专利名称：布线基板的制造方法以及布线基板的设计方法
布线基板的制造方法以及布线基板的设计方法技术领域
本文讨论的实施方式涉及一种布线基板的制造方法和设计方法，在这种布线基板 上，布线图案案形成在绝缘层上。
背景技术：
近年来，个人计算机和服务器等中使用的电气接口从并行接口迅速改变为串行接 口。例如，并行接口 PCI、ATA以及SCSI分别变为高速PCI、串行ATA以及串接式SCSI。此 外，串行接口的传输频率飞速增大。因此，要求进一步考虑材料特性来设计一种适于高传输 频率的布线基板。
参照附图给出了对于传统布线基板的示例的说明。图1是传统的布线基板的主要 部分的透明平面图。图2是传统的布线基板的主要部分的截面图。图2所示的布线图案案 12和绝缘树脂14在图1中没有示出。图2是沿着图1中的线B-B截取的截面图。
如图1和图2中所示，传统的布线基板100包括预浸材料(pr印reg)层11、布线图 案案12以及多个布线图案案130。这些布线图案案130被称为布线图案案130A至130D。
在布线基板100中，布线图案案12几乎形成在预浸材料层11的整个一个表面(第 一表面)1IA上。此外，布线图案案130形成在预浸材料层11的另一个表面(第二表面)1IB 的选定部分上。布线图案案130是导电体，预定的电信号流过布线图案案130。布线图案案 12是导电体，其充当流过布线图案案130的预定电信号的返回电路。
预浸材料层11包括绝缘树脂14和玻璃纤维布15。玻璃纤维布15被绝缘树脂14 所浸透(impregnate)。玻璃纤维布15包括在与X轴平行的方向上放置的玻璃纤维束16和 在与Y轴平行的方向上放置的玻璃纤维束17。玻璃纤维束16和玻璃纤维束17以格状方式 被平纹编织在一起。例如，玻璃纤维束16和17都是通过将宽度为几微米的多个玻璃纤维 捆扎在一起而形成的，从而玻璃纤维束16和17的宽度都约为几百微米。间隙部分15X是 玻璃纤维束16与17之间的间隙。间隙部分15X中填充有绝缘树脂14。
在预浸材料层11的第二表面IlB的平面图中，布线图案案130A形成在与其中一 个玻璃纤维束17交叠的位置处。在预浸材料层11的第二表面IlB的平面图中，布线图案 案130B形成在与上面形成有布线图案案130A的玻璃纤维束17邻近的间隙部分相交叠的 位置处。在预浸材料层11的第二表面IlB的平面图中，布线图案案130C和130D以对角方 式形成，从而不与玻璃纤维束16和17中的任何一个平行。也就是说，在预浸材料层11的 平面图中，布线图案案130A至130D包括形成在与玻璃纤维束16或17交叠的位置的部分 以及形成在间隙部分15X(它是形成在玻璃纤维束16和17之间的间隙)上的部分。
如表1所示，相对电容率和介电耗散因子根据布线图案案130(布线图案案130A 至130D)是位于玻璃纤维束16或17上还是位于间隙部分15X上而不同。当形成有布线图 案案的部分中的相对电容率发生很大变化时，阻抗和传播延迟时间也发生改变。当形成有 布线图案案的部分中的介电耗散因子发生很大变化时，插入损耗会增加。当阻抗发生变化、 介电耗散因子发生变化、插入损耗增加时，可能无法适当地在布线基板中实现高频信号传5输。因此，要使阻抗的变化、介电耗散因子的变化以及插入损耗的增加最小化。
[表 1]
布线图案案的位置相对电容率介电耗散因子在玻璃纤维束比或17上大小在间隙部分15X上小大
表1中的信息适用于布线图案案130A和130B。布线图案案130A仅形成在玻璃纤 维束17 (平面图中与玻璃纤维束17交叠的位置)上。因此，相对电容率和介电耗散因子是 固定的，在形成有布线图案案130A的部分中不发生变化。因此，在布线图案案130A中，阻 抗或者介电耗散因子不发生变化，插入损耗降低，从而以良好的性能实现了高频信号传输。 因此，布线图案案130A位于理想位置。
