用任何材料，只要该材料可使多个线圈图案120嵌入并保护多个线圈图案120即可。
[0111]因此，在本示例性实施例的制造方法中，第一绝缘层111可由树脂类别形成，第二绝缘层112可由半固化片和树脂的混合物形成，并且也可进行各种应用，诸如由从由丙烯酸类聚合物，酚类聚合物和聚酰亚胺类聚合物组成的组中选择的至少一种材料或至少两种材料的混合物形成的第一绝缘层111和第二绝缘层112。
[0112]<薄膜电感器及其制造方法>
[0113]图7是根据本公开的示例性实施例的薄膜电感器200的示意性截面图。
[0114]参照图7，根据本示例性实施例的薄膜电感器200可通过包括结合到如图1所示的根据本示例性实施例的用于薄膜电感器的线圈单元100的磁性主体210来形成。
[0115]这里，在本示例性实施例中，列举了磁性主体210结合到用于薄膜电感器的线圈单元100的两个表面的情况，但本公开不限于此，磁性主体210可仅结合到用于薄膜电感器的线圈单元100的上表面或下表面，从而形成薄膜电感器200。
[0116]这里，在磁性主体210结合到用于薄膜电感器的线圈单元100的情况下，在结合时可使用聚合物(诸如环氧树脂或聚酰亚胺)或另一种粘附剂。
[0117]另外，可使用现有的铁氧体粉末本身作为磁性主体210，或者可使用形成在玻璃或另一基板上的铁氧体作为磁性主体，此外，可使用通过薄膜制造工艺形成的软磁膜或绝缘膜的堆叠膜。
[0118]同时，图7中示出的薄膜电感器200可通过包括以下步骤来形成:形成如前所述的根据本示例性实施例的制造方法形成的用于薄膜电感器的线圈单元100(即，如图1所示的用于薄膜电感器的线圈单元100)的步骤；然后将磁性主体210结合到用于薄膜电感器的线圈单元100的上表面和下表面中的至少一个表面。
[0119]根据如上所述的本公开，能够实现小型化和纤薄化，并且更自由地设计薄膜电感器特性。
[0120]另外，根据如上所述的本公开，制造工艺的简化允许大批量生产。
[0121]在本说明书中，参照本公开的原理的“示例性实施例”以及这种描述的各种变型表示关于示例性实施例的某些特征、结构、性质等包括在本公开的原理的至少一个示例性实施例中。因此，贯穿本说明，公开的表述“在一个示例性实施例中”和其它可选变型示例不必表示相同的示例。
[0122]在本公开的附图中，存在示出工艺步骤的附图，但这些步骤是被示出为获得优选结果的某些步骤，而不解释为应该实施这些步骤或者应该实施所示出的所有步骤。在某个示例中，可优选多重任务和平行步骤处理。
[0123]在本说明书中，在“A和B中的至少一个”中的表述“……中的至少一个”用于包含仅选择第一选项A、或仅选择列出的第二选项B、或选择A和B两个选项。对另外的示例，“A、B和C中的至少一个”可包含仅选择列出的第一选项A、或仅选择列出的第二选项B、或仅选择列出的第三选项C、或仅选择列出的第一选项A和第二选项B、或仅选择列出的第一选项A和第三选项C、或仅选择列出的第二选项B和第三选项C、或选择A、B和C的所有的三个选项。此外，在列出更多个条目的情况下，本领域技术人员可清楚地进行扩展和解释。
[0124]在上文中，已经参照本公开的优选示例性实施例描述了本公开。本说明书中公开的所有示例性实施例和条件示例被示出为意图帮助读者(本公开所属技术领域的普通技术人员)理解本公开的原理和范围，本领域技术人员可理解，以在不脱离本公开的基本特征的范围内的变型的形式实施本公开。因此，不应该从限制性的视角，而是应该从描述性的视角来理解公开的示例性实施例。本公开的范围应该由权利要求来限定，而不是由上述描述来限定，与权利要求等同的所有技术精神应该被解释为包括在本公开中。
【主权项】
1.一种用于薄膜电感器的线圈单元，包括: 绝缘材料层(110)，具有第一绝缘层和第二绝缘层的双层； 多个线圈图案(120)，形成为嵌在绝缘材料层(110)中， 其中，线圈图案(120)中的至少一个线圈图案具有与其余线圈图案(120)的厚度不同的厚度。2.根据权利要求1所述的用于薄膜电感器的线圈单元，其中，线圈图案(120)包括: 第一镀层，形成为嵌在第一绝缘层中； 第二镀层，形成为嵌在第二绝缘层中。3.根据权利要求2所述的用于薄膜电感器的线圈单元，其中，第一绝缘层和第二绝缘层是光敏绝缘层。4.根据权利要求3所述的用于薄膜电感器的线圈单元，其中，第一绝缘层由半固化片和树脂的混合物形成，第二绝缘层由树脂形成。5.根据权利要求3所述的用于薄膜电感器的线圈单元，其中，第一绝缘层由树脂形成，第二绝缘层由半固化片和树脂的混合物形成。6.根据权利要求2所述的用于薄膜电感器的线圈单元，其中，第一镀层和第二镀层中的至少一个由多个镀层形成。7.