一种晶圆盒运送系统的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型属于半导体制造领域，涉及一种晶圆盒运送系统。
【背景技术】
[0002]在现今的半导体制造工艺中，晶圆从生产制造到运送，都需要在密闭无尘条件下进行。相比于传统的将生产设备设置洁净室内的晶圆生产方式，新的晶圆隔离技术则是将洁净室直接设置于生产设备中。晶圆隔离技术又称为标准机械界面(Standard MechanicalInterface，SMIF)，SMIF被集成到半导体设备中。在半导体制造工艺中，SMIF作为一个界面接口，在该界面接口中，晶圆被装进晶圆盒；接着将晶圆盒装载并封闭在SMIF，SMIF为晶圆提供一个极端洁净的净化级别的微环境。后续，装有晶圆的晶圆盒会被运输至相应的半导体设备，以完成相应制程，之后再被运输至SMIF中存储起来。
[0003]在半导体制造业中能自动对于移动部件进行清理的零件(part)并不多，而且大都结构复杂。
[0004]如图1所示，显示为现有技术中一种晶圆盒取放装置101，其通过一对机械手拿取晶圆盒102。如图2所示，显示为半导体工厂(Fab)里常见的一种自动运送晶圆盒(Pod)的小车103，这些小车每天承担着相当大的晶圆盒搬送任务。当所述小车103随传送装置运动并经过所述晶圆盒取放装置101时，所述晶圆盒取放装置101将晶圆盒放置于所述小车103上，或将所述晶圆盒从所述小车上取走。所述传送装置可以是传送带或轨道。所述小车103上有两个感应传感器104，是用来确定晶圆盒是否放置正确的，但这两个传感器时常会被颗粒(particle)所遮挡，从而引起误报警。而小车的位置都是在离地面3米左右，所以每次处理这样的警报(alarm)都需要搬梯子，并且因为是高空作业，所以是需要两个人协同处理，这样一来很是费时费力。
[0005]因此，提供一种晶圆盒运送系统，以减少信息误报的情况，减少当机(Down机)时间，提升晶圆盒运送小车的使用效率，成为本领域技术人员亟待解决的一个重要技术问题。
【实用新型内容】
[0006]鉴于以上所述现有技术的缺点，本实用新型的目的在于提供一种晶圆盒运送系统，用于解决现有技术中晶圆盒运送小车上的传感器时常会被污染颗粒所遮挡，从而引起误报警的问题。
[0007]为实现上述目的及其他相关目的，本实用新型提供一种晶圆盒运送系统，包括:
[0008]晶圆盒搬运车，用于装载并运输晶圆盒；所述晶圆盒搬运车上设有至少一个用于检测晶圆盒位置的传感器；
[0009]搬运车传送装置，用于承载所述晶圆盒搬运车，并将所述晶圆盒搬运车传送至预设区域；
[0010]晶圆盒取放装置，所述晶圆盒取放装置包括一对机械手，用于将晶圆盒放入或取出所述晶圆盒搬运车；
[0011]其中:
[0012]所述机械手连接有用于清洗所述传感器所在区域的颗粒清除装置。
[0013]可选地，所述颗粒清除装置包括调节杆、吸尘部及真空气路；所述调节杆连接于所述机械手，用于调节所述颗粒清除装置的位置；所述吸尘部与所述调节杆连接；所述真空气路与所述吸尘部连接。
[0014]可选地，所述吸尘部包括入尘口，所述入尘口端部设有毛刷。
[0015]可选地，所述入尘口端部为喇叭形。
[0016]可选地，所述吸尘部内侧壁设有若干凸起部。
[0017]可选地，所述凸起部为直线条状或曲线条状。
[0018]可选地，各凸起部之间平行排列或交错排列。
[0019]可选地，所述吸尘部还包括一过滤罩。
[0020]可选地，所述吸尘部内部还设有用于感应所述吸尘部内部积尘程度的重物感应装置。
[0021]可选地，所述重物感应装置包括与所述吸尘部内侧壁连接的侧墙，所述侧墙围成一容置空间，该容置空间内设有一感应游丝弹簧，所述感应游丝弹簧一端与所述侧墙连接，另一端与一感应触头连接；所述侧墙上设有一可容许所述感应触头进出的开口。
[0022]可选地，所述颗粒清除装置连接于所述机械手外侧。