然而，布线图案案130B形成在玻璃纤维束16或17 (平面图中与玻璃纤维束16或 者I7交叠的位置)上以及间隙部分15X(平面图中与间隙部分15X交叠的位置)上。因此， 布线图案案130B交替地经过相对电容率较大且介电耗散因子较小的部分以及相对电容率 较小且介电耗散因子较大的部分。因此，当电流流经布线图案案130B时，阻抗和传播延迟 时间发生变化，插入损耗增加，从而以较差的性能实现了高频信号传输。
布线图案案130A和130B被用于发送差分信号的情况是存在的。差分信号包括 POS信号和通过对POS信号取反(invert)而得到的NEG信号，特别用于高频信号传输。例 如，POS信号流经布线图案案130A，而NEG信号流经平行于布线图案案130A放置的布线图 案案130B。如果布线图案案130A和130B的阻抗变化、传播延迟时间变化以及插入损耗都 相同，则以良好的性能实现了高频信号传输。
然而，如上所述，在布线图案案130A中，阻抗或者传播延迟时间没有变化，并且插 入损耗较小。而在布线图案案130B中，阻抗或者传播延迟时间发生变化，并且插入损耗较 大。于是，如果布线图案案130A和130B被用于传输差分信号，则布线图案案130A和130B 之间的平衡(P0S信号和NEG信号之间的平衡)被打乱，因此，所实现的高频信号传输的性 能较差。类似地，当布线图案案130C和130D被用于传输差分信号时，布线图案案130C和 130D之间的平衡(P0S信号和NEG信号之间的平衡)被打乱，因此，所实现的高频信号传输 的性能较差。
如上所述，当两个布线图案案被用于传输差分信号，但是仅其中一个布线图案案 位于高频信号传输的理想位置时，不能以良好的性能实现高频信号传输。也就是说，当布 线图案案被用于传输差分信号时，两个平行的布线图案案均位于高频信号传输的理想位置 处，从而以良好的性能实现高频信号传输。“高频信号传输的理想位置”意味着在预浸材料 层11的平面图中，布线图案案仅形成与玻璃纤维布15交叠的位置上(即，不在与任何间隙 交叠的位置上)。
接着讨论布线图案案130C和130D。与布线图案案130B类似，布线图案案130C和 130D形成在玻璃纤维束16或17上(平面图中与玻璃纤维束16或17交叠的位置)以及 间隙部分15X上(平面图中与间隙部分15X交叠的位置)。因此，布线图案案130C和130D均交替地经过相对电容率较大且介电耗散因子较小的部分以及相对电容率较小且介电耗 散因子较大的部分。然而，相比布线图案130B的情况，形成有布线图案130C和130D的位 置包括更多的与玻璃纤维束16或17交叠的部分以及更少的与间隙部分15X交叠的部分。 因此，就传播延迟时间而言，布线图案130C和130D之间的差异小于布线图案130A和130B 之间的差异。因此，相比布线图案130A和130B，利用布线图案130C和130D所实现的高频 信号传输具有更好的特性。
因此，在传统的布线基板中，通过以相对于平面图中的玻璃纤维束的水平方向和 垂直方向的对角方向来布置布线图案，减小了布线图案之间的传播延迟时间的差异(例 如，参见日本特许专利申请No. 2008-171834)。
在上述传统的(具有对角布线图案的)布线基板中，布线图案的更多部分(相比 水平或垂直对角的布线图案)位于与玻璃纤维交叠的位置上；然而，仍然剩余有布线图案 位于玻璃纤维之间的间隙上的部分。相对电容率和介电耗散因子对于布线基板的玻璃纤维 上的部分和间隙上的部分是不同的。因而，当布线图案同时位于玻璃纤维和玻璃纤维之间 的间隙上并且电流流经这样的布线图案时，可能无法充分地减弱阻抗变化、传播延迟时间 变化以及插入损耗。发明内容
