元件安装装置及元件安装装置的校正方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及向基板安装元件的元件安装装置和元件安装装置的校正方法，特别是涉及元件识别和基板识别能够共用一个识别用相机的元件安装装置和校正方法。
【背景技术】
[0002]在元件安装装置中，在能够相对于基台沿X轴和Y轴方向移动的移动台上安装有安装头和基板识别用相机，在基台上固定有元件识别用相机。而且，通过基板识别用相机来识别在由基板搬运装置定位于安装位置的基板上设置的基板标记，根据该基板标记的位置，对移动台的移动量进行位置校正。另外，在将吸附于吸嘴的元件从元件供给装置移动到基板上的预定的坐标位置的途中，通过元件识别用相机来识别元件相对于吸嘴的中心的偏心和角度偏差，基于此，对吸嘴的位置和角度进行校正。由此，能够将从元件供给装置吸附于安装头的吸嘴上的元件准确地安装在基板上的预定的坐标位置。
[0003]通常，安装头可拆卸地安装在移动台上，并根据所安装的元件的种类来更换安装头。并且，在更换安装头时，进行对吸嘴相对于基准位置的坐标位置进行校正的作业。作为这种元件安装装置，公知例如专利文献I记载的元件安装装置。
[0004]在专利文献I记载的元件安装装置中，以元件识别用和基板识别用而分别具备相机，因此设置两台相机，从而元件安装装置的成本变高，并且需要两台相机彼此的校准，容易产生受每台相机的老化等影响引起的图像识别差。作为解决该问题的方法，专利文献2记载了通过一台相机来进行元件识别和基板识别的装置。
[0005]现有技术文献
[0006]专利文献
[0007]专利文献1:日本专利第4322092号
[0008]专利文献2:日本专利第3187976号
【发明内容】
[0009]发明要解决的课题
[0010]但是，在专利文献2记载的装置中，是在吸嘴32的上下移动的空间中配置有使吸附于吸嘴32的元件A的像沿水平方向反射的45°反射镜34的结构，因此在将吸附于吸嘴32的元件A安装于基板P时，需要通过移动单元35使45°反射镜34退避到吸嘴32的上下移动的空间外。而且，在专利文献2记载的装置中存在如下问题:难以校正对移动台(X —Y台)2更换了安装头31的情况下的相对于识别用相机(摄像装置)38的中心的吸嘴32的中心位置。
[0011]本发明鉴于上述情况而完成，其目的在于，提供元件安装装置及元件安装装置的校正方法，能够通过一个识别用相机来进行元件识别和基板识别，并且通过该识别用相机来拍摄设于安装头侧的基准标记和设于基台侧的基准标记，由此能够容易地进行与安装头的更换等相伴的校正。
[0012]用于解决课题的技术方案
[0013]为了解决上述课题，本发明的第一方面的技术方案的特征在于，元件安装装置具备:基台，将基板定位保持于安装位置；移动台，被以能够相对于该基台而沿X轴方向和Y轴方向移动的方式进行支撑；安装头，以能够拆装的方式安装于该移动台，具有吸附由元件供给装置供给的元件的吸嘴，并将吸附于上述吸嘴的元件安装到定位保持于上述安装位置的上述基板上；及识别用相机，与上述移动台一体设置，上述元件安装装置的特征在于，相对于上述识别用相机的光轴，对从上方识别设于上述基板的基板标记的基板识别用光路和从下方识别吸附于上述吸嘴的元件的元件识别用光路进行分割设置，将经由上述基板识别用光路所拍摄的第一基准标记设于上述基台侧的第一预定位置，将经由上述元件识别用光路所拍摄的第二基准标记设于上述安装头侧的第二预定位置，上述元件安装装置具备计算单元，通过利用上述识别用相机拍摄上述第一基准标记和上述第二基准标记，根据上述第一基准标记和上述第二基准标记相对于上述识别用相机的光轴的位置关系来算出校正值。
[0014]根据本发明的第一方面记载的技术方案，通过利用一个识别用相机并经由基板识别用光路和元件识别用光路而拍摄第一基准标记和第二基准标记，能够容易地进行更换了安装头的情况下的吸嘴相对于基准位置的坐标位置的校正。而且，由于能够通过一个识别用相机进行基板识别和元件识别，因此能够减少相机的个数，能够降低元件安装装置的成本，并且能够使安装头小型化。
