半导体装置的制造方法
【专利说明】半导体装置
[0001 ] 本分案申请是基于申请号为201310014810.8，申请日为2013年I月16日，发明名称为“半导体装置”的中国专利申请的分案申请。
技术领域
[0002]本发明涉及例如在应用于车载用点火装置(点火器)的半导体封装中内置有驱动用半导体芯片及控制驱动用半导体芯片的控制用半导体芯片的半导体装置。
【背景技术】
[0003]作为现有半导体装置的一个实施例，已知如下的结构。
[0004]如图7所示，在半导体装置61的由引线框形成的载置台62上，固定有半导体元件63与片状电容64。载置台62形成得大于半导体元件63，片状电容64搭载在半导体元件63周围的载置台62上。而且，在片状电容64的搭载区域，载置台62通过其表面侧被半蚀刻而形成有凹部65。如图7所示，在凹部65内配置有聚酰亚胺胶带等绝缘胶带66，在该绝缘胶带66上固定安装有片状电容64。通过该结构，能够防止片状电容64经由载置台62与半导体63发生短路(例如参照专利文献I)。
[0005]另外，作为现有半导体装置的另一个实施例，已知如下的结构。
[0006]如图8所示，在一分为二的其中一个接头片(夕文)71的主表面上固定有IC芯片72，在另一个接头片73的主表面上固定有电子部件74，至少通过被分割的接头片71，73的结构，能够防止电子部件74经由接头片71，73与IC芯片72发生短路。而且，如砂状的阴影所示，也可以在另一个接头片73的主表面上形成绝缘膜75(例如参照专利文献2)。
[0007]专利文献I:(日本)特开2006-245618号公报(第4-5页、第5-8图)
[0008]专利文献2:(日本)实开昭63-187353号的微型薄膜(第4-5页、第1-2图)
[0009]在车载用点火装置的树脂封装内，内置有例如作为开关元件内置了IGBT等大电流元件的驱动用半导体芯片及控制该驱动用半导体芯片的控制用半导体芯片。控制用半导体芯片具有温度检测元件与过热保护电路，被配置在驱动用半导体芯片的附近。而且，控制用半导体芯片检测驱动用半导体芯片的温度，当检测出设定值以上的温度时，强制关断驱动用半导体芯片，防止驱动用半导体芯片的温度异常升高，防止驱动用半导体芯片着火。
[0010]此时，如图7所示，通过将驱动用半导体芯片与控制用半导体芯片配置在同一岛部上，能够精确地检测驱动用半导体芯片温度升高的状况。而且，通过使用绝缘胶带来防止两个半导体芯片发生短路，但在两个半导体芯片被配置在同一岛部上的结构中，由于绝缘胶带的粘贴工序及贴片接合工序中的位置确认误差等制造上的误差，存在易于使两个半导体芯片发生短路的问题。
[0011]而且，在同一岛部上配置两个半导体芯片的结构中，该岛部电位成为向驱动用半导体芯片施加的电位。因此，在向控制用半导体芯片施加不同的电位时，需要对引线进行构图直至该岛部附近，从而存在限制图案设计自由度的问题。
[0012]另一方面，如图8所示，在分割接头片的结构中，驱动用半导体芯片与控制用半导体芯片的间隔距离由于引线框的加工条件而存在难以缩小一定幅度以上的问题。进而，通过该结构，在控制用半导体芯片检测驱动用半导体芯片温度升高的状况时，因为主要经由树脂封装的树脂进行检测，所以，由于材料的导热率的关系，存在难以精确地进行检测的问题。
【发明内容】
[0013]本发明是鉴于上述问题而提出的，本发明的半导体装置的特征在于，具有:第一搭载区域;配置在所述第一搭载区域的附近且与所述第一搭载区域分开形成的第二搭载区域;配置在所述第一搭载区域及所述第二搭载区域的附近的引线；固定安装在所述第一搭载区域上的第一半导体芯片；固定安装在所述第一搭载区域及所述第二搭载区域上并控制所述第一半导体芯片的第二半导体芯片;覆盖所述第一搭载区域及所述第二搭载区域、所述引线、所述第一半导体芯片及所述第二半导体芯片的树脂密封体;在所述第一搭载区域形成有向所述第二搭载区域侧突出的突出区域;所述第二半导体芯片经由绝缘性粘接片材固定安装在所述第一搭载区域及所述第二搭载区域上，以使在所述第二半导体芯片下方至少配置有所述突出区域的一部分。
[0014]在本发明中，驱动用半导体芯片与控制用半导体芯片固定安装在不同的搭载区域上，但是固定安装驱动用半导体芯片的搭载区域的一部分配置至控制用半导体芯片的下方。通过该结构，控制用半导体芯片经由搭载区域也能够进行温度检测。