因此，本发明一方面的目的是提供一种布线基板的制造方法和布线基板的设计方 法，借此当电流流经布线图案时，可以充分减弱阻抗变化、传播延迟时间变化以及插入损耗。
根据本发明的一方面，一种制造布线基板的方法包括以下步骤在包括第一玻 璃纤维布的第一绝缘层上形成导电层；在该导电层上形成光致抗蚀剂(photosensitive resist)层；识别第一绝缘层上的第一原点位置；按照相对于第一原点位置来定位的方式 在该抗蚀剂层上形成掩模，该掩模的形成使得将布线图案仅定位在平面图中与第一玻璃纤 维布交叠的位置上；以及经由该掩模来对该抗蚀剂层进行曝光，从而仅在该平面图中与第 一玻璃纤维布交叠的位置上形成布线图案。
根据本发明的一方面，一种设计布线基板的方法包括以下步骤获取与包括在第 一绝缘层中的第一玻璃纤维布有关的第一信息，其中，第一绝缘层邻近布线图案；在第一绝 缘层上确定第一原点位置；基于在获取第一信息的步骤中获取的第一信息来计算第一玻璃 纤维布的相对于第一原点位置的第一区域；以及将第一玻璃纤维布的第一区域确定为能够 形成所述布线图案的布线图案布局区域。
图1是传统布线基板的主要部分的平面透视图2是传统布线基板的主要部分的截面图3是根据本发明第一实施方式的布线基板的主要部分的平面透视图4是根据本发明第一实施方式的布线基板的主要部分的截面图5是根据本发明第一实施方式的布线基板的主要部分的立体透视图6示出了根据本发明第一实施方式的布线基板与传统布线基板之间的S参数的插入损耗的差异的示例；
图7A和图7B示出了 POS信号与NEG信号之间的偏移的示例；
图8是包括四层的布线基板的示例的截面图9是用来设计和制造根据本发明第一实施方式的布线基板的布线设计/制造系 统的框图10是图9所示的布线设计支持模块的功能框图11是设计布线基板的流程图12用来说明布线基板的原点；
图13示出了将绝缘层分为多个区域并形成布线图案的示例；
图14是制造布线基板的流程图15示出了制造根据本发明第一实施方式的布线基板的过程(第1部分)；
图16示出了制造根据本发明第一实施方式的布线基板的过程(第2部分)；
图17示出了制造根据本发明第一实施方式的布线基板的过程(第3部分)；
图18示出了制造根据本发明第一实施方式的布线基板的过程(第4部分)；
图19A至19E示出了制造根据本发明第一实施方式的布线基板的过程(第5部 分)；
图20示出了制造根据本发明第一实施方式的布线基板的过程(第6部分)；
图21是根据本发明第二实施方式的布线基板的主要部分的平面透视图22是根据本发明第二实施方式的布线基板的主要部分的截面图23是根据本发明第三实施方式的布线基板的主要部分的截面图。
具体实施方式
下面将参照附图来说明本发明的优选实施方式。
(第一实施方式)
图3是根据本发明第一实施方式的布线基板的主要部分的平面透视图。图4是根 据本发明第一实施方式的布线基板的主要部分的截面图。图5是根据本发明第一实施方式 的布线基板的主要部分的立体透视图。图4所示的布线图案12和绝缘树脂14没有在图3 或图5中示出。图4是沿着图3的线A-A截取的截面图。
如图3至图5所示，布线基板10包括预浸材料层11、布线图案12，以及多个布线 图案13。布线图案12几乎形成在预浸材料层11的整个第一表面IlA上。此外，布线图案 13形成在预浸材料层11的第二表面IlB的选定部分上。布线图案13是导电体，预定的电 信号流经布线图案13。布线图案12是导电体，其充当流经布线图案13的预定电信号的返 回电路。形成布线图案12和13的材料不受特别的限制，只要能形成导电体即可。例如，布 线图案12和13可以由铜、铝、金、银等制成。
预浸材料层11包括绝缘树脂14和玻璃纤维布15。玻璃纤维布15被绝缘树脂14 浸透。绝缘树脂14可由诸如环氧树脂、聚酰亚胺树脂、聚酯树脂等材料制成。绝缘树脂14 可包括诸如硅土、矾土等填料。
