插入到下环130和上环135之间，并且可包括多个部段kl至kn(n是大于1的自然数)，气体可穿过这些部段。
[0080]插入件240可包括位于两个相邻部段之间的分隔壁242，且部段kl至kn(n是大于1的自然数)均可以是独立的并且可由分隔壁242彼此隔离。
[0081]形成在挡板230-1至230-3的任一个中的通孔与部段kl至kn(n是大于1的自然数)中的至少一个相对应或者对准。
[0082]插入件240的部段kl至kn(n是大于1的自然数)中的每个均可以具有敞开区域，该敞开区域大于形成在挡板230-1至230-3每个中的通孔21-1至21-n、22-1至22-m或者23-1至23-k的每个的区域，且小于第一至第三气体出口 350a、350b和350c中每个的区域。
[0083]衬套140的第一台阶部142可设有分隔壁149，该分隔壁与用于分隔部段kl至kn(n是大于1的自然数)的分隔壁242相对应。
[0084]流过部段kl至kn(n是大于1的自然数)的源气体可沿着衬套140的第一台阶部142的由分隔壁149隔开或分隔的表面流动。通过第一台阶部142的表面引入到反应腔室105中的源气体可以沿着晶体W的表面流动。流过晶体W的表面的源气体可通过衬套140的第二台阶部144流至气体排放单元170。
[0085]图6是图1所示的挡板230-1至230-3的放大立体图。图7是图6所示的挡板230-1至230-3的俯视图。图8是图6所示的挡板230-1至230-3的侧视图。
[0086]参照图6至图8，挡板230-1至230-3中的每个可以包括板12-1、12-2或12-3;通孔21-1至21-n、22-l至22-m或者23-1至23-k(n、m和k是大于1的自然数)和支承部(例如al至a3、bl至b3或者cl至c3)。
[0087]板12-1、12-2或12-3可以具有插入或配装到导引部450中的形状。板12-1、12-2或12-3具有的尺寸可以与注射盖210中的气体出口 350a至350c的对应一个的尺寸成比例。另夕卜，挡板230-1至230-3的板12-1、12_2或12_3也可以具有不同的尺寸。
[0088]通孔21-1至21-n、22-l至22-m或者23-1至23-k(n、m和k是大于1的自然数)可以设置成穿过相关联的板12-1、12-2或12-3，并且可以沿板12-1、12-2或12-3的纵向101成直线间隔布置。
[0089]通孔21-1至21-n、22-l至22-m或者23-1至23-k(n、m和k是大于1的自然数)可以具有相同的直径，但是本公开不限于此。即，可替换地，这些通孔中的至少一些可以具有不同的直径。
[0090]例如，在第一挡板230-1中的通孔数量可以是21，而在第二挡板230-2和第三挡板230-3的每个中的通孔数量可以是9.5。然而，在每个挡板中的通孔数量不限于此。
[0091]例如，通孔21-1至21-n、22-l至22-m或者23-1至23-k(n、m和k是大于1的自然数)每个可以具有2mm至6mm的直径。
[0092]支承部(例如al至a3、bl至b3或者cl至c3)可以连接到相关联的板12-1、12-2或12-3的一个表面，并且可以用以支承挡板230-1至230-3中的每个。
[0093]支承部(例如al至a3、bl至b3或者cl至c3)可以包括多个支腿，这些支腿连接到板
12-1、12-2或12-3的一个表面，并且间隔定位。该支承部可以具有不同的形状，只要源气体流动不被干扰便可。例如，该支承部可以具有圆柱形支腿的形状，该支腿连接到该板的边缘。
[0094]多个支腿al至a3、bl至b3或者cl至c3可以定位成与通孔21-1至21-n、22-l至22-m或者23-1至23-k(n、m和k是大于1的自然数)间隔开。
[0095]虽然在图6至图8中，这些支腿描述为相应地连接到每个板12-1、12-2或12-3的一端、另一端和中部，但是本公开不限于此。例如，支腿的数量可以是两个或更多个。
[0096]例如，第一挡板230-1可以设置成对应于气体出口 350a，并且可以包括板12-1、通孔21-1至21-n(n是大于1的自然数)和支腿al至a3。在该实施例中，通孔和支腿的数量不限于图6所示的这些。
[0097]每个板12-1、12-2或12-3的一端或两端可以沿板12-1、12-2或12-3的纵向方向设置有凹槽 13-1、13-2、13-3 或 13-4。
[0098]例如，位于挡板中部的第一板12-1的两端可以沿板12-1、12-2或12-3的纵向方向设置有凹槽13-1、13-2，而第二板12-2和第三板12-3的相应端可以沿板12-1、12-2或12-3的纵向方向设置有凹槽13-3或13-4。凹槽13-1至13-4每个都可以具有半圆形，但是本公开不限于此。
[0099 ]设置在两个相邻板(例如12-1和12-2)的一个12-1的一端中的凹槽(例如13-1)和设置在另一个12-2的一端中凹槽(例如13-3)可以布置成彼此相邻。两个相邻凹槽13-1和
13-3可以形成一个联接槽401(参见图10)。在此情形中，联接槽401可以具有圆形，而本公开不限于此。
[0100]图9是示出了注射盖210和挡板230-1至230-3的分解立体图。图10是图9所示的注射盖210和挡板230-1至230-3的组装立体图。图11是根据该实施例的当从方向“A-B”观察时的注射盖210和挡板230-1至230-3的剖视图。
[0101 ] 参照图9至图11，挡板230-1至230-3可以插入或配装到导引部450，使得在挡板230-1至230-3的每个中的通孔21-1至21-n、22-l至21-n或者23-1至23-k(n、m和k是大于1的自然数)面对气体出口 350a、350b和350c的相应一个。
[0102]挡板230-1至230-3每个的支腿al至a3、bl至b3或者cl至c3可以插入气体出口350a、350b和350c的相应一个。另外，挡板230-1至230-3的板12-1、12-2或12-3可以插入或配装到导引部450中。
[0103]插入导引部450中的挡板230-1至230-3的外周表面可以压靠或者接触导引部450的内壁459(参见图5)。例如，插入导引部450中的挡板230-1至230-3的板12-1、12-2或12-3的外周表面可以压靠或者接触导引部450的内壁459(参见图5)。
[0104]插入气体出口 350a、350b和350c中的支腿al至a3、bl至b3或者cl至c3的各端部可以接触注射盖210的内底部201。
[0105]构造成使得支腿al至a3、bl至b3或者cl至c3的各端部接触注射盖210的内底部201的挡板230-1至230-3的上表面207可以与导引部450的上表面455平齐。
[0106]图12是根据该实施例的另一实例的当从方向“A-B”观察时的注射盖210和多个挡板230-1至230-3的剖视图。
[0107]参照图12，可以通过调整挡板230-1至230-3每个的支腿al至a3、bl至b3或者cl至c3的长度，来调整挡板230-1至230-3的插入配装入导引部450中的深度。
[0108]例如，挡板230-1至230-3的一个支承部的各支腿的长度可以与挡板230-1至230-3的另一个支承部的各支腿的长度不同。
[0109]例如，构造成使得支腿al至a3、bl至b3或者cl至c3的各端部接触注射盖210的内底部201的挡板230-1至230-3的上表面207可以位于导引部450的上表面455的下方。距离D