相对运动，第一拉手1与第二拉手2靠近时，能使得第一夹爪5能与第二夹爪16相互靠近；第一拉手1与第二拉手2在连接运动导向机构作用下复位时，通过第一夹爪连板4与第二夹爪连板6间的相对运动能驱动第一夹爪5与第二夹爪16复位。

具体地，第一拉手1通过第一拉手紧固螺丝3固定在第一夹爪连板4上，第二拉手2通过第二拉手紧固螺丝14固定在第二夹爪连板6上；第一夹爪5与第一夹爪连板4间相互垂直连接，第二夹爪16与第二夹爪连板6间相互垂直连接。第一拉手1与第一夹爪5分别位于第一夹爪连板4的两端，且第一拉手1与第二夹爪5分别位于第一夹爪连板4的两侧，同理，第二夹爪16以及第二拉手2也分别位于第二夹爪连板6的两侧，第一拉手1与第二拉手2位于第二夹爪连板6的同一侧，且第一拉手1与第二拉手2间相互平行。第一拉手1、第二拉手2的宽度大于第一夹爪连板4、第二夹爪连板6相对应的宽度。

本实用新型实施例中，第一夹爪连板4的长度方向与第二夹爪连板6的长度方向相一致，第一夹爪连板4、第二夹爪连板6的结合部位于第一夹爪5与第二夹爪16之间，且第一拉手1、第二拉手2也位于第一夹爪5与第二夹爪16之间。在第一夹爪5、第二夹爪16上均设置定位器7，定位器7位于第一夹爪5、第二夹爪16的下部，定位器7能与键合夹具上的定位孔适配，即定位器7能嵌置进入键合夹具的定位孔内。当使得第一拉手1与第二拉手2靠近时，则第一拉手1、第二拉手2能带动第一夹爪连板4、第二夹爪连板6运动，从而能使得第一夹爪5与第二夹爪16相互靠近，当第一夹爪5与第二夹爪16靠近后，利用定位器7与键合夹具配合能实现对键合夹具的夹紧，处于夹紧状态的键合夹具能从键合机腔体中取出，防止高温夹具烫伤的危险，同时可以减少目前手动取放夹具对衬底带来的污染。

本实用新型实施例中，通过连接运动导向机构能对第一夹爪连板4、第二夹爪连板6的运动进行导向，且在松开第一拉手1与第二拉手2后，连接运动导向机构能驱动第一拉手1与第二拉手2复位，即通过连接运动导向机构能使得第一夹爪连板4与第二夹爪连板6处于复位状态，当第一夹爪连板4与第二夹爪连板6复位后，第一夹爪5与第二夹爪16也处于复位状态，第一夹爪5与第二夹爪16复位后，能松开对键合夹具的夹紧。第一夹爪5与第二夹爪16处于复位状态时，第一夹爪5与第二夹爪16之间的距离一般要大于处于夹紧状态时第一夹爪5与第二夹爪16之间的距离，从而能为下一次对键合夹具的夹紧做准备，使用方便。

进一步地，在第一夹爪连板4的端部设置第一夹爪连板运动导向台阶面18，所述第一夹爪连板运动导向台阶面18与第一夹爪5分别位于第一夹爪连板4的两端，在第二夹爪连板6的端部设置第二夹爪连板运动导向台阶面15，所述第二夹爪连板运动导向台阶面15与第二夹爪16分别位于第二夹爪连板6的两端；第一夹爪连板4与第二夹爪连板6呈同轴分布，且第一夹爪连板4的第一夹爪连板运动导向台阶面18与第二夹爪连板6的第二夹爪连板运动导向台阶面15间滑动连接。

本实用新型实施例中，第一夹爪连板4与第二夹爪连板6间通过第一夹爪连板运动导向台阶面18与第二夹爪连板运动导向台阶面18滑动连接配合，当通过第一拉手1、第二拉手2之间驱动第一夹爪连板4与第二夹爪连板6运动时，通过第一夹爪连板运动导向台阶面18与第二夹爪连板运动导向台阶面15配合能提高运动的稳定性，且通过第一第一夹爪连板运动导向台阶面18与第二夹爪连板运动导向台阶面18能实现对第一夹爪连板4、第二夹爪连板6之间的运动距离进行限位。

此外，在第一夹爪5、第二夹爪16上均设置夹爪通孔17，所述夹爪通孔17贯通相应的第一夹爪5、第二夹爪16；第一夹爪5、第二夹爪16上的定位器7均对称分布于夹爪通孔17的两侧。

本实用新型实施例中，第一夹爪5与第一夹爪连板4固定连接，第二夹爪16与第二夹爪连板16固定，通过夹爪通孔17能减轻第一夹爪5、第二夹爪16的重量，且在通过定位器7与键合夹具配合时，能提高对键合夹具夹取操作的稳定性。定位器7可以呈圆柱状，定位器7凸出于第一夹爪5、第二夹爪16相对应的内侧面，定位器7在第一夹爪5、第二夹爪16上的位置分布一般要与键合夹具上定位孔的分布对应，具体为本技术领域人员所熟知，此处不再赘述。

进一步地，所述连接运动导向机构位于第一夹爪5与第二夹爪16间，连接运动导向机构包括与第二夹爪连板6固定连接的轴承支座13、与所述轴承支座13固定的长法兰直线轴承10、与第一夹爪连板4连接的轴支座11以及贯穿轴座支座13、长法兰直线轴承10、轴支座11的直推杆9，在直推杆9上还套有弹性体12，所述弹性体12位于长法兰直线轴承10与轴支座11间。

本实用新型实施例中，连接运动导向机构位于第一夹爪5与第二夹爪16之间，且连接运动导向机构位于第一夹爪连板4、第二夹爪连板6的内侧面，即连接运动导向机构与第一拉手1、第二拉手2分别位于第一夹爪连板4、第二夹爪连板6的两侧。

轴承支座13与第二夹爪连板6固定，长法兰直线轴承10与轴承支座13固定，轴支座11与第一夹爪连板4固定，直推杆9贯穿轴座支座13、长法兰直线轴承10、轴支座11，弹性体12可以采用弹簧等弹性部件制成，弹性体12位于长法兰直线轴承10与轴支座11之间。所述直推杆9的轴线与第一夹爪连板4、第二夹爪连板6相对应的长度方向相互平行。当第一夹爪5与第二夹爪16相互靠近时，能压缩弹性体12，从而在松开第一拉手1、第二拉手2后，在弹性体12的作用下，能使得第一夹爪连板4、第二夹爪连板6相对运动后复位，继而使得第一夹爪5与第二夹爪16复位后处于相对远离的状态，为下一次对键合夹具的夹紧做准备。

进一步地，还包括能对轴支座11进行限位的固定环8，所述固定环8能套在直推杆9上，且固定环8位于轴支座11与第一夹爪5之间。

本实用新型实施例中，根据实际需要，能调节轴支座11与第一夹爪连板4之间的连接位置，通过固定环8能对轴支座11限位。在直推杆9的端部设置推杆限位端板19，所述推杆限位端板19位于轴承支座13的外侧。利用推杆限位端板19与轴承支座13配合能进行限位。具体实施时，在轴支座11与轴承支座13上设置两根直推杆9，利用两根直推杆9的配合能提高对第一夹爪连板4、第二夹爪连板6运动导向的稳定性。