一种光电子器件的封装结构及封装方法_3

文档序号:9218745阅读:来源:国知局
树脂层22包括75%的虫胶、16%的反应稀释剂和9%的三芳基硫型六氟磷盐,周期 数n为2,器件结构为:
[0067]玻璃衬底 /IT0/CuPc(20nm)/C6Q(40nm)/Ag(150nm)/[Al203(100nm)/ 紫外光固化树 脂(80nm)]2
[0068] 制备方法与实施例1相似。
[0069] 实施例8
[0070]如图2所示,1为有机太阳能电池器件,阳极层12为IT0,电子给体层16为酞菁铜 (CuPc),电子受体层17为富勒烯(C6(l),阴极层15为Ag,无机封装材料层21为A1203,紫外 光固化树脂层22包括76%的虫胶、16%的反应稀释剂和8%的三芳基硫型六氟磷盐,周期 数n为24,器件结构为:
[0071] 玻璃衬底 /IT0/CuPc(20nm)/C6Q(40nm)/Ag(150nm)/[Al203(100nm)/ 紫外光固化树 脂(80nm)]24
[0072] 制备方法与实施例1相似。
[0073] 实施例9
[0074] 如图2所示,1为有机太阳能电池器件,阳极层12为ITO,电子给体层16为酞菁铜 (CuPc),电子受体层17为富勒烯(C6(l),阴极层15为Ag,无机封装材料层21为A1203,紫外 光固化树脂层22包括77%的虫胶、15%的反应稀释剂和8 %的三芳基硫型六氟磷盐,周期 数n为16,器件结构为:
[0075] 玻璃衬底 /IT0/CuPc(20nm)/C6Q(40nm)/Ag(150nm)/[Al203(100nm)/ 紫外光固化树 脂(80nm)]16
[0076] 制备方法与实施例1相似。
[0077] 实施例10
[0078] 如图2所示,1为有机太阳能电池器件,阳极层12为ITO,电子给体层16为酞菁铜 (CuPc),电子受体层17为富勒烯(C6(l),阴极层15为Ag,无机封装材料层21为Si02,紫外光 固化树脂层22包括78%的虫胶、15%的反应稀释剂和7%的三芳基硫型六氟磷盐,周期数 n为12,器件结构为:
[0079] 玻璃衬底 /IT0/CuPc(20nm)/C6Q(40nm)/Ag(150nm)/[Si02(300nm)/ 紫外光固化树 月旨(500nm)]12
[0080] 制备方法与实施例1相似。
[0081] 实施例11
[0082] 如图2所示,1为有机太阳能电池器件,阳极层12为ITO,电子给体层16为酞菁铜 (CuPc),电子受体层17为富勒烯(C6(l),阴极层15为Ag,无机封装材料层21为Si02,紫外光 固化树脂层22包括79%的虫胶、14%的反应稀释剂和7%的三芳基硫型六氟磷盐,周期数 n为20,器件结构为:
[0083] 玻璃衬底 /IT0/CuPc(20nm)/C6Q(40nm)/Ag(150nm)/[Si02(300nm)/ 紫外光固化树 月旨(500nm)]20
[0084] 制备方法与实施例1相似。
[0085] 实施例12
[0086] 如图2所示,1为有机太阳能电池器件,阳极层12为ITO,电子给体层16为酞菁铜 (CuPc),电子受体层17为富勒烯(C6(l),阴极层15为Ag,无机封装材料层21为Si02,紫外光 固化树脂层22包括80%的虫胶、13%的反应稀释剂和7%的三芳基硫型六氟磷盐,周期数 n为16,器件结构为:
[0087]玻璃衬底 /IT0/CuPc(20nm)/C6Q(40nm)/Ag(150nm)/[Si02(300nm)/ 紫外光固化树 月旨(500nm)]16
[0088] 制备方法与实施例1相似。
[0089] 实施例13
