1.一种蚀刻装置，其特征在于，包括蚀刻槽及清洗装置，所述蚀刻槽包括底壁及自所述底壁延伸的侧壁，所述底壁与所述侧壁围设形成收容空间，所述清洗装置包括一体成型的盘管、间隔设置于所述盘管上的多个喷嘴、与所述盘管连通的进液管及固定于所述侧壁的卡座，所述盘管收容于所述收容空间且环绕所述侧壁设置，所述喷嘴朝向所述侧壁喷淋且其喷淋方向与水平面呈15-30°夹角，所述盘管通过所述卡座固定于所述侧壁，相邻两个所述喷嘴在所述侧壁上喷淋形成的喷淋区域部分叠加。
2.根据权利要求1所述的蚀刻装置，其特征在于，所述卡座数量为多个，多个所述卡座环绕所述侧壁等间距设置。
3.根据权利要求2所述的蚀刻装置，其特征在于，所述卡座具有开口，所述盘管通过所述开口卡设固定于所述卡座。
4.根据权利要求3所述的蚀刻装置，其特征在于，所述开口的直径等于所述盘管的直径。
5.根据权利要求1所述的蚀刻装置，其特征在于，所述喷嘴为扇形喷嘴。
6.根据权利要求1所述的蚀刻装置，其特征在于，相邻两个所述喷嘴在所述侧壁上的叠加的所述喷淋区域的宽度为单个所述喷嘴的所述喷淋区域的宽度的10％。
7.根据权利要求1所述的蚀刻装置，其特征在于，所述进液管包括与所述盘管连通的管体及分别设置于所述管体的过滤网、调节阀和压力表。
8.根据权利要求1所述的蚀刻装置，其特征在于，所述进液管由聚丙烯材料制成。
9.根据权利要求1所述的蚀刻装置，其特征在于，所述蚀刻槽还包括多个支撑部，多个所述支撑部分别安装于所述底壁远离所述侧壁的一侧。