一种空气帘装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种空气帘装置。
【背景技术】
[0002]在半导体及薄膜晶体管阵列基板制造技术的湿法剥离工艺中，一般采用湿法剥离药液去除光刻胶;湿法剥离工艺是刻蚀工艺后的一道工序，是指去除玻璃基板上的剩余光刻胶。利用湿法剥离药液，可以去除这些光刻胶，然后玻璃基板进入去离子水区间进行清洗。为了除去残留在玻璃基板上的剥离药液通常采用空气帘(Air Curtain)装置除去这些残留在玻璃基板上的剥离药液，避免残留的剥离药液对下一步工艺的影响。
[0003]如图1所示，为现有技术中空气帘装置的结构示意图，其中，空气帘装置内包含一导气腔01，导气腔01的入风口 02可通入一定压强和流速的空气，在导气腔01内形成气流，并从导气腔01的出风口 03处喷出。
[0004]实际应用中，入风口O 2流进的气体流量可能会骤然增加，造成出风口 O 3的气压波动，影响空气帘装置的隔离作用，甚至可能造成异物喷出而导致阵列基板发生不良等问题。
【发明内容】
[0005]本发明的实施例提供一种空气帘装置，可保证空气帘装置输出的气流的流量稳定性。
[0006]为达到上述目的，本发明的实施例采用如下技术方案:
[0007]—方面，本发明的实施例提供一种空气帘装置，包括限压模块，以及与所述限压模块连通的空气帘主体;所述限压模块内设有限压腔，所述限压腔的进风口与外界连通，所述限压腔的第一出风口与所述空气帘主体连通;其中，所述限压腔内设有气压联动机构，所述气压联动机构可随所述限压腔内气压的变化改变所述第一出风口的横截面积，使所述第一出风口流出的气流的压强在预设范围内。
[0008]进一步地，所述气压联动机构包括沿进风方向设置的连杆，所述连杆靠近所述进风口的一端设有浮子，所述连杆靠近所述第一出风口的一端设有第一通气挡块;所述浮子在气流的作用下通过所述连杆带动所述第一通气挡块上下移动，以使得所述第一通气挡块改变所述第一出风口的横截面积。
[0009]进一步地，所述气压联动机构还包括与所述第一通气挡块相对设置的第二通气挡块，所述第一通气挡块与所述第二通气挡块之间形成出风通道;其中，所述第二通气挡块通过弹性部件与所述限压腔的底部相连，所述限压腔的底部还设有限位部件，所述限位部件可与所述第二通气挡块接触。
[0010]进一步地，所述空气帘装置的外壁设有压力刻度盘，所述连杆上的指针指向所述压力刻度盘上的刻度。
[0011 ]进一步地，所述气压联动机构包括半球体飞陀，与半球体飞陀活动连接的固定轴承，以及与所述半球体飞陀对称设置的配重块，所述配重块与所述半球体飞陀相连，所述固定轴承固定于所述限压腔的内壁;其中，所述半球体飞陀可在气流的作用下以所述固定轴承为中心在所述限压腔内进行转动，以使得所述半球体飞陀改变所述第一出风口的横截面积。
[0012]进一步地，所述空气帘主体内设有连通的第一导气通道和第二导气通道，其中，所述第二导气通道的横截面上设置有仿生膜瓣，当所述第二导气通道内的气压大于阈值时，所述仿生膜瓣打开，气流可通过所述仿生膜瓣。
[0013]进一步地，所述第二导气通道包括第二出风口，所述第二导气通道中靠近所述第二出风口的位置还设置有联动锁扣，所述联动锁扣的一端与所述仿生膜瓣接触，所述联动锁扣的另一端为钩状；当所述仿生膜瓣打开时，触碰所述联动锁扣的另一端固定所述仿生膜瓣。
[0014]进一步地，所述空气帘主体的底部与所述联动锁扣对应的位置设有复位螺丝，所述复位螺丝可向所述联动锁扣的一端施加力矩，以关闭所述仿生膜瓣。
[0015]进一步地，所述空气帘主体内设有第三导气通道，所述第三导气通道的一端与所述第二导气通道连通，所述第二导气通道内经过所述仿生膜瓣的气流可进入所述第三导气通道，所述第三导气通道的另一端为密封结构，其中，所述第三导气通道内设置有可移动的导电球，所述第三导气通道的内壁设有相对的第一导电片和第二导电片，当所述导电球位于所述第一导电片和所述第二导电片之间时，所述导电球与指示灯和电源组成闭合的导电回路。
[0016]进一步地，所述限压模块与所述空气帘主体之间通过导气通道连通。