[0090] 如图3所示,1为有机薄膜晶体管器件,底电极18为ITO,绝缘层19为聚甲基丙烯 酸甲醋(PMMA),载流子传输层20为并五苯(Pentacene),顶电极23为Au,无机封装材料层 21为Si3N4,紫外光固化树脂层22包括81 %的虫胶、13%的反应稀释剂和6%的三芳基硫型 六氟磷盐,周期数n为24,器件结构为:
[0091] Si衬底/ITO(180nm)/PMMA(400nm)/Pentacene(80nm)/Au(100nm) / [Si3N4(200nm)/ 紫外光固化树脂(100nm)]24
[0092] 制备方法如下:
[0093] ①利用洗涤剂、丙酮溶液、乙醇溶液和去离子水超声清洗基片并用氮气吹干;
[0094] ②将干净的基片传至高真空蒸发室,分别保持有机腔和金属腔的压强为 3.OXl(T4Pa和3.OXl(T3Pa以下,利用高真空蒸镀方法制备各有机功能层以及阴极金属 层;
[0095] ③对上述制备的有机薄膜晶体管器件,利用等离子增强型化学气象沉积(以下简 称PECVD)方法制备无机薄膜封装材料Si3N4,沉积的厚度为200nm;
[0096] ④将器件传至具有紫外光固化树脂的腔体内,并喷涂紫外光固化树脂,喷涂的厚 度为lOOnm;
[0097] ⑤对器件进行紫外光固化处理30秒;
[0098] ⑥重复上述步骤③~⑤,再制备周期数为(n-1)的无机薄膜封装材料和紫外光固 化树脂交替组成的薄膜层;
[0099] ⑦测试器件的寿命及其各项参数。
[0100] 实施例14
[0101] 如图3所示,1为有机薄膜晶体管器件,底电极18为ITO,绝缘层19为聚甲基丙烯 酸甲醋(PMMA),载流子传输层20为并五苯(Pentacene),顶电极23为Au,无机封装材料层 21为Si3N4,紫外光固化树脂层22包括82%的虫胶、12%的反应稀释剂和6%的三芳基硫型 六氟磷盐,周期数n为20,器件结构为:
[0102] Si衬底/ITO(180nm)/PMMA(400nm)/Pentacene(80nm)/Au(lOOnm) / [Si3N4(200nm)/ 紫外光固化树脂(100nm)]2CI
[0103] 制备方法与实施例13相似。
[0104] 实施例15
[0105] 如图3所示,1为有机薄膜晶体管器件,底电极18为ITO,绝缘层19为聚甲基丙烯 酸甲醋(PMMA),载流子传输层20为并五苯(Pentacene),顶电极23为Au,无机封装材料层 21为Si3N4,紫外光固化树脂层22包括83%的虫胶、11 %的反应稀释剂和6%的三芳基硫型 六氟磷盐,周期数n为16,器件结构为:
[0106] Si衬底/ITO(180nm)/PMMA(400nm)/Pentacene(80nm)/Au(lOOnm) / [Si3N4(200nm)/ 紫外光固化树脂(100nm)]16
[0107] 制备方法与实施例13相似。
[0108] 实施例16
[0109] 如图3所示,1为有机薄膜晶体管器件,底电极18为ITO,绝缘层19为聚甲基丙烯 酸甲醋(PMMA),载流子传输层20为并五苯(Pentacene),顶电极23为Au,无机封装材料层 21为Si02,紫外光固化树脂层22包括84%的虫胶、10%的反应稀释剂和6%的三芳基硫型 六氟磷盐,周期数n为12,器件结构为:
[0110] Si衬底/ITO(180nm)/PMMA(400nm)/Pentacene(80nm)/Au(lOOnm) / [Si02 (200nm) / 紫外光固化树脂(500nm)]12
[0111] 制备方法与实施例13相似。
[0112] 实施例17
[0113] 如图3所示,1为有机薄膜晶体管器件,底电极18为IT0,绝缘层19为聚甲基丙烯 酸甲醋(PMMA),载流子传输层20为并五苯(Pentacene),顶电极23为Au,无机封装材料层 21为
当前第3页1 2 3 4 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1