成像元件、成像设备以及生产设备和方法

文档序号:9794198
成像元件、成像设备以及生产设备和方法
【技术领域】
[0001]本公开涉及图像拾取设备、图像拾取装置、以及生产装置和方法,更具体地,涉及图像拾取设备、图像拾取装置、以及生产装置和方法,凭借该生产装置和方法,可以改善对有机膜的保护性能。
【背景技术】
[0002]自从过去以来,已存在通过化学气相沉积(CVD)或蒸汽沉积而在由有机材料形成的滤光层(有机膜)的表面沉积用于防止湿气渗入的无机膜的方法,该滤光层设置在光电转换设备上(见例如专利文献I和2)。
[0003]专利文献1:日本专利申请特开号Sho 60-247202
[0004]专利文献2:日本专利申请特开号Hei 5-283668

【发明内容】

[0005]本发明要解决的问题
[0006]然而,在相关技术的方法中,由于该滤光层的侧表面变得基本竖直于该膜,从而难以将该无机膜沉积在该滤光层的侧表面上。因此,该滤光层的侧表面露在外面,从而,担心湿气等从那个部分渗入该滤光层(有机膜)中,造成该滤光层(有机膜)的劣化。
[0007]例如,专利文献I的图2示出一种状态,其中,在作为有机膜的彩色层的侧表面上形成保护膜,但是该保护膜需要有一定量的厚度来获得抑制湿气等的渗入的效果。然而,在实际中,如上所述,担心难以通过CVD或蒸汽沉积而在竖直的侧表面上沉积无机膜,从而不能形成具有足够厚度的保护膜,且湿气等从那个部分渗入该彩色层(有机膜)中,造成该彩色层(有机膜)的劣化。
[0008]此外,例如,专利文献2的图1和2示出一种状态,其中,在作为有机膜的夹层膜等之上层压保护膜。然而,由于竖直的侧表面是露出的,湿气等从作为有机膜的该夹层膜的侧表面渗入,造成该夹层膜的劣化。
[0009]考虑上述情形,已作出本公开,且其旨在改善对有机膜的保护性能。
[0010]用于解决问题的手段
[0011]根据本公开的一个方面,提供了一种图像拾取设备,其包括:光电转换设备,其对从外部进入的入射光进行光电转换,有机膜,其通过被层压在该光电转换设备的光入射表面侧而形成,以及无机膜,其通过被层压在该有机膜的光入射表面和侧表面上而形成,且密封该有机膜,该有机膜的该侧表面倾斜一角度,在该角度下,通过被层压在该侧表面上而形成的该无机膜的厚度成为预定的厚度。
[0012]该无机膜可以是抑制湿气或氧或它们两者的渗入的保护膜,且该有机膜的侧表面可以倾斜一角度,在该角度下通过被层压在该侧表面上而形成的无机膜的厚度成为这样的厚度:凭借该厚度,可以获得作为保护膜的足够效果。
[0013]在该有机膜的周边部分中,该无机膜还可以通过被层压在与光入射表面相对的有机膜的表面上,或是被层压在更多地形成在该光入射表面的对侧的层上,而非被层压在与该有机膜的与该光入射表面相对的表面相接触的层上而形成。
[0014]该图像拾取设备还可以包括肋条(rib),这些肋条通过被层压在该无机膜的光入射表面上而形成。
[0015]该图像拾取设备还可以包括由玻璃或树脂形成的透明层,该透明层通过被层压在该无机膜的光入射表面上和肋条上而形成。
[0016]该无机膜还可以通过被层压在与该光入射表面相对的有机膜表面上而形成。
[0017]该无机膜可以被形成为使得多个具有不同折射率的层被构造,且该有机膜的侧表面可倾斜一角度,在该角度下,通过被层压在侧表面上而形成的无机膜的厚度成为透射预定波长范围的入射光的厚度,或成为抑制该预定波长范围的入射光的透射的厚度。
[0018]通过被层压在该有机膜的光入射表面上而形成的无机膜的透射波长特性可以不同于通过被层压在该有机膜的侧表面上而形成的无机膜的透射波长特性。
[0019]通过被层压在该有机膜的光入射表面上而形成的无机膜可以透射由该光电转换设备进行光电转换的波长范围,且通过被层压在该有机膜的侧表面上而形成的无机膜可以抑制由该光电转换设备进行光电转换的波长范围的透射。
[0020]通过被层压在该有机膜的光入射表面上而形成的无机膜可以透射波长范围的可见光,且通过被层压在该有机膜的侧表面上而形成的无机膜可以抑制该波长范围的可见光的透射。
[0021]通过被层压在该有机膜的光入射表面上而形成的无机膜厚度以及通过被层压在该有机膜的侧表面上而形成的无机膜厚度可以不同。
[0022]通过被层压在该有机膜的侧表面上而形成的无机膜厚度与通过被层压在该有机膜的光入射表面上而形成的无机膜厚度之比可以等于或小于透过被层压在该有机膜的光入射表面上而形成的无机膜的波长范围下限与该波长范围上限之比。
