r>[0026]图6是图4中的V1-VI方向向视图。
[0027]图7是示出加热部的配置图案的图。
[0028]图8是传热体的整体立体图。
[0029]图9是框体部的整体立体图。
[0030]图10是除电单元的组装构成图。
[0031]图11是除电单元的长度方向观察时的截面图。
【具体实施方式】
[0032]以下，基于附图，说明装备有本发明所涉及的除电装置的输送装置的实施方式。在本实施方式中，输送装置I从下方支撑并输送液晶用的玻璃基板等板状的输送物。如图1和图2所示，输送装置I将从下方支撑输送物的输送辊IR以沿输送方向并排多个的状态配备而构成。这些输送辊IR与旋转轴IJ 一体地构成，由支撑框体IW旋转自由地支撑。
[0033]在各个旋转轴1J，一体旋转自由地安装有链轮1S。构成为，邻接的旋转轴IJ彼此通过遍及多个链轮IS而卷绕的未图示的带而连动并旋转。另外，在旋转轴IJ中的I个或多个，经由减速机而连接有驱动用电动机的输出。即，在旋转轴IJ中的I个或多个，联接有该减速机的输出轴。输送辊IR，外周部由橡胶或氨基甲酸乙酯等摩擦系数大的原料形成。通过使驱动用电动机工作并使输送辊IR旋转，从而能够利用该输送辊IR与板状的输送物的下表面的摩擦来输送板状的输送物。
[0034]在支撑框体1W，隔开既定的间隔而装备有除电单元U。除电单元U具备通过来自后述的放电电极的放电来生成电离物质而对除电对象物除电的除电装置，如图3所示，棒状地形成。在支撑框体1W，形成有安装有除电单元U的安装用槽1M。该安装用槽IM沿着输送方向形成于多个输送辊IR之间的位置。除电单元U以嵌合于安装用槽IM的形态配备。
[0035]在此，说明除电单元U的构成。如图10所示，除电单元U具备放电电极基板30和连接基板40、传热体20以及上部罩部10。如图4所示，放电电极基板30平板状且长尺寸状地形成，在其表面部，具备沿着其长度方向的金属制的放电电极D和对放电电极基板30加热的电热加热器H。
[0036]放电电极D直线状地连续地形成。如图4和图7(a)所示，电热加热器H具有沿着直线状的放电电极D延伸的部分(称为非横断部分Ha)和在直线状的放电电极D的两端部将放电电极D横切的部分(称为横断部分Hx)，以弯曲的线状形成。换言之，电热加热器H以具备在俯视时与放电电极基板30的长度方向正交的方向上沿着线状的放电电极D的两侧部的非横断部分Ha和在放电电极D的长度方向两端部处沿俯视时与放电电极基板30的长度方向正交的方向将放电电极D横切的横断部分Hx的线状形成。在非横断部分Ha的一方侧的长度方向中央部，形成有该电热加热器H的高压侧极HCl和低压侧极HC2。
[0037]图5和图6是放电电极基板30的长度方向观察时的截面图，图5示出作为非横断部分Ha的图4的V-V向视截面，另外，图6示出作为非横断部分Ha的图4的V1-VI向视截面。
[0038]如图5、图6所示，放电电极基板30具备玻璃环氧基板层33 (玻璃环氧基板33B)、加热器层32以及放电电极层31。如图5和图6所示，放电电极层31具备云母基层31B、上部涂覆层31A以及下部涂覆层31C。云母基层31B是在上表面安装有放电电极D并在背面安装有成为从放电电极D电晕放电的对象电极的感应电极Y的基层。上部涂覆层31A是以放电电极D的上端露出的形态覆盖云母基层3IB的上表面的涂覆层。下部涂覆层3IC是将云母基层31B的下表面，包括感应电极Y，整面地覆盖的涂覆层。
[0039]加热器层32，在非横断部分Ha中，如图5(a)所示，具备加热器母材层32B和罩层32C。加热器母材层32B是PET制，在其下表面安装有电热加热器H。罩层32C将加热器母材层32B的下表面，包括电热加热器H，整面地覆盖。此外，在加热器层32中的横断部分Hx中，如图6(a)所示，在加热器母材层32B的上表面侧，贴附有聚酰亚胺绝缘胶带32A。在横断部分Hx中，电热加热器H不但将放电电极D横断，而且还将感应电极Y横断。聚酰亚胺绝缘胶带32A是为了防止电热加热器H与放电电极层31中的感应电极Y之间的短路而设置的。聚酰亚胺绝缘胶带32A将加热器母材层32B与包括感应电极Y并将云母基层31B的下表面，包括感应电极Y，整面地覆盖的下部涂覆层31C之间绝缘。