玻璃纤维布15包括以间距评2布置在与X轴平行的方向上的宽度为W1的玻璃纤维 束16和以间距W4布置在与Y轴平行的方向上的宽度为W3的玻璃纤维束17。玻璃纤维束16和玻璃纤维束17以格状方式平纹编织在一起。例如，玻璃纤维束16和17都是通过将宽 度为几微米的多个玻璃纤维捆扎在一起而形成的，从而玻璃纤维束16和17的宽度均约为 几百微米。间隙部分15X是玻璃纤维束16与17之间的间隙。间隙部分15X中填充了绝缘 树脂14。
在图3至图5所示的示例中，预浸材料层11包括玻璃纤维束16和17 ；然而，预浸 材料层11可以包括除玻璃纤维束16和17之外的任意种类的纤维束。通过将多个纤维捆 扎在一起来形成纤维束。玻璃纤维束之外的纤维束的示例是碳纤维束、聚酯纤维束、特普 (Tetron)纤维束、尼龙(nylon)纤维束、芳纶(aramid)纤维束等。编织纤维束的方法不限 于平纹；可以通过缎纹(sateen weaving)、斜纹(twill weaving)等来编织纤维束。可以 按90度之外的角度来交织纤维束。
在布线基板10中，布线图案13仅形成在预浸材料层11的第二表面IlB的平面图 中与玻璃纤维布15的任意部分交叠的位置上；在该平面图中与玻璃纤维布15的间隙部分 15X交叠的任意位置都没有形成布线图案13。于是，当电流流经布线基板10的布线图案13 时，相比传统的布线基板，阻抗变化、传播延迟时间变化以及插入损耗都进一步得到减轻。 考虑到位置偏移，将布线图案13布置成，使得布线图案13的宽度方向(横向方向)的中心 大致与玻璃纤维束16或17的宽度方向(横向方向)的中心一致。顺便提及，平面图意味 着沿着图3至图5所示的Z轴从正方向朝负方向(或者从负方向朝正方向)的视图。
如以上背景技术部分中所述，在传统的布线基板中，当在平面图中相对于水平和 垂直玻璃纤维束成对角地布置布线图案时，布线图案的更多部分(相比水平和垂直布线图 案)位于与玻璃纤维交叠的位置上。然而，仍然剩余有其中布线图案位于玻璃纤维之间的 间隙上的其它部分。因而，当电流流经这样的布线图案时，可能无法充分地减弱阻抗变化、 传播延迟时间变化以及插入损耗。
然而，在根据本发明第一实施方式的布线基板10中，布线图案一直是仅形成在平 面图中与玻璃纤维布15的任意部分交叠的位置上。于是，无论布线图案13是否被用于传 输差分信号，只要电流流经布线图案13，阻抗变化、传播延迟时间变化以及插入损耗就被稳 定地、显著地减弱。因此，可以以良好的性能来稳定地实现高频信号传输。
以下给出根据本发明第一实施方式的布线基板与传统布线基板之间的特性差异 的示例。图6示出了根据本发明第一实施方式的布线基板与传统布线基板之间的S参数的 插入损耗的差异的示例。在图6中，A表示根据本发明第一实施方式的布线基板的S参数 的插入损耗，而B表示传统布线基板的S参数的插入损耗。在图6中，插入损耗朝着箭头指 示的方向变大。如图6所示，相比传统的布线基板的情况，在根据本发明第一实施方式的布 线基板的情况下，随着频率增大，减小插入损耗的效果变强。
图7A和图7B示出了 POS信号和NEG信号之间的偏移的示例。图7A示出了传统 布线基板的偏移，而图7B示出了根据本发明第一实施方式的布线基板的偏移。就(P0S信 号与NEG信号之间的)响应时间而言，偏移对应于输入脉冲信号之间的差异。具体而言，脉 冲信号在用于传输差分信号的布线图案中的电压VL和电压VH之间保持有效(stand up)。 以1/2X (VH-VL)的电压来定义响应时间的差异。
