中，使用输入部31，来输入或变更按压时间TP、照射时间TE、差动时间TD、以及部件3的按压和光15L的照射哪一个先开始(以下称为“动作顺序”)。存储部30b存储在输入部31中输入的按压时间TP、照射时间TE、差动时间TD、以及动作顺序。显示部32显示在存储部30b中存储的按压时间TP、照射时间TE、差动时间TD、以及动作顺序。
[0048]图7示出显示部32所显示的各种数据的表40的一例。表40中显示有“数据名”、“按压时间(TP) ”、“照射时间(TE)”、“差动时间(TD) ”、“动作顺序”的输入框。通过对输入部31进行操作，由此输入或变更“数据名”、“按压时间(TP) ”、“照射时间(TE) ”、“差动时间(TD) ”。另外，通过对输入部31进行操作，由此在“动作顺序”的输入框中，选择或变更先开始部件3的按压的“按压一照射”、或者先开始光15L的照射的“照射一按压”中的任一个。当对输入部31进行操作并点击“设定”时，将被输入或变更了的各种数据存储(设定)于存储部30b。这样，通过一边确认显示部32所显示的各种数据一边进行输入，由此能够防止误输入。
[0049]接着，使用图6的(a)、(b)及图8的(a)、(b)，对通过部件安装装置I向基板2压接部件3的部件安装作业的步骤(部件安装方法)进行说明。控制部30a首先进行上方加热器23和下方加热器13H的动作控制，而将各按压机构22的压接工具22b和透明构件13b分别加热至规定温度。然后，控制部30a进行XY Θ工作台机构12的动作控制，而使基板保持工作台12d移动(图8的(a)中所示的箭头A)，使基板保持工作台12d上载置的基板2中的、载置(临时压接)有部件3的一边的下表面与承接部13的透明构件13b的上表面接触，从而使承接部13从下方承接基板2 (承接工序)。
[0050]S卩，控制部30a以使载置有部件3的基板2的一边的下表面由承接部13从下方承接的方式控制XY Θ工作台机构12，在图6的(a)、(b)中，在时机Tl使承接部13从下方承接基板2。需要说明的是，为了更加精确地进行下方承接动作，也可以使用设置于承接部13的对基板上施加的载荷进行计测的载荷传感器(省略图示)、或者设置于承接部13的侧方的根据光的透过、遮挡来检测基板2的有无的光传感器(省略图示)。通过具备载荷传感器或光传感器，从而能够精确地检测到基板2被承接部13从下方承接这一情况。
[0051]控制部30a在使承接部13从下方承接基板2后，使按压机构22的按压缸22a的活塞杆22R向下方突出(图8(b)中所示的箭头B)，利用压接工具22b将部件3按压于基板2。S卩，在图6的(a)、(b)中，控制部30a在从时机Tl推后延迟时间THl的时机T2，开始部件3的按压(按压开始工序)。然后，控制部30a在从时机T2起的按压时间TPl的期间内，对部件3进行按压。当对部件3进行按压时，光固化性树脂部4通过被加热的压接工具22b和透明构件13b而升温，成为软化的状态。这样，按压机构22成为向由承接部13从下方承接着的基板2按压部件3的按压部。
[0052]控制部30a如上述那样在利用按压机构22将部件3按压于基板2的期间内，通过光照射机构15开始光(紫外线)15L的照射(图8的(b))。S卩，在图6的(a)、(b)中，控制部30a在从时机T2推后差动时间TDl的时机T3，开始光15L的照射(照射开始工序)。然后，控制部30a在从时机T3起的照射时间TEl的期间内照射光15L。在图8的(b)中，从光照射机构15照射的光15L沿大体水平方向行进而入射到透明构件13b，由光反射部13c向大体垂直上方反射后，向上方透过透明的基板2而到达光固化性树脂部4。由此，光固化性树脂部4发生固化，将部件3固定于基板2上的部件载置位置2a。
[0053]在图6的(a)、(b)中，控制部30a在从时机T3推后照射时间TE I的时机T4，结束光15L的照射(照射结束工序)。接着，控制部30a在从时机T2推后按压时间TPl的时机T5，将活塞杆22R向上方拉回，而使压接工具22b与部件3分离，结束部件3的按压(按压结束工序)。
[0054]控制部30a如上述那样结束了针对基板2的一边的部件3的压接作业后，进行XY Θ工作台机构12的动作控制，使基板2绕Z轴旋转，使承接部13从下方承接设定了部件载置位置2a的另一边，并按照同样的步骤进行部件安装作业。
[0055]这样，在上述的部件安装装置I中，控制部30a控制为，在承接部13从下方承接基板2时(时机Tl)，推后延迟时间THl地开始部件3的按压(时机T2)，进而推后差动时间TD地开始光15L的照射(时机T3)。由此，光固化性树脂部4能够在被热软化而成形为将部件3固定的形状之后，由光15L进行固化，能够抑制由于接合强度不足、固定强度不足而产生的安装不良。
[0056]此外，在上述的部件安装装置I中，使用输入部31来输入或变更按压时间TP、照射时间TE、差动时间TD、动作顺序。而且，控制部30a控制为，在从开始部件3的按压起的按压时间TP的期间内按压部件3，在从开始光15L的照射起的照射时间TE的期间内照射光15L。S卩，能够自由地设定最佳的部件3的按压的开始和结束以及光15L的开始和结束的时间，能够与光固化性树脂部4的特性、基板2、所压接的部件3的组合无关地，抑制由于接合强度不足、固定强度不足而产生的安装不良。