[0023]通过被层压在该有机膜的光入射表面上而形成的无机膜的层数目可以不同于通过被层压在该有机膜的侧表面上而形成的无机膜的层数目。
[0024]根据本公开的另一个方面,提供了一种图像拾取装置,其包括:图像拾取设备,该图像拾取设备包括:光电转换设备,其对从外部进入的入射光进行光电转换,有机膜,其通过被层压在该光电转换设备的光入射表面侧而形成,以及无机膜,其通过被层压在该有机膜的光入射表面和侧表面上而形成,且密封该有机膜,该有机膜的该侧表面倾斜一角度,在该角度下,通过被层压在该侧表面上而形成的该无机膜的厚度成为预定的厚度;以及图像处理部,该图像处理部对由该图像拾取设备获得的拾取图像数据进行图像处理。
[0025]根据本公开的另一个方面,提供了一种生产图像拾取设备的生产装置,该生产装置包括:光电转换设备形成部,其形成对从外部进入的入射光进行光电转换的光电转换设备;有机膜形成部,其通过将有机膜层压在该光电转换设备的光入射表面侧而形成有机膜;有机膜处理部,其处理由有机膜形成部形成的有机膜,同时给予有机膜的侧表面一倾斜角,在该倾斜角下,通过被层压在侧表面上而形成的无机膜的厚度成为预定厚度;以及无机膜形成部,其通过将无机膜层压在有机膜的光入射表面和侧表面上而形成密封该有机膜的无机膜。
[0026]该无机膜形成部可以在同一步骤中形成层压在该有机膜的光入射表面上的无机膜和层压在该有机膜的侧表面上的无机膜。
[0027]该无机膜形成部可以在不同步骤中形成层压在该有机膜的光入射表面上的无机膜和层压在该有机膜的侧表面上的无机膜。
[0028]根据本公开的另一个方面,提供了用于生产图像拾取设备的生产装置的生产方法,该方法包括:形成对从外部进入的入射光进行光电转换的光电转换设备;通过将有机膜层压在该光电转换设备的光入射表面侧而形成有机膜;处理该形成的有机膜,同时给予有机膜的侧表面一倾斜角,在该倾斜角下,通过被层压在侧表面上而形成的无机膜的厚度成为预定厚度;以及通过将无机膜层压在有机膜的光入射表面和侧面上而形成密封该有机膜的无机膜。
[0029]根据本公开的另一个方面,提供了一种生产图像拾取设备的生产装置,该生产装置包括:图像拾取设备形成部,其形成对从外部进入的入射光进行光电转换的图像拾取设备;肋条形成部,其在由玻璃或树脂形成的透明层上形成肋条;无机膜形成部,其通过将无机膜层压在由肋条形成部形成的肋条所在的透明层表面上而形成无机膜;有机膜形成部,其通过将有机膜层压在由无机膜形成部层压于透明层上形成的无机膜上而形成有机膜;以及结合(bonding)部,其将由有机膜形成部层压在透明层上而形成的有机膜与由图像拾取设备形成部形成的图像拾取设备的光入射表面相结合。
[0030]根据本公开的另一个方面,提供了一种用于生产图像拾取设备的生产装置的生产方法,其包括:形成对从外部进入的入射光进行光电转换的图像拾取设备;在由玻璃或树脂形成的透明层上形成肋条;通过将无机膜层压在肋条所在的透明层表面上而形成无机膜;通过将有机膜层压在被层压于透明层上而形成的无机膜上而形成有机膜;以及将层压在透明层上而形成的有机膜与形成的图像拾取设备的光入射表面相结合。
[0031]根据本公开的一个方面,该图像拾取设备包括:光电转换设备,其对从外部进入的入射光进行光电转换;有机膜,其通过被层压在该光电转换设备的光入射表面侧而形成;以及无机膜,其通过被层压在该有机膜的光入射表面和侧表面上而形成,且密封该有机膜,该有机膜的该侧表面倾斜一角度,在该角度下,通过被层压在该侧表面上而形成的该无机膜的厚度成为预定的厚度。
[0032]根据本公开的另一个方面,该图像拾取装置包括:图像拾取设备,该图像拾取设备包括:光电转换设备,其对从外部进入的入射光进行光电转换,有机膜,其通过被层压在该光电转换设备的光入射表面侧而形成,以及无机膜,其通过被层压在该有机膜的光入射表面和侧表面上而形成,且密封该有机膜,该有机膜的该侧表面倾斜一角度,在该角度下,通过被层压在该侧表面上而形成的该无机膜的厚度成为预定的厚度;以及图像处理部,该图像处理部对由该图像拾取设备获得的拾取图像数据进行图像处理。
[0033]根据本公开的另一个方面,在生产图像拾取设备的生产装置中:形成对从外部进入的入射光进行光电转换的光电转换设备;通过将有机膜层压在光电转换设备的光入射表面上形成该有机膜;处理该形成的有机膜,同时给予该有机膜的侧表面一倾斜角,在该角度下,通过被层压在侧表面上而形成的无机膜的厚度成为预定厚度;且通过将无机膜层压在该有机膜的光入射表面和侧表面上而形成密封该有机膜的无机膜。