如上所述，在传统的布线基板中，用于传输差分信号的布线图案之间的平衡(P0S 信号与NEG信号之间的平衡)被破坏。因此，因此，如图7A所示，出现了偏移。然而，在根据本发明第一实施方式的布线基板中，布线图案仅形成在平面图中与玻璃纤维束交叠的位 置上。于是，不会破坏用于传输差分信号的布线图案之间的平衡(P0S信号和NEG信号之间 的平衡)。因此，如图7B所示，不会出现偏移。在图7B中，POS信号波形和NEG信号波形彼 此完全一致。偏移导致公共模式噪声，因此，优选地防止出现偏移。从而，相比出现偏移的 传统布线基板，在不出现偏移的根据本发明第一实施方式的布线基板中以更好的性能执行 高频信号传输。
在根据本发明第一实施方式的布线基板的以上说明中，图3等的布线基板10包括 两个布线层。然而，根据本发明第一实施方式的布线基板不限于包括两个层；布线基板中可 以包括η层(η为自然数)。对图8所示的包括四层的布线基板20Α进行补充说明。在图8 中，与图4中的要素相对应的要素用相同的标号来表示，不作进一步说明。
在布线基板20Α中，在图4所示的布线基板10上依次层压了核心层21、布线图案 32、预浸材料层31以及布线图案33。布线图案32几乎形成在整个核心层21上，而布线图 案33形成在预浸材料层31的选定部分上。布线图案33是导电体，预定的电信号流经布线 图案33。布线图案32是导电体，其充当流经布线图案33的预定电信号的返回电路。形成 布线图案32和33的材料不受特别的限制，只要能形成导电体即可。例如，布线图案32和 33可以由铜、铝、金、银等制成。
核心层21是包括绝缘树脂M和玻璃纤维布25Α的绝缘层。绝缘树脂M可由诸 如环氧树脂、聚酰亚胺树脂、聚酯树脂等材料制成。绝缘树脂M可包括诸如硅土、矾土等填 料。
预浸材料层31是包括绝缘树脂34和玻璃纤维布35的绝缘层。绝缘树脂34可由 诸如环氧树脂、聚酰亚胺树脂、聚酯树脂等材料制成。绝缘树脂34可包括诸如硅土、矾土等 填料。
与玻璃纤维布15类似，玻璃纤维布25Α也包括以预定间距布置在与X轴平行的方 向上的具有预定宽度的玻璃纤维束26Α和以预定间距布置在与Y轴平行的方向上的具有 预定宽度的玻璃纤维束27Α。玻璃纤维束26Α和玻璃纤维束27Α以格状方式平纹编织在一 起。与玻璃纤维布15类似，玻璃纤维布35也包括以预定间距布置在与X轴平行的方向上 的具有预定宽度的玻璃纤维束36和以预定间距布置在与Y轴平行的方向上的具有预定宽 度的玻璃纤维束37。玻璃纤维束36和玻璃纤维束37以格状方式平纹编织在一起。然而， 在玻璃纤维布25Α中，邻近玻璃纤维束27Α之间的间隔不同于邻近玻璃纤维束17之间的间 隔W4。
如上所述，当两个绝缘层(预浸材料层11和核心层21)邻近布线图案13时，仅在 平面图中与包括在这两个邻近绝缘层中的玻璃纤维布15和玻璃纤维布25A 二者都交叠的 位置上形成布线图案13。因此，当电流流经布线图案13时，阻抗变化、传播延迟时间变化以 及插入损耗得到减轻。
在图8的示例中，只要在平面图中与邻近绝缘层中的玻璃纤维布15和玻璃纤维布 25A 二者都交叠的位置上形成布线图案13，玻璃纤维束26A的宽度和玻璃纤维束16的宽度 就会不相等。此外，玻璃纤维束27A的宽度和玻璃纤维束17的宽度也会不相等。
接下来对根据本发明第一实施方式的布线基板10的设计方法和制造方法进行说 明，其中，仅在平面图中与玻璃纤维布交叠的位置上形成布线图案。首先，对设计并制造布10线基板的布线设计/制造系统进行说明。接着来说明布线基板的设计方法和制造方法。
图9是用来设计和制造根据本发明第一实施方式的布线基板的布线设计/制造系 统的框图。如图9所示，布线设计/制造系统90包括布线设计设备91、布线基板制造支持 模块92以及布线基板制造系统93。
布线设计设备91用来将布线图案布置在布线基板的预定绝缘层的选定位置。布 线设计设备91包括数据库95和布线设计支持模块96。数据库95具备存储与布线基板(设 计目标)有关的各种信息的功能。各种信息的示例是如表2所示的与包括在布线基板中的 玻璃纤维布有关的信息(绝缘层的厚度、玻璃纤维束的宽度和间隔)，以及如表3所示的与 布线基板的层结构有关的信息。表3示出了包括八个层的布线基板的示例，而“V/G”表示 电源或地(GND)。
