制备太阳能电池的干湿氧气供应装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型有关于一种制备太阳能电池的干湿氧气供应装置，尤其是指一种能提供干、湿氧气至扩散炉管中的干湿氧气供应装置。
【背景技术】
[0002]伴随着人类科技与文明的发展，地球上如石油、天然气、煤等能源因为被大量使用，而即将消失殆尽，同时也让温室效应日益严重，各地气候也产生剧烈变迀，造成生活环境面临超乎预期的危害。而国际间有因为如此而开始重视各项环保议题，同时并积极寻找开发新的替代能源。常见的具环保的替代能源为:风力发电、水力发电、太阳能发电。
[0003]由于太阳的能量是取之不尽、用之不竭，因此若能够有效运用太阳能，则不仅能解决消耗性能源的问题，环保问题也能同时获得改善。太阳能，主要是利用太阳能电池吸收太阳光能后，再直接将之转换成电能，以供需求端应用。且拜科技之赐，太阳能系统的寿命从5?10年，至今已可达25年以上，因此随着技术的成熟，太阳能电池的需求也成数倍成长，尤其到了 2005年后，在德国等环保先进国家制定新建筑法规的因素下，太阳能电池的需求量大增，甚至在2011年的福岛核灾后，各国鉴于核能的使用可能带来严重的生存威胁，更进一步推波全球太阳能电池产业的蓬勃发展。
[0004]太阳能电池的制作流程为:先将晶片清洗，再进行粗糙化刻蚀，以增加光的有效路径，提高太阳光的吸收率，接着使用POCl3(三氯氧化磷)再加上氧气和氮气在扩散炉管中进行扩散以在基板上形成p-n接面，然后用氢氟酸来去除掉扩散工艺中所产生的二氧化硅层(S12),然后进行抗反射膜制作，以增加太阳能电池的光吸收，进而提高太阳能电池的转换效率，最后再制作电极，如此即完成太阳能电池的制作。
[0005]然而，传统太阳能电池在扩散工艺中，仅单纯输入干燥氧气与POCl3 (三氯氧化磷)作用，以致于在使POCl3 (三氯氧化磷)转换为P (磷)的化学反应速率慢，且P (磷)形成的电阻值不高，同时副产物形成的氧化层及PSG(磷硅玻璃)较为坚实，而不易于在后续工艺中予以移除。
【实用新型内容】
[0006]本实用新型的主要目的是提供一种制备太阳能电池的干湿氧气供应装置，是通过供应干、湿氧气给扩散炉管，能加快扩散炉管中进行POCL3 (三氯氧化磷)转换为P (磷)的化学反应速率，并提高P (磷)形成的电阻值，且能在表面形成氧化层以去除表面缺陷，同时副产物形成的氧化层及PSG(磷硅玻璃)较为松散，易于在后续工艺中予以移除。
[0007]上述本实用新型的主要目的与功效，是由以下的具体技术手段所达成:
[0008]一种制备太阳能电池的干湿氧气供应装置，包括一干、湿氧气供应控制单元、一蒸气加热控制单元与一保温输送单元；其中:
[0009]所述干、湿氧气供应控制单元，分为干氧气供应控制部与湿氧气供应控制部，所述干氧气供应控制部与所述湿氧气供应控制部均是作为氧气供应流量与供应时机的控制，所述干氧气供应控制部和所述扩散炉管连接；
[0010]所述蒸气加热控制单元，包括一加热器、一容器、一温度感应器与一加热控制器，所述湿氧气供应控制部与所述容器连接，以输入氧气到装有水的容器内，所述加热器与所述加热控制器耦合，所述温度感应器与所述加热控制器耦合，所述加热器对所述容器内的水加热以产生水蒸气与输入所述容器内的氧气结合，所述温度感应器设于所述容器，以检测所述容器内的水蒸气温度，所述温度感应器并将感应温度回传所述加热控制器，所述加热控制器根据所述回传的感应温度高于或低于一预设值控制所述加热器关闭加热或启动加热，所述容器具有湿氧气输出口 ；
[0011]所述保温输送单元，沿着一输送管路设置一保温元件，所述保温元件与一外部加热控制器耦合，所述输送管路的两端分别衔接所述容器的湿氧气输出口与所述扩散炉管，所述外部加热控制器能控制所述保温元件的保温温度，使进入所述输送管路的结合氧气的水蒸气维持在气态状态。
[0012]如上所述的制备太阳能电池的干湿氧气供应装置，其中，所述干氧气供应控制部包括一氧气流量控制器与一开关阀门，以所述氧气流量控制器控制氧气输入所述扩散炉管的流量，并由所述开关阀门控制氧气输入所述扩散炉管的时机。
[0013]如上所述的制备太阳能电池的干湿氧气供应装置，其中，所述湿氧气供应控制部包括一氧气流量控制器与一开关阀门，是以所述氧气流量控制器控制氧气输入所述容器内的流量，并由所述开关阀门控制氧气输入所述容器内的时机。
【附图说明】
[0014]图1为本实用新型制备太阳能电池的干湿氧气供应装置的架构示意图。
[0015]主要元件符号说明:
[0016]I 干、湿氧气供应控制单元11干氧气供应控制部
[0017]111氧气流量控制器112开关阀门
[0018]12湿氧气供应控制部121氧气流量控制器
[0019]122开关阀门2 蒸气加热控制单元
[0020]21加热器22容器
[0021]221湿氧气输出口23温度感应器
[0022]24加热控制器3 保温输送单元
[0023]31输送管路32保温元件
[0024]33外部加热控制器4 扩散炉管
【具体实施方式】
[0025]为令本实用新型所运用的技术内容、实用新型目的及其达成的功效有更完整且清楚的揭露，兹于下详细说明之，并请一并参阅所揭的图式及图号。
[0026]请参看图1所示，其是本实用新型的制备太阳能电池的干湿氧气供应装置的架构示意图。
[0027]本实用新型的制备太阳能电池的干湿氧气供应装置，包括一干、湿氧气供应控制单元1、一蒸气加热控制单元2与一保温输送单元3 ;其中:
[0028]干、湿氧气供应控制单元I分为干氧气供应控制部11与湿氧气供应控制部12，干氧气供应控制部11与湿氧气供应控制部12主要作为控制氧气供应流量与供应时机之用，干氧气供应控制部11连接至扩散炉管4 ;
[0029]蒸气加热控制单元2包括一加热器21、一容器