层叠体1的表面上涂布包含Ag等的导电糊料，并进行烧接，从而形 成与放电电极3、3电连接的多个外部电极5、5。
[0053] 最后，如若需要，利用电镀在外部电极5、5上形成由Ni及Sn形成的膜，从而完成 图1所示的ESD保护器件100。
[0054] 对于本实用新型实施方式1的ESD保护器件100,评价了初始的放电开始电压及重 复放电后的放电开始电压。
[0055] 利用由IEC61000-4-2规定的、静电放电抗扰度试验来测定放电开始电压。具体 而言，利用接触放电将8kV施加于ESD保护器件，将在保护电路侧检测出的峰值电压作为放 电开始电压。
[0056] 重复放电后的放电开始电压设为在利用接触放电将8kV施加于ESD保护器件100 次之后通过与上述同样的方法测定得到的峰值电压。
[0057] 作为评价对象，通过与上述制造方法相同的方法，制作出结构与本实用新型实施 方式1的ESD保护器件100相同的实施例1。此外，作为与实施例1的比较对象，通过对实 施例1变更树脂糊料的涂布图案，从而制作出仅空洞部的形状、尺寸与实施例1不同的比较 例1的ESD保护器件200、比较例2的ESD保护器件300。比较例1中，如图2所示，与图10 所示的现有技术（专利文献1)同样，俯视时形成有长方形的空洞部22。比较例2中，如图 3所示，俯视时，形成有横宽比比较例1的空洞部22要小的长方形的空洞部32。
[0058] 表1示出实施例1、比较例1、比较例2各自的放电开始电压的测定结果。
[0059] [表 1]
[0060]
[0061] 从表1可知，实施例1中的初始的放电开始电压的因重复放电而引起的变化与现 有技术的比较例1相比变小。此外，实施例1中，初始的放电开始电压维持比比较例1要小 的值。即，实施例1中，将初始的放电开始电压维持得较低，为与以往相同的程度，与现有技 术的比较例1相比，能减小因重复放电而引起的放电开始电压的变化。
[0062] 另一方面，在长方形的空洞部的横宽比比较例1要窄的比较例2中，因重复放电而 弓丨起的放电开始电压的变化比比较例1要小，但存在初始的放电开始电压比比较例1要大 的问题。与此相对，实施例1中，能使得因重复放电而引起的放电开始电压的变化比比较例 1要小，且将初始的放电开始电压维持得较低，为与比较例1相同的程度。
[0063] 以上，对本实用新型实施方式1的ESD保护器件100的结构及制造方法的一个示 例进行了说明。然而，本实用新型并不限于上述内容，只要遵循实用新型的要点，能够进行 各种变更。
[0064] 图4示出本实用新型实施方式1的ESD保护器件100的变形例400的剖视图。变 形例400与上述ESD保护器件100不同，在1对放电电极43、43的各放电电极中，经由转角 部43b、43b、43b、43b与相对的端面43a、43a相连接的其它端面43c、43c、43c、43c在俯视 时，随着离相对的端面43a、43a越远，形成得越宽。在此情况下，也能维持与以往相同程度 的较低的放电开始电压，且减小因重复放电而引起的放电开始电压的变化。
[0065] 此外，上述实施方式中形成有放电辅助电极4,但也可不形成放电辅助电极4。在 不形成放电辅助电极4的情况下，接合的放电电极3、3与陶瓷层叠体4也由不同材料形成， 因此，放电电极3、3容易从陶瓷层叠体4剥落。因此，在此情况下，也有应用本实用新型的 意义。
[0066] 在不形成放电辅助电极4的ESD保护器件中，形成与本实用新型同样的空洞部2 的形状，从而能维持与以往相同程度的较低的放电开始电压，且减小因重复放电而引起的 放电开始电压的变化。
[0067] 此外，上述实施方式中，放电辅助电极4包含导电性材料和半导体材料，但也可 包含BAS材料等绝缘性材料来代替半导体材料。或者，放电辅助电极4也可包含导电性材 料、以及半导体材料和绝缘性材料这两者。
[0068] (实施方式2)
[0069] 图5示出本实用新型实施方式2的ESD保护器件500的剖视图。
[0070] 实施方式1的ESD保护器件100中，俯视时，使1对长方形的放电电极3、3的短边 侧的端面3a、3a彼此相对，但实施方式2的ESD保护器件500中，使1对长方形的放电电极 53、53的长边侧的端面53a、53a的一部分彼此相对。
[0071] ESD保护器件100中，关于相对的端面3a、3a的转角部3b、3b、3b、3b，1对放电电极 3、3各自有2个转角部，但ESD保护器件500中，1对放电电极53、53各自有1个转角部。
[0072] 此外，ESD保护器件100中，空洞部2在放电电极3、3的一个主面上形成为U字状 的区域，但ESD保护器件500中，空洞部52形成为L字状的区域。
[0073] 此外，ESD保护器件100中，使转角部3b、3b彼此直接相对，但ESD保护器件500 中，不使转角部53b、53b彼此直接相对，而使转角部53b与端面53a相对。
[0074] 在此情况下，也能维持与以往相同程度的较低的放电开始电压，且减小因重复放 电而引起的放电开始电压的变化。
[0075] 此外，根据实施方式2的ESD保护器件500,如图5所示，使相对的端面53a、53a在 俯视时与长方形的陶瓷层叠体51的长边方向平行配置，因此，通过将相对部53a、53a的长 度设定得更长，能增大相对的放电电极53、53的相对的长度，因此，能增多ESD保护器件500 的可重复使用次数。