[表 2]
权利要求
1.一种制造布线基板的方法，该方法包括以下步骤在包括第一玻璃纤维布的第一绝缘层上形成导电层；在该导电层上形成光致抗蚀剂层；识别第一绝缘层上的第一原点位置；按照相对于该第一原点位置来定位的方式在该光致抗蚀剂层上形成掩模，该掩模的形 成使得将布线图案仅定位在平面图中与第一玻璃纤维布交叠的位置上；以及经由该掩模来对该光致抗蚀剂层进行曝光，仅在平面图中与该第一玻璃纤维布交叠的 位置上形成该布线图案。
2.根据权利要求1所述的方法，该方法还包括以下步骤层叠包括第二玻璃纤维布的第二绝缘层，从而覆盖第一绝缘层上的所述布线图案，其中所述层叠第二绝缘层的步骤包括以下处理识别第一绝缘层上的第一原点位置和第二 绝缘层上的第二原点位置；以及将第二绝缘层层叠在第一绝缘层上，使得第二绝缘层的第 二原点位置与第一绝缘层的第一原点位置相一致，并且对光致抗蚀剂层进行曝光并形成布线图案的步骤包括以下处理仅在与第一绝缘层中 包括的第一玻璃纤维布以及第二绝缘层中包括的第二玻璃纤维布二者都交叠的位置上形 成所述布线图案。
3.根据权利要求1所述的方法，其中，识别第一原点位置的步骤包括以下处理通过向第一绝缘层照射X射线来识别第一原 点位置。
4.根据权利要求2所述的方法，其中，层叠第二绝缘层的步骤包括以下处理通过向第一绝缘层和第二绝缘层照射X射线来 识别第一原点位置和第二原点位置。
5.根据权利要求1所述的方法，该方法还包括以下步骤测量第一玻璃纤维布相对于第一绝缘层中的第一原点位置的位置的坐标，并且基于该 坐标来识别第一玻璃纤维布的区域，其中，测量坐标的步骤是在形成导电层的步骤之前执 行的；获取与所述布线图案相对于第一原点位置所处的位置有关的设计信息；以及基于在测量坐标的步骤中识别的第一玻璃纤维布的所述区域以及在获取与所述布线 图案所处的位置有关的设计信息的步骤中获取的所述设计信息，来确定是否能够仅在所述 平面图中与第一玻璃纤维布交叠的位置上形成所述布线图案。
6.根据权利要求5所述的方法，其中，测量坐标的步骤包括通过以下操作来识别第一玻璃纤维布的所述区域的处理通过向 第一绝缘层上照射X射线来对第一玻璃纤维布进行图像识别，并且测量第一玻璃纤维布中 的所有交点的坐标。
7.根据权利要求5所述的方法，其中，确定是否能够仅在平面图中与第一玻璃纤维布交叠的位置上形成所述布线图案的步 骤包括以下处理如果确定为不能够仅在所述平面图中与第一玻璃纤维布交叠的位置上形 成所述布线图案，则修正所述设计信息的一部分，使得能够仅在平面图中与第一玻璃纤维布交叠的位置上形成所述布线图案，并且基于修正后的设计信息来制造在光致抗蚀剂层上 形成掩模的步骤中以及对光致抗蚀剂层进行曝光并形成布线图案的步骤中使用的所述掩 模。
8.根据权利要求5所述的方法，其中，如果确定为能够仅在平面图中与第一玻璃纤维布交叠的位置上形成所述布线图案，则 执行形成导电层的步骤、形成光致抗蚀剂层的步骤、识别第一原点位置的步骤、在光致抗蚀 剂层上形成掩模的步骤，以及对光致抗蚀剂层进行曝光并形成布线图案的步骤。
9.根据权利要求5所述的方法，该方法还包括以下步骤确定是否能够通过在不改变平行布线图案之间的间距的情况下移动该平行布线图案， 而仅在平面图中与第一玻璃纤维布交叠的位置上形成所述布线图案，该确定步骤是基于在 测量坐标的步骤中识别的第一玻璃纤维布的所述区域以及在获取与所述布线图案所处的 位置有关的设计信息的步骤中获取的所述设计信息来进行的，当所述布线图案包括用来传输差分信号的平行布线图案并且确定为不能够仅在平面 图中与第一玻璃纤维布交叠的位置上形成所述布线图案时，执行所述确定是否能够通过在 不改变平行布线图案之间的间距的情况下移动该平行布线图案，而仅在平面图中与第一玻 璃纤维布交叠的位置上形成所述布线图案的步骤。