[0015]而且，在本发明中，通过将控制用半导体芯片端部的大部分配置在第二搭载区域上，能够构成使驱动用半导体芯片与控制用半导体芯片难以发生短路的结构。
[0016]而且，在本发明中，控制用半导体芯片对驱动用半导体芯片精度地进行温度检测，通过适当地关断驱动用半导体芯片，使驱动用半导体芯片难以因发热而遭到破坏。
[0017]而且，在本发明中，通过分开配置固定安装驱动用半导体芯片的搭载区域与固定安装控制用半导体芯片的搭载区域，能够分别施加不同的电位。
[0018]而且，在本发明中，通过使用绝缘性粘接片材，在搭载区域上固定安装控制用半导体芯片，能够维持控制用半导体芯片的温度检测功能，并且能够防止两芯片之间发生短路。
[0019]另外，在本发明中，在固定安装驱动用半导体芯片的搭载区域形成开口部，经由该开口部，使用绝缘性粘接片材固定安装控制用半导体芯片，由此，能够防止两芯片之间发生短路。
【附图说明】
[0020]图1是用来说明本发明实施方式的半导体装置的立体图；
[0021]图2是用来说明本发明实施方式的半导体装置的(A)俯视图、(B)俯视图；
[0022]图3是用来说明本发明实施方式的半导体装置的(A)剖面图、(B)剖面图；
[0023]图4是用来说明本发明实施方式的半导体装置的(A)俯视图、(B)俯视图；
[0024]图5是用来说明本发明实施方式的半导体装置的(A)剖面图、(B)剖面图；
[0025]图6是用来说明本发明实施方式的半导体装置的(A)俯视图、(B)俯视图；
[0026]图7是用来说明现有实施方式的半导体装置的剖面图；
[0027]图8是用来说明现有实施方式的半导体装置的立体图。
[0028]附图标记说明
[0029]I半导体装置;2树脂封装;4a引线；7框架;8第一搭载区域;8a突出区域;9第二搭载区域；14半导体芯片；15半导体芯片；16粘接片材;33第一搭载区域;36开口部;37粘接片材。
【具体实施方式】
[0030]下面，对本发明第一实施方式的半导体装置进行说明。图1是半导体装置表面侧的立体图，图2(A)是说明图1所示的半导体装置所使用的框架结构的俯视图，图2(B)是说明图1所示的半导体装置内的结构的俯视图，图3(A)是说明图2(B)所示的A-A线方向的剖面图，图3(B)是说明图2(B)所示的B-B线方向的剖面图。
[0031]如图1所示，半导体装置I的树脂封装2为长方体形状，从树脂封装2的长度方向的侧面3导出多条引线4a?4f。另一方面，在树脂封装2的宽度方向的侧面5配置有用于拧紧螺钉的U形孔6。虽然未图示，但是引线4例如被弯曲加工成直角形状，通过焊料固定在安装基板的贯通孔内。
[0032]图2(A)表示在树脂封装2内配置的框架7，框架7通常以铜为主材料，但也可以以Fe为主材料。而且，框架7的厚度例如为200μπι。另外，框架7通过蚀刻加工或冲压加工等，例如被区划为第一至第四搭载区域8，9，10，11和多条引线区域4a?4f。单点划线12表示树脂封装2的外形线。
[0033]如图2A所示，第一搭载区域8在纸面Y轴方向上与引线4a—体形成。而且，第一搭载区域8在纸面X方向上具有向第二搭载区域9侧突出的凸形状突出区域8a，但该突出区域8a通过分离沟13与第二搭载区域9分离。而且，突出区域8a构成为延伸至固定安装于第二搭载区域9的半导体芯片15(参照图2(B))下方，突出区域8a优选为突出至第二搭载区域9的一半宽度(X轴方向的宽度)以上。
[0034]另一方面，第二搭载区域9在纸面X轴方向上具有围绕突出区域8a的凹形状的凹陷区域9a。而且，固定安装在第二搭载区域9的半导体芯片15配置在该凹陷区域9a，所以凹陷区域9a的宽度(Y轴方向的宽度)窄于半导体芯片15的宽度。需要说明的是，只要将凹陷区域9a配置为通过调节分离沟13的宽度能够至少围绕突出区域8a的一部分即可。
[0035]多条引线4a?4f被配置为从树脂封装2的侧面3侧导出。而且，引线4b?4d被配置在第一及第二搭载区域8，9的附近。引线4e与第三搭载区域10—体形成，引线4f与第四搭载区域11 一体形成。
[0036]另外，在框架7上施行Pd电镀、Ag电镀、Ni/Pd/Ag电镀等电镀。
[0037]图2(B)表示固定安装了半导体芯片等的框架，在第一搭载区域8上，通过Ag膏、焊料等粘接材料20(参照图3(A))固定安装有作为开关元件(驱动用元件)内置有例如IGBT的分立型半导体芯