根据权利要求1所述的用于薄膜电感器的线圈单元，所述用于薄膜电感器的线圈单元还包括形成在绝缘材料层(110)的上表面和下表面上的绝缘剂层(130)。8.根据权利要求2所述的用于薄膜电感器的线圈单元，所述用于薄膜电感器的线圈单元还包括形成在第一镀层的暴露于第一绝缘层的下表面的暴露的部分上以及第二镀层的暴露于第二绝缘层的上表面的暴露的部分上的绝缘剂层(130)。9.一种薄膜电感器，包括: 根据权利要求1-8中任意一项所述的用于薄膜电感器的线圈单元(100); 磁性主体(210)，结合到所述用于薄膜电感器的线圈单元(100)的上表面和下表面中的至少一个表面。10.一种制造用于薄膜电感器的线圈单元的方法，包括: (a)在一对金属层的每个上形成第一镀层，并形成第一绝缘层以使第一镀层嵌入，其中，所述一对金属层的每个通过粘附层分别粘合到基板层的两个表面； (b)形成第二镀层，并形成第二绝缘层以使第二镀层嵌入； (c)使所述一对金属层与基板层分离， 其中，包括第一镀层和第二镀层的多个线圈图案中的至少一个线圈图案形成为具有与其余线圈图案的厚度不同的厚度。11.根据权利要求10所述的制造用于薄膜电感器的线圈单元的方法，其中，步骤(a)包括: (a-Ι)在一对金属层的每个上形成与所述其余线圈图案的第一镀层对应的第一阻镀剂，从而使金属层的预定区域暴露； (a-2)在金属层的在步骤(a-Ι)中暴露的区域上形成所述其余线圈图案的第一镀层； (a-3)去除第一阻镀剂； (a-4)在金属层的去除了第一阻镀剂的区域上以及所述其余线圈图案的第一镀层的区域上形成第一绝缘层； (a-5)去除第一绝缘层的与所述至少一个线圈图案的第一镀层对应的部分，从而使金属层的预定区域暴露； (a-6)在金属层的在步骤(a-5)中暴露的区域上形成所述至少一个线圈图案的第一镀层。12.根据权利要求11所述的制造用于薄膜电感器的线圈单元的方法，其中，步骤(b)包括: (b-D在第一绝缘层上形成与所述其余线圈图案的第二镀层对应的第二阻镀剂，从而使第一绝缘层的预定区域暴露； (b-2)在第一绝缘层的在步骤(b-Ι)中暴露的区域上形成所述其余线圈图案的第二镀层； (b-3)去除第二阻镀剂； (b-4)在第一绝缘层的去除了第二阻镀剂的区域上以及所述其余线圈图案的第二镀层的区域上形成第二绝缘层； (b-5)去除第二绝缘层的与所述至少一个线圈图案的第二镀层对应的部分，从而使在步骤(a-6)中形成的第一镀层暴露； (b-6)在步骤(b-5)中暴露的第一镀层上形成所述至少一个线圈图案的第二镀层。13.根据权利要求10所述的制造用于薄膜电感器的线圈单元的方法，其中，步骤(c)包括: (c-Ι)通过蚀刻去除金属层。14.根据权利要求13所述的制造用于薄膜电感器的线圈单元的方法，所述方法还包括:在步骤(c-Ι)之后，在第一绝缘层和第二绝缘层的上表面和下表面上形成绝缘剂层的步骤⑷。15.根据权利要求13所述的制造用于薄膜电感器的线圈单元的方法，所述方法还包括:在步骤(c-Ι)之后，在第一镀层的暴露于第一绝缘层的下表面的暴露的部分上以及在第二镀层的暴露于第二绝缘层的上表面的暴露的部分上形成绝缘剂层的步骤(d)。16.根据权利要求10所述的制造用于薄膜电感器的线圈单元的方法，其中，第一绝缘层和第二绝缘层是光敏绝缘层。17.根据权利要求16所述的制造用于薄膜电感器的线圈单元的方法，其中，第一绝缘层由半固化片和树脂的混合物形成，第二绝缘层由树脂形成。18.根据权利要求16所述的制造用于薄膜电感器的线圈单元的方法，其中，第一绝缘层由树脂形成，第二绝缘层由半固化片和树脂的混合物形成。19.根据权利要求10所述的制造用于薄膜电感器的线圈单元的方法，其中，第一镀层和第二镀层中的至少一个由多个镀层形成。20.一种制造薄膜电感器的方法，所述方法包括: 将磁性主体结合到用于薄膜电感器的线圈单元的上表面和下表面中的至少一个表面，其中，根据权利要求10至19中的任意一项权利要求的制造用于薄膜电感器的线圈单元的方法来形成所述用于薄膜电感器的线圈单元。
【专利摘要】提供了一种线圈单元及其制造方法、薄膜电感器及其制造方法。所述用于薄膜电感器的线圈单元包括：绝缘材料层，具有第一绝缘层和第二绝缘层的双绝缘层；多个线圈图案，形成为嵌在绝缘材料层中。线圈图案中的至少一个线圈图案具有与其余线圈图案的厚度不同的厚度。
【IPC分类】H01F27/28, H01F41/04, H01F37/00
【公开号】CN105448491
【申请号】CN201510612320
【发明人】朴贞雨, 金东珉
【申请人】三星电机株式会社
【公开日】2016年3月30日
【申请日】2015年9月23日
【公告号】US20160086721