10.根据权利要求9所述的方法，其中，所述确定是否能够仅在平面图中与第一玻璃纤维布交叠的位置上形成所述布线图案 的步骤包括以下处理当确定为不能在不改变所述平行布线图案之间的间距的情况下仅在 平面图中与第一玻璃纤维布交叠的位置上形成所述布线图案时，修正所述设计信息的一部 分以改变所述平行布线图案之间的间距，使得能够仅在平面图中与第一玻璃纤维布交叠的 位置上形成所述布线图案，并且基于修正后的设计信息来制造在光致抗蚀剂层上形成掩模 的步骤中以及对光致抗蚀剂层进行曝光并形成布线图案的步骤中使用的掩模。
11.根据权利要求9所述的方法，其中，所述确定是否能够仅在平面图中与第一玻璃纤维布交叠的位置上形成所述布线图案 的步骤包括以下处理当确定为能够在不改变所述平行布线图案之间的间距的情况下仅在 平面图中与第一玻璃纤维布交叠的位置上形成所述布线图案时，修正所述设计信息的一部 分，而不改变所述平行布线图案之间的间距，使得能够仅在所述平面图中与第一玻璃纤维 布交叠的位置上形成所述布线图案，并且基于修正后的设计信息来制造在光致抗蚀剂层上 形成掩模的步骤中以及对光致抗蚀剂层进行曝光并形成布线图案的步骤中使用的掩模。
12.根据权利要求10所述的方法，其中，以最小量在预先设置的允许范围内改变所述间距。
13.一种设计布线基板的方法，该方法包括以下步骤获取与包括在第一绝缘层中的第一玻璃纤维布有关的第一信息，其中，第一绝缘层邻 近布线图案；在第一绝缘层上确定第一原点位置；基于在获取第一信息的步骤中获取的第一信息来计算第一玻璃纤维布的相对于第一 原点位置的第一区域；以及将第一玻璃纤维布的第一区域确定为能够形成所述布线图案的布线图案布局区域。
14.根据权利要求13所述的方法，该方法还包括以下步骤获取与包括在第二绝缘层中的第二玻璃纤维布有关的第二信息，其中，第二绝缘层邻 近所述布线图案；在第二绝缘层上确定第二原点位置；以及基于在获取第二信息的步骤中获取的第二信息来计算第二玻璃纤维布的相对于第二 原点位置的第二区域，其中，将第一区域确定为布线图案布局区域的步骤包括以下处理将下述的交叠区域确定为 能够形成所述布线图案的所述布线图案布局区域，该交叠区域是当第二绝缘层被层叠在第 一绝缘层上、使得第二绝缘层的第二原点位置与第一绝缘层的第一原点位置相一致时，包 括在第二绝缘层中的第二玻璃纤维布与包括在第一绝缘层中的第一玻璃纤维布在平面图 中彼此交叠的区域。
15.根据权利要求13所述的方法，其中，获取第一信息的步骤包括以下处理获取与包括在第一玻璃纤维布中的第一纤维束的 第一宽度以及包括在第一玻璃纤维布中的第一纤维束之间的第一间隔有关的第一信息。
16.根据权利要求14所述的方法，其中，获取第二信息的步骤包括以下处理获取与包括在第二玻璃纤维布中的第二纤维束的 第二宽度以及包括在第二玻璃纤维布中的第二纤维束之间的第二间隔有关的第二信息。
全文摘要
本发明公开了布线基板的制造方法以及布线基板的设计方法。该布线基板的制造方法包括以下步骤在包括第一玻璃纤维布的第一绝缘层上形成导电层；在该导电层上形成光致抗蚀剂层；识别该第一绝缘层上的第一原点位置；按照相对于该第一原点位置来定位的方式在该光致抗蚀剂层上形成掩模，该掩模的形成使得将布线图案仅定位在平面图中与该第一玻璃纤维布交叠的位置上；以及经由该掩模来对该光致抗蚀剂层进行曝光，仅在该平面图中与该第一玻璃纤维布交叠的位置上形成该布线图案。
文档编号H05K1/03GK102036482SQ20101029272
公开日2011年4月27日 申请日期2010年9月20日 优先权日2009年10月5日
发明者须和田诚 申请人:富士通株式会社