[0034]根据本公开的另一个方面,在生产图像拾取设备的生产装置中:形成对从外部进入的入射光进行光电转换的图像拾取设备;在由玻璃或树脂形成的透明层上形成肋条;通过将无机膜层压在肋条所在的透明层表面上而形成无机膜;通过将有机膜层压在被层压于透明层上而形成的无机膜上而形成有机膜;以及将层压在透明层上而形成的有机膜与该形成的图像拾取设备的光入射表面相结合。
[0035]本发明的效果
[0036]根据本公开,可以显现一个目标,更具体地,可以改善防潮性能。
【附图说明】
[0037]下面结合附图对本发明的【具体实施方式】作进一步详细的说明。
[0038][图1]示出图像拾取设备的局部结构实例的截面图。
[0039][图2]示出图1的一部分的放大图。
[0040][图3]示出图像拾取设备的另一结构实例的截面图。
[0041][图4]示出图像拾取设备的其他结构实例的截面图。
[0042][图5]用于解释透射波长特性的例子的图。
[0043][图6]用于解释透射波长特性设计的例子的图。
[0044][图7]用于解释无机膜的结构实例的图。
[0045][图8]用于解释无机膜的厚度实例的图。
[0046][图9]示出图像拾取设备的另一结构实例的截面图。
[0047][图10]示出图像拾取设备的另一结构实例的截面图。
[0048][图11]示出生产装置的主要结构实例的框图。
[0049][图12]用于解释生产处理流程的流程图。
[0050][图13]用于解释生产步骤状态的实例的图。
[0051][图14]示出生产装置的另一结构实例的框图。
[0052][图15]用于解释生产处理流程的另一实例的流程图。
[0053][图16]用于解释生产步骤状态的另一实例的图。
[0054][图17]示出生产装置的另一结构实例的框图。
[0055][图18]用于解释生产处理流程的另一实例的流程图。
[0056][图19]用于解释生产步骤状态的另一实例的图。
[0057][图20]用于解释图19之后的生产步骤状态的另一实例的图。
[0058][图21]示出图像拾取装置的主要结构实例的框图。
【具体实施方式】
[0059]以下,将描述用于表现本公开的配置(以下称为【具体实施方式】)。应当注意,将按以下次序进行描述。
[0060]1.第一【具体实施方式】(图像拾取设备)
[0061]2.第二【具体实施方式】(生产装置)
[0062]3.第三【具体实施方式】(图像拾取装置)
[0063]〈1.第一【具体实施方式】〉
[0064](对有机膜防潮的关注)
[0065]自过去以来,在某些情况下,在图像拾取设备中形成了由有机材料形成的层(以下也称为有机膜)。例如,有时提供作为红外截止滤波器的由有机材料形成的滤光层。已存在这样的担忧:当暴露在户外时,由于湿气、氧等的渗入,这样的有机膜会发生劣化。
[0066]在这方面,为防止湿气、氧等渗入这样的有机膜,已经考虑在有机膜的表面(有机膜和空气之间)上提供用于抑制湿气、氧等的透过的由无机材料形成的层(以下也称为无机膜)。这样的无机膜是例如通过CVD(化学气相沉积)或蒸汽沉积形成的。
[0067]然而,由于在以往的方法中,有机膜的侧表面变为基本上竖直的,因而难以将该无机膜沉积在该有机膜的侧表面上。在CVD的情形中,例如,包括原材料(在这种情况下为无机材料)的气体由热或光或等离子体增强在高频下进行激励,使得该原材料变成自由基,以变为高度反应性的,且被吸收和沉积在基底上。因此,至少难以控制其厚度,且极难确定地形成具有足够厚度的无机膜。结果,该有机膜的侧表面的一部分或全部被露出(包括无机膜厚度不够的情形),且从而存在关于湿气、氧等从那个部分渗入该有机膜且使得该有机膜劣化的担忧。
[0068]〈保护膜的具体例子〉
[0069]作为如上所述的形成为用于抑制有机膜劣化的保护膜的无机膜的具体例子,在专利文献I和2中公开了保护膜。
[0070]专利文献I的图2示出一种状态,其中保护膜(无机膜)由作为有机膜的彩色层的侧表面上的透明金属氧化物膜形成。然而,在实际中,存在担忧,因为如上所述,难以在竖直的侧表面上沉积具有足够厚度的保护膜,湿气、氧等从那个部分渗入作为有机膜的该彩色层,使得
再多了解一些
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