[0015]本发明的第二方面的技术方案的特征在于，在本发明的第一方面记载的元件安装装置的基础上，使上述基板识别用光路的长度和上述元件识别用光路的长度相同。
[0016]根据本发明的第二方面记载的技术方案，能够经由相同长度的基板识别用光路和元件识别用光路而准确地识别第一基准标记和第二基准标记。
[0017]本发明的第三方面的技术方案的特征在于，在本发明的第一方面记载的元件安装装置的基础上，使上述基板识别用光路的长度和上述元件识别用光路的长度不同，并通过中继透镜来调整焦距。
[0018]根据本发明的第三方面记载的技术方案，能够通过中继透镜使基板识别用光路和元件识别用光路的焦距一致。
[0019]本发明的第四方面的技术方案的特征在于，在本发明的第一方面?第三方面中任一方面记载的元件安装装置的基础上，以能够与具有上述基板识别用光路的第一反射镜单元分离的方式设置具有上述元件识别用光路的第二反射镜单元，能够随着上述安装头的更换而相应地更换该第二反射镜单元。
[0020]根据本发明的第四方面记载的技术方案，在更换安装头时，能够仅使反射镜单元中的第二反射镜单元分离，并更换为与安装头相应的反射镜等。
[0021]本发明的第五方面的技术方案的特征在于，在本发明的第一方面?第四方面中任一方面记载的元件安装装置的基础上，将上述第一基准标记设于上述安装位置的固定轨道。
[0022]根据本发明的第五方面记载的技术方案，能够以与由基板搬运部等定位保持于安装位置的基板接近的位置为基准，校正吸嘴的坐标位置。
[0023]本发明的第六方面的技术方案的特征在于，在本发明的第一方面?第五方面中任一方面记载的元件安装装置的基础上，上述安装头具备:旋转头，在圆周上具备多个上述吸嘴，并能够将这些吸嘴对准至元件安装位置和元件摄像位置；及升降装置，使对准至上述元件安装位置的上述吸嘴升降。
[0024]根据本发明的第六方面记载的技术方案，能够通过位于元件安装位置上的吸嘴依次吸附元件，并同时通过识别用相机来拍摄吸附在分配至元件摄像位置的吸嘴上的元件，能够高效地进行元件的安装作业。
[0025]本发明的第七方面的技术方案的特征在于，元件安装装置的校正方法中，该元件安装装置具备:基台，将基板定位保持于安装位置；移动台，被以能够相对于该基台沿X轴方向和Y轴方向移动的方式进行支撑；安装头，以能够拆装的方式安装于该移动台，具有吸附由元件供给装置供给的元件的吸嘴，并将吸附于上述吸嘴的元件安装到定位保持于上述安装位置的上述基板上；及识别用相机，与上述移动台一体设置；上述元件安装装置的校正方法的特征在于包括如下步骤:相对于上述识别用相机的光轴，对识别设于上述基板的基板标记的基板识别用光路和识别吸附于上述吸嘴的元件的元件识别用光路进行分割，通过利用上述识别用相机并经由上述基板识别用光路和上述元件识别用光路而拍摄设于上述基台侧的第一基准标记和设于上述安装头侧的第二基准标记，求算上述第一基准标记和上述第二基准标记相对于上述识别用相机的光轴的位置关系，根据上述第一基准标记和上述第二基准标记的位置关系，算出上述吸嘴的坐标位置相对于上述第一基准标记的坐标位置的校正值，在安装元件时校正上述吸嘴的坐标位置。
[0026]根据本发明的第七方面记载的技术方案，通过利用一个识别用相机并经由基板识别用光路和元件识别用光路而拍摄第一基准标记和第二基准标记，能够容易地进行更换了安装头的情况下的吸嘴相对于基准位置的坐标位置的校正。
【附图说明】
[0027]图1是表示本发明的实施方式的元件安装装置的整体的立体图。
[0028]图2是表示安装头的立体图。
[0029]图3是表示安装头的结构的图。
[0030]图4是表不识别用相机的图。
[0031]图5是表示基台侧的第一基准标记的图。
[0032]图6是表示从图4的箭头6方向观察到的安装头侧的第二基准标记的图。
[0033]图7是控制元件安装装置的控制装置的框图。<