[0057]接着，参照图9的(a)、(b)，对上述的部件安装装置I所进行的另一种部件安装方法进行说明。图9的(a)、(b)所示的部件安装方法(照射一按压)与图6的(a)、(b)所示的部件安装方法(按压一照射)的动作顺序不同。控制部30a在时机T6使承接部13从下方承接基板2 (承接工序)。接着，控制部30a在从时机T6推后延迟时间TH2的时机T7，开始光15L的照射(照射开始工序)。接着，控制部30a在从时机T7推后差动时间TD2的时机T8，开始部件3的按压(按压开始工序)。
[0058]接着，控制部30a在从时机T8推后按压时间TP2的时机T9，结束部件3的按压(按压结束工序)。接着，控制部30a在从时机T7推后照射时间TE2的时机T10，结束光15L的照射(照射结束工序)。如以上那样，在本实施例的时机中，比部件3的按压的开始提前差动时间TD2地开始光15L的照射。由此，即便是作为受到光(紫外线)的照射而软化的光改性树脂的一种的光软化性树脂，也能够在被光15L软化而成形为将部件3固定的形状之后利用热进行固化，能够抑制由于接合强度不足、固定强度不足而产生的安装不良。
[0059]以上，以本发明的一实施方式为基础进行了说明。本领域技术人员应清楚可以针对该实施方式中的上述各构成要素、各处理流程的组合实施各种变形例，并且这样的变形例也在本发明的范围内。
[0060]例如，在上述的实施方式中，说明了通过操作输入部31来选择或变更“动作顺序”，但并非必须进行选择或变更。例如，在仅使用光固化性树脂作为光改性树脂的情况下，控制部也可以控制为，在按压机构22开始部件3的按压之后使照射部进行光的照射。另外，例如在仅使用光软化性树脂作为光改性树脂的情况下，控制部也可以在照射部开始光的照射之后使按压机构22进行部件3的按压。这样，即便在未选择或未变更“动作顺序”的情况下，也能够抑制由于接合强度不足、固定强度不足而产生的安装不良。
[0061]工业上的可利用性
[0062]本发明提供能够抑制由于接合强度不足、固定强度不足而产生的安装不良的部件安装装置。
【主权项】
1.一种部件安装装置，其将隔着光改性树脂部载置于透明的基板上的部件向所述基板压接， 所述部件安装装置的特征在于，具备: 承接部，其具有透明构件，并利用所述透明构件的上表面来从下方承接所述基板的位于所述部件的下方的面； 按压部，其将所述部件向由所述承接部从下方承接的所述基板按压； 照射部，其使光穿过所述透明构件而向所述光改性树脂部照射；以及控制部，其对所述按压部开始所述部件的按压的时机与所述照射部开始所述光的照射的时机进行控制， 所述控制部在所述基板由所述承接部从下方承接时，以比所述部件的按压的开始提前规定的差动时间或者推后规定的差动时间地开始所述光的照射的方式，对所述按压部及所述照射部进行控制。2.根据权利要求1所述的部件安装装置，其中， 所述部件安装装置还具备输入部， 在所述输入部中，输入向所述基板按压所述部件的按压时间、向所述光改性树脂部照射光的照射时间、所述差动时间、以及所述部件的按压与所述光的照射中的哪一方先开始，所述控制部控制为，在从开始所述部件的按压起的所述按压时间的期间内，按压所述部件，在从开始所述光的照射起的所述照射时间的期间内，照射所述光。3.根据权利要求2所述的部件安装装置，其中， 在所述输入部中，变更所述按压时间、所述照射时间、所述差动时间、以及所述部件的按压与所述光的照射中的哪一方先开始。4.根据权利要求2或3所述的部件安装装置，其中， 所述部件安装装置还具备显示部， 所述显示部显示所述按压时间、所述照射时间、以及所述差动时间。5.根据权利要求1至4中任一项所述的部件安装装置，其中， 所述部件安装装置还具备: 基板保持工作台，其保持所述基板；以及 工作台移动机构，其使所述基板保持工作台移动， 所述控制部以使载置有所述部件的所述基板的一边的面由所述承接部从下方承接的方式，对所述工作台移动机构进行控制。
【专利摘要】本发明的目的在于，提供能够抑制由于接合强度不足、固定强度不足而产生的安装不良的部件安装装置。在将隔着光固化性树脂部(4)载置于透明的基板(2)上的部件(3)向所述基板压接的部件安装装置(1)中，具备：承接部(13)，其利用透明构件(13b)的上表面来从下方承接基板的位于部件的下方的面；按压机构(22)，其向由承接部从下方承接的基板按压部件；光照射机构(15)，其使光(15L)穿过透明构件而向光固化性树脂部照射；以及控制部，其对按压机构开始部件的按压以及光照射机构开始光的照射的时机进行控制，控制部在基板由承接部从下方承接时，控制为比部件的按压的开始提前规定的差动时间或者推后规定的差动时间地开始光的照射。
【IPC分类】H01L21/56
【公开号】CN105609428
【申请号】CN201510769633
【发明人】山田晃, 辻川俊彦
【申请人】松下知识产权经营株式会社
【公开日】2016年5月25日
【申请日】2015年11月11日
【公告号】US20160143154