[0076] 此外，根据ESD保护器件500,使转角部53b与端面53a相对，因此，与ESD保护器 件100那样使转角部3b、3b彼此相对的情况相比，能使放电开始电压相对于印刷偏移等导 致的放电电极3、3的位置偏差变稳定。
[0077] 实施方式2的ESD保护器件500的制造方法中，可利用与实施方式1的ESD保护 器件100的制造方法同样的方法。实施方式1的制造方法与实施方式2的制造方法的不同 点在于，将涂布树脂糊料的形状、涂布放电电极用糊料的形状变更为与空洞部52及放电电 极53、53的形状相匹配。
[0078] 对于实施方式2的ESD保护器件500,与实施方式1的ESD保护器件100同样地评 价了放电开始电压。
[0079] 作为评价对象，制作出结构与本实用新型实施方式2的ESD保护器件500相同的 实施例2。此外，作为与实施例2的比较对象，通过对实施例2变更树脂糊料及放电电极用 糊料的涂布图案，从而制作出仅空洞部及放电电极的形状、尺寸与实施例1不同的比较例3 的ESD保护器件600、比较例4的ESD保护器件700。比较例3中，如图6所示，形成有长方 形的空洞部62。比较例4中，如图7所示，形成有纵宽比比较例3的空洞部22要小的长方 形的空洞部72。
[0080] 表2示出实施例2、比较例3、比较例4各自的放电开始电压的测定结果。
[0083] 从表2可知，实施例2中，与实施例1同样，将初始的放电开始电压维持得较低，为 与以往相同的程度，且与比较例3相比，能减小放电开始电压的变化。
[0084] 以上，对本实用新型实施方式2的ESD保护器件500的结构及制造方法的一个示 例进行了说明。然而，本实用新型并不限于上述内容，只要遵循实用新型的要点，能够进行 各种变更。
[0085] 图8、图9中分别示出本实用新型实施方式2的ESD保护器件500的第1变形例 800、第2变形例900的剖视图。
[0086] 第1变形例800与上述ESD保护器件500不同，在1对放电电极83、83的各放电 电极中，经由转角部83b、83b、83b、83b与相对的端面83a、83a相连接的其它端面83c、83c、 83c、83c在俯视时，随着离相对的端面83a、83a越远，形成得越宽。
[0087] 第2变形例900中，放电电极93、93的包含相对的端面93a、93a的前端部分在俯 视时呈平行四边形的形状。
[0088] 在上述第1变形例800、第2变形例900的情况下，也能维持与以往相同程度的较 低的放电开始电压，且减小因重复放电而引起的放电开始电压的变化。
[0089] 标号说明
[0090] 1陶瓷层叠体
[0091] 2空洞部
[0092] 2a 1对放电电极的相对的端面间的区域
[0093] 2c沿1对放电电极的其它端面的区域
[0094] 3放电电极
[0095] 3a放电电极的相对的端面
[0096] 3b放电电极的转角部
[0097] 3c放电电极的其它端面
[0098] 3e放电电极的一个主面上的区域
[0099] 4放电辅助电极
[0100] 5外部电极
[0101] 100、400、500、800、900 ESD 保护器件。
【主权项】
1. 一种ESD保护器件，其特征在于，包括： 层叠多个陶瓷层而成的陶瓷层叠体； 形成在所述陶瓷层叠体的内部的空洞部； 至少1对放电电极，该至少1对放电电极配置于所述多个陶瓷层间，具有一个主面和另 一个主面、连接所述一个主面和所述另一个主面的多个端面、及连接所述多个端面中彼此 相邻的端面的转角部；及 外部电极，该外部电极形成于所述陶瓷层叠体的表面，与所述放电电极相连接， 所述1对放电电极中的一个放电电极的1个端面与另一个放电电极的1个端面隔着所 述空洞部相对， 所述空洞部在相对的所述端面间的区域、沿经由所述转角部与相对的所述端面相连接 的其它端面的区域、以及所述一个主面上的沿相对的所述端面的区域及沿所述其它端面的 区域中一体形成。2. 如权利要求1所述的ESD保护器件，其特征在于， 在所述1对放电电极的所述另一个主面侧及作为所述空洞部的底面的、所述1对放电 电极的相对的所述端面之间的区域，形成有放电辅助电极。3. 如权利要求1或2所述的ESD保护器件，其特征在于， 在所述1对放电电极的各放电电极中，露出到所述空洞部的所述一个主面的形状为L字状。
【专利摘要】本实用新型的目的在于提供一种在与以往相同程度的较低的放电开始电压下动作、且因重复放电而引起的放电开始电压的变化较小的ESD保护器件。本实用新型的ESD保护器件(100)包括：内部形成有空洞部(2)的陶瓷层叠体(1)；配置在陶瓷层叠体(1)内的至少1对放电电极(3、3)；及形成于陶瓷层叠体(1)的表面且与放电电极(3、3)相连接的外部电极(5、5)，1对放电电极(3、3)中的一个放电电极(3)的1个端面(3a)与另一个放电电极(3)的1个端面(3a)隔着空洞部(2)相对，空洞部(2)在相对的端面(3a、3a)间的区域(2a)、沿经由转角部(3b)与相对的端面(3a)相连接的其它端面(3c)的区域(2c)、以及一个主面上的沿相对的端面(3a)的区域及沿其它端面(3c)的区域(3e)中一体形成。
【IPC分类】H01T2/02, H01T4/12, H01T4/10
【公开号】CN204947322
【申请号】CN201390000997
【发明人】大坪喜人, 足立淳
【申请人】株式会社村田制作所
【公开日】2016年1月6日
【申请日】2013年12月17日
【公告号】US20150263489, WO2014098084A1