[0023]如上所述，本实用新型的晶圆盒运送系统，具有以下有益效果:本实用新型的晶圆盒运送系统中，晶圆盒取放装置的机械手上连接有颗粒清除装置，在机械手移动的过程中，晶圆盒搬运车上的传感器所在区域的颗粒可以被有效清除，从而减少了信息误报的情况，减少当机(Down机)时间，使得晶圆盒运送小车的使用效率得到提升。使用过程中，可以根据需要，通过对机台的设定，设计两种运行模式，一种为自动(auto)的常开模式，一种为手动(manual)的遇上报警(alarm)才进行颗粒清除的模式。通过修改机台感应程序的设定，在传感器第一次探测到有异常之后，机台设定先触发所述颗粒清除装置对传感器所在区域进行颗粒清除，在完成颗粒清楚后30s?2min之后，再一次通过传感器进行判定，如果没有报警，说明颗粒清除装置实现了颗粒清除功能，如果反馈结果还是失败(failure)，则请工程师做进一步的工程判断，从而充分、灵活发挥所述颗粒清除装置的作用，提高生产效率。
【附图说明】
[0024]图1显示为现有技术中一种晶圆盒取放装置的结构示意图。
[0025]图2显示为一现有技术中一种自动运送晶圆盒的小车结构示意图。
[0026]图3显不为本实用新型的晶圆盒运送系统的不意图。
[0027]图4显示为颗粒清除装置的放大结构示意图。
[0028]图5显示为吸尘部的内部结构示意图。
[0029]元件标号说明
[0030]101，204晶圆盒取放装置
[0031]102晶圆盒
[0032]103小车
[0033]104，202传感器
[0034]201晶圆盒搬运车
[0035]203搬运车传送装置
[0036]2041机械手
[0037]205颗粒清除装置
[0038]2051调节杆
[0039]2052吸尘部
[0040]2053入尘口
[0041]2054毛刷
[0042]2055凸起部
[0043]2056过滤罩
[0044]2057侧墙
[0045]2058感应游丝弹簧
[0046]2059感应触头
【具体实施方式】
[0047]以下由特定的具体实施例说明本实用新型的实施方式，熟悉此技术的人士可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本实用新型的其他优点及功效。
[0048]请参阅图3至图5。须知，本说明书所附图式所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本实用新型可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本实用新型所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本实用新型所揭示的技术内容得能涵盖的范围内。同时，本说明书中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中间”及“一”等的用语，亦仅为便于叙述的明了，而非用以限定本实用新型可实施的范围，其相对关系的改变或调整，在无实质变更技术内容下，当亦视为本实用新型可实施的范畴。
[0049]本实用新型提供一种晶圆盒运送系统，请参阅图3，显示为该晶圆盒运送系统的示意图，包括:晶圆盒搬运车201、搬运车传送装置203及晶圆盒取放装置204。
[0050]具体的，所述晶圆盒搬运车201用于装载并运输晶圆盒。作为示例，所述晶圆盒搬运车201包括底部及环绕所述底部周围的侧墙，所述晶圆盒搬运车顶部开口，所述侧墙根据晶圆盒的大致尺寸在不同位置高度不一致，以方便晶圆盒的进出。此处仅为示例，在其它实施例中，所述晶圆盒搬运车201也可以为其它构造，只要能够满足装载晶圆盒的目的即可。
[0051]具体的，所述晶圆盒搬运车201上设有至少一个用于检测晶圆盒位置的传感器202。本实施例中，所述传感器202的数目以两个为例，分别位于所述晶圆盒搬运车的内底面上，并位于晶圆盒标准放置位置的一条对角线的两端。在其它实施例中，所述传感器的数目和位置可根据实际需要进行调整。
[0052]具体的，所述搬运车传送装置203用于承载所述晶圆盒搬运车201，并将所述晶圆盒搬运车201传送至预设区域。作为示例，所述搬运车传送装置203为轨道式，所述晶圆盒搬运车201放置于两条轨道之间的承载台上。
[0053]具体的，所述晶圆盒取放装置204包括一对机械手2041，用于将晶圆盒放入或取出所述晶圆盒搬运车201。所述机械手2041可在所述晶圆盒取放装置204的电机控制下前后左右移动及旋转，该技术在现有技术中已非常成熟，此处不再赘述。
[0054]特别的，本实用新型中，所述晶圆