部件安装装置及基板的制造方法与流程

技术特征：
1.一种部件安装装置，具备：保持基板的基板保持单元；支撑单元，所述支撑单元具有支撑由所述基板保持单元保持的所述基板的支撑体、以及使所述支撑体的高度位置发生变化的位移机构；距离传感器，所述距离传感器测量从部件安装装置内的任意位置到由所述位移机构决定的所述支撑体的位置之间的距离；安装头，所述安装头保持部件并将保持的所述部件安装到由所述基板保持单元保持的并由所述支撑体支撑的所述基板上；控制单元，所述控制单元存储从所述距离传感器的位置到所述支撑体的位置的作为目标的目标距离的信息，并根据所述目标距离及通过所述距离传感器检测到的从所述距离传感器的位置到所述支撑体的位置之间的距离，算出所述支撑体的从当前高度位置到目标高度位置之间的移动距离；保持所述安装头的安装头保持单元；以及升降单元，所述升降单元具有安装有所述安装头及所述距离传感器的可动部，并设置在所述安装头保持单元上，用于使所述可动部升降。2.根据权利要求1所述的部件安装装置，还具备：安装头保持单元，所述安装头保持单元安装有所述距离传感器并保持所述安装头；以及移动机构，所述移动机构使所述安装头保持单元在沿由所述基板保持单元保持的所述基板的安装面的至少一个轴方向上与所述基板相对地移动。3.根据权利要求1或2所述的部件安装装置，其中，所述位移机构具有驱动源、与所述驱动源连接且产生沿水平方向的驱动力的水平驱动部、以及与所述支撑体连接并将所述水平驱动部产生的所述驱动...