专利名称：单晶炉盖的冷却结构的制作方法
技术领域：
本发明涉及熔炼单晶炉，具体涉及一种单晶炉盖的冷却结构。
背景技术：
对于熔炼多晶硅的单晶炉，其由炉底、下炉室、上炉室、炉盖、翻板箱以 及副室六大部分组成。这其中，由于炉盖在工作过程中需要进行冷却，通常采 用水冷却的方式对炉盖进行冷却。由于目前的冷却方式只对炉盖外壁进行冷却， 因此冷却效果并不理想。
实用新型内容
针对上述问题，本实用新型的目的是提供一种提高冷却效果的单晶炉盖的 冷却结构。
单晶炉盖的冷却结构，包括盖体以及与盖体连接的炉颈，炉颈上设有输气 管道，盖体下端设有下连接装置，炉颈上端设有上连接装置，所述盖体包括外 盖体以及内盖体，外盖体与内盖体间隔设置，炉颈包括内炉颈和与该内炉颈间 隔设置的外炉颈，外炉颈上端以及内炉颈上端分别与上连接装置焊接固定，内 炉颈下端与内盖体焊接固定，所述外盖体与外炉颈焊接固定，所述内盖体以及 外盖体下端分别与下连接装置焊接固定，所述外盖体上设有进水孔，所述炉颈 上设有出水口。
采用了上述方案，所述盖体包括外盖体以及内盖体，外盖体与内盖体间隔 设置，这样在内盖体与外盖体之间形成了装载冷却水的空间，当将冷却水通入 到该空间内以后，可以对炉盖进行冷却。由于本实用新型的这种结构，可以直 接对内盖体和外盖体进行冷却，因此，可以提高冷却效果。
图l为本实用新型的结构示意图； 图2为图1的剖面结构附图中，IO为外盖体，ll为内盖体，101为延伸部，102为通孔，12为观 察窗，13为测经仪窗，14为进水孔，20为内炉颈，21为外炉颈，22为输气管道，30为下连接装置，301为内连接部，302为外连接部，303为环形槽，40 为上连接装置，41为内连接部，42为外连接部，43为环形槽，44为凸台。
具体实施方式
参照图1及图2，本实用新型的单晶炉炉盖结构，包括盖体以及与盖体连接 的炉颈，盖体下端设有下连接装置30,炉颈上端设有上连接装置40。盖体采用 不锈钢材料制成，盖体包括外盖体10以及内盖体11，外盖体10与内盖体11间 隔设置，该间隔的间距为20mm。炉颈包括内炉颈20和与该内炉颈间隔设置的外 炉颈21，外炉颈与内炉颈之间的间隔距离为20mm。外炉颈21上设有输气管道 22，该输气管道22与内炉颈连通，输气管道22用于氩气通入到内炉颈中。外 炉颈21上端以及内炉颈20上端分别与上连接装置40焊接固定，内炉颈20下 端与内盖体ll焊接固定，外盖体10与外炉颈焊接固定，上连接装置40为一个 法兰盘，该法兰盘的下端面设有与内炉颈连接的内连接部41和与外炉颈连接的 外连接部42，内连接部和外连接部通过法兰盘上设置的环形槽43间隔开，环形 槽43与外炉颈与内炉颈之间的间隔空隙正对。上连接装置的上端面设有一个凸 出于该上端面的凸台44，该凸台用于与副室法兰盘上的连接部配合并形成固定 连接。
内炉颈20下端与内盖体11通过焊接方式固定连接，所述外盖体10与外炉 颈21通过焊接方式固定连接，该外盖体10与外炉颈20焊接的端部设有与内炉 颈外壁面接触的延伸部101，该延伸部上设有通孔102。所述内盖体11以及外 盖体10下端分别与下连接装置30通过焊接方式固定连接。下连接装置30为连 接法兰，该下连接装置的上端面形成用于与外盖体10焊接的内连接301以及用 于与内盖体11焊接的外连接部302，外连接部和内连接部之间通过环形槽303 隔开。所述外盖体上设有进水孔14，炉颈上设有出水口。在外盖体10上设有观 察窗12，该观察窗与内盖体连通，观察窗包括窗体以及与该窗体密封固定的透 明的玻璃，透过玻璃可以观察到炉体内的情况。外盖体上设有测经仪窗13，该 测经仪窗与内盖体连通。
权利要求1.单晶炉盖的冷却结构，包括盖体以及与盖体连接的炉颈，炉颈上设有输气管道，盖体下端设有下连接装置，炉颈上端设有上连接装置，其特征在于所述盖体包括外盖体以及内盖体，外盖体与内盖体间隔设置，炉颈包括内炉颈和与该内炉颈间隔设置的外炉颈，外炉颈上端以及内炉颈上端分别与上连接装置焊接固定，内炉颈下端与内盖体焊接固定，所述外盖体与外炉颈焊接固定，所述内盖体以及外盖体下端分别与下连接装置焊接固定，所述外盖体上设有进水孔，所述炉颈上设有出水口。
2. tl^权利要求l所述的单晶炉盖的冷却结构，其特征在于所述外盖 体与外炉颈焊接的端部设有与内炉颈外壁面接触的延伸部，该延伸部上设有 通孔。
3. 根据权利要求l所述的单晶炉盖的冷却结构，其特征在于所述上连 接装置为法兰盘，该法兰盘的下端面设有与内炉颈连接的内连接部和与外炉 颈连接的外连接部，内连接部和外连接部通过法兰盘上设置的环形槽间隔开。
4. 根据权利要求l所述的单晶炉盖的冷却结构，其特征在于所述下连 接装置为连接法兰。
5. 根据权利要求l所述的单晶炉盖的冷却结构，其特征在于所述外盖 体上设有观察窗，该观察窗与内盖体连通。
6. 根据权利要求1所述的单晶炉盖的冷却结构，其特征在于所述外盖 体上设有测经仪窗，该测经仪窗与内盖体连通。
专利摘要本实用新型公开了一种单晶炉盖的冷却结构，盖体包括外盖体以及内盖体，外盖体与内盖体间隔设置，炉颈包括内炉颈和与该内炉颈间隔设置的外炉颈，外炉颈上端以及内炉颈上端分别与上连接装置焊接固定，内炉颈下端与内盖体焊接固定，所述外盖体与外炉颈焊接固定，所述内盖体以及外盖体下端分别与下连接装置焊接固定，所述外盖体上设有进水孔，所述炉颈上设有出水口。本实用新型可以提高冷却效果。
文档编号C30B15/00GK201395642SQ20092003969
公开日2010年2月3日 申请日期2009年4月20日 优先权日2009年4月20日
发明者潘国强, 潘燕萍 申请人:潘燕萍;潘国强