[0040]如图5(b)、图6(b)所示，放电电极基板30将放电电极层31、加热器层32以及玻璃环氧基板层33按照该顺序用粘接剂等粘合而一体地构成。在本实施方式中，放电电极基板30相当于本发明中的基板，放电电极D相当于本发明中的放电电极，电热加热器H相当于本发明中的加热部。即，具备被平板状的放电电极基板30的表面部支撑的放电电极D和由放电电极基板30支撑并对放电电极基板30加热的电热加热器H而构成除电装置。此外，通过将热传导性优异的绝缘膜等粘合于放电电极层31与加热器层32之间，从而还能够作为能够更均匀地稳定地对放电电极层31加热的构成。
[0041]如图4所示，连接基板40以与放电电极基板30大致相同的尺寸形成。可是，未图示，在放电电极基板30的背面，形成有成为供给至放电电极D或电热加热器H的电力的出入口的被供给侧接点。连接基板40具备抵接于被供给侧接点的供给侧接点40S。另外，在连接基板40的两端部，具备将邻接的连接基板40彼此电连接的扁平型的连接器40C。连接器40C彼此以能够通过扁平电缆而相互连接的方式构成。
[0042]传热体20由绝缘性材料构成。如图8所示，传热体20形成为扁平且长尺寸的棒状体，并且，形成有上下贯通的开口 20H。传热体20在重叠于放电电极基板30的上表面侧的状态下遍及设有电热加热器H的部分的整面而与放电电极基板30接触，而且，规定其形状，使得开口 20H位于与放电电极D相对应的位置。此外，在图8中，举例说明传热体20具有放电电极基板30的2个的程度的长度并形成为覆盖沿长度方向并排2个的放电电极基板30的方式。可是，传热体20不限定于该方式，也可以是覆盖单个放电电极基板30的方式或覆盖3个以上的放电电极基板30的方式。另外，如图11所示，传热体20的开口 20H，在长度方向观察时的截面形状中，在铅垂部22H的上端，连续地形成有弯曲形状的r部22R。
[0043]构成传热体20的绝缘性材料适合为，从放电电极基板30的表面部沿垂直方向离开的方向上的热传导率比放电电极基板30的玻璃环氧基板33B的热传导率(0.1ff/m.Κ以上且0.8ff/m.K以下)更大的绝缘性材料(1.0ff/m.K以上且2.0ff/m.K以下)。在本实施方式中，使用热传导性树脂，选择绝缘性材料的材质，使得构成传热体20的绝缘性材料的热传导率为玻璃环氧基板33B的热传导率的2倍以上，优选10倍以上。
[0044]g卩，由绝缘性材料形成且热传导率比放电电极基板30的热传导率更大的传热体20以遍及放电电极基板30的表面部中的设定范围的整面而与放电电极基板30接触的状态设置。而且，该设定范围包括与电热加热器H相对应的部分且设定于与放电电极D相对应的部分的周围。
[0045]如图9所示，上部罩部10是将不锈钢板(在本实施方式中，使用SUS304)弯折加工成U字状而形成的，在上表面部形成有沿着长度方向的长孔部11H。该长孔部IlH形成于与放电电极D相对应的位置，而且，构成为传热体20的开口 20H的周围的外角部嵌入该长孔部11H。另外，在上部罩部10的侧面部，沿长度方向离开而形成有螺栓孔12H。在本实施方式中，上部罩部10相当于本发明的框体部。
[0046]图10和图11示出除电单元U的组装构成。在支撑除电单元U的下部罩部51固定有支撑体50，由支撑体50支撑连接基板40。在支撑体50中的与螺栓孔12H相对应的位置，设有将螺栓UB螺纹接合的内螺纹部。在连接基板40的上部，安装有放电电极基板30。在连接基板40，未图示，连接有