[0017]至此，本发明的实施例提供一种空气帘装置，该空气帘装置具体包括限压模块，以及与限压模块连通的空气帘主体;该限压模块内设有限压腔，该限压腔的进风口与外界连通，该限压腔的第一出风口与空气帘主体连通;其中，限压腔内设有气压联动机构，该气压联动机构可随限压腔内气压的变化改变第一出风口的横截面积，使第一出风口的横截面积保持在预设范围内，这样一来，由于第一出风口的横截面积保持在一定范围内，因此，从第一出风口流出的气流的压强也可以控制在预设范围内，从而保证空气帘装置输出的气流的流量稳定性。
【附图说明】
[0018]图1为现有技术中空气帘主体的结构示意图；
[0019]图2为本发明实施例提供的一种空气帘装置的结构示意图一；
[0020]图3为本发明实施例提供的一种空气帘装置的结构示意图二；
[0021]图4为本发明实施例提供的一种空气帘装置的结构示意图三；
[0022]图5为本发明实施例提供的一种空气帘装置的结构示意图四；
[0023]图6为本发明实施例提供的一种空气帘装置的结构示意图五；
[0024]图7为本发明实施例提供的一种空气帘装置的结构示意图六；
[0025]图8为本发明实施例提供的一种空气帘装置的结构示意图七；
[0026]图9为本发明实施例提供的一种空气帘装置的结构示意图八；
[0027]图10为本发明实施例提供的一种空气帘装置的结构示意图九；
[0028]图11为本发明实施例提供的一种空气帘装置的结构示意图十；
[0029]图12为本发明实施例提供的一种空气帘装置的结构示意图十一。
【具体实施方式】
[0030]下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。
[0031 ]另外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
[0032]本发明的实施例提供一种空气帘装置，如图2所示，包括:限压模块11，以及与限压模块11连通的空气帘主体12;该限压模块11内设有限压腔101，限压腔101的进风口 21与外界连通，限压腔101的第一出风口 22与空气帘主体12的进风口 02连通。
[0033]其中，限压腔101内设有气压联动机构102，气压联动机构102可随限压腔101内气压的变化改变第一出风口 22的横截面积，使第一出风口 22的横截面积保持在预设范围内，因此，从第一出风口 22流出的气流的压强也可以控制在一定范围内，从而保证空气帘装置输出的气流的流量稳定性，提高制作阵列基板的良率。
[0034]需要说明的是，空气帘主体12的具体结构可以与现有技术类似，本发明实施例对此不做限定。
[0035]示例性的，仍如图2所示，气压联动机构102具体包括:沿进风方向设置的连杆31，其中，连杆31靠近进风口21的一端设有浮子32，连杆21靠近第一出风口22的一端设有第一通气挡块33。
[0036]与浮子流量计的原理类似的，如图3所示，当进风口21输入气流的气压较小时，该浮子32堵住进风口 21，限压腔101内没有气流运动，此时，可设置报警装置提醒操作人员进风口 21输入气流的气压较小。
[0037]当进风口21输入气流的气压大于下限阈值时，在气流的作用下浮子32通过连杆31带动第一通气挡块33上下移动，而当进风口 21输入气流的气压大于上限阈值时，如图4所示，第一通气挡块33可堵住第一出风口 22，使第一出风口 22的横截面积保持在预设范围内。
[0038]进一步地，如图5所示，气压联动机构102还包括与第一通气挡块33相对设置的第二通气挡块34，第一通气挡块33与第二通气挡块34之间形成出风通道，第二通气挡块34通过弹性部件，例如弹簧35，与限压腔101的底部相连，其中，限压腔101的底部还设有限位部件，例如，限位螺丝36，限位螺丝36可与第二通气挡块34接触。
[0039]此时，当进风口 21输入气流的气压大于上限阈值时，由于有限位螺丝36的作用，可使第二通气挡块34和第一通气挡块33之间形成出风通道，此时，可设计第一通气挡块33不会完全遮挡第一出风口 22，从而将进风口 21输入的气流通过该出风通道从第一出风口 22输出，这样，当进风口21输入气流的气压大于上限阈值时，气压联动机构102仍可以向空气帘主体12输出气压较为稳定的气流。
[0040]进一步地，如图6所示，连杆31上设有指针37，并且，空气帘装置的外壁设有压力刻度盘38，连杆31上的指37针指向压力刻度盘38上的刻度，由于在风力的作用下浮子32可带动连杆31上下移动，从而带动指针37指向压力刻度盘38上不同的刻度，使操作人员可以从压力刻度盘38