专利名称：单晶炉的籽晶提拉旋转机构的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及单晶炉装置领域，尤其是一种单晶炉的籽晶提拉旋转机构。
背景技术：
传统的单晶硅炉主要用于生产硅半导体材料，单晶硅炉包括硅半导体材料生长合 成的主炉室、位于主炉室上端的硅籽晶提升结构和电控自动糸统。传统的单晶硅炉的硅籽 晶提升结构采用硬轴旋转和提拉，从而使中心轴较长，造成设备高度较大较高，且旋转提拉 稳定性差，造成产品正品率低，使用制作成本高，维修麻烦。
发明内容本实用新型针对上述技术中存在的缺点，提供一种单晶炉的籽晶提拉旋转机构， 它具有提拉平稳的优点，克服了上述技术中存在的不足之处。实现本实用新型目的的技术方案如下单晶炉的籽晶提拉旋转机构，它包括驱动电机以及由驱动电机驱动的箱体，箱体 内包括两个转轴，一个转轴随电机转动，该转轴上固定有卷轮，卷轮侧面设有片状齿轮，卷 轮上设有钢丝绳，另一个转轴上设有配重块，该配重块与片状齿轮通过齿啮合连接，钢丝绳 下端设有连接体，连接体与重锤连接，重锤端部设有用于夹持籽晶的卡头。所述的箱体上设有阻尼套出线口，钢丝绳从该阻尼套出线口穿出与连接体连接。所述的连接体内设有小电机，该小电机通过联轴器与重锤连接。采用了上述方案，钢丝绳代替了硬轴大大降低了设备的高度，采用配重块的配合， 使得卷轮在卷钢丝时不会一边侧重，是配重块起到平衡、稳定的作用。本实用新型的好处是能用简单的结构实现旋转提拉稳定性好，降低设备高度达 90%，达到理想的使用效果，大幅度提高了产品的正品率，且结构简单，制作使用成本低，维 修和使用简便效果好。
图1为本实用新型的结构示意图；图2为图1的俯视图。
具体实施方式
如图1、图2所示，单晶炉的籽晶提拉旋转机构，它包括驱动电机1以及由驱动电机 1驱动的箱体6，箱体6内包括两个转轴，一个转轴4随电机转动，该转轴4上固定有卷轮2， 卷轮2侧面设有片状齿轮3，卷轮2上设有钢丝绳8，另一个转轴41上设有与其螺纹连接的 配重块5，该配重块5与片状齿轮3通过齿啮合连接，钢丝绳8下端设有连接体9，连接体9 由它内部设置的小电机10通过联轴器与重锤11连接，重锤11端部设有用于夹持籽晶的卡 头12，箱体6上设有阻尼套出线口 7，钢丝绳8从该阻尼套出线口 7穿出与连接体9连接，工作时驱动电机1驱动转轴4转动，使卷轮3收放钢丝，卷轮3转动时，片状齿轮3也转动， 片状齿轮3带动配重块5在转轴41上转动，远离和接近卷轮3，使整个机构达到平衡。
权利要求1.单晶炉的籽晶提拉旋转机构，其特征在于它包括驱动电机以及由驱动电机驱动的 箱体，箱体内包括两个转轴，一个转轴随电机转动，该转轴上固定有卷轮，卷轮侧面设有片 状齿轮，卷轮上设有钢丝绳，另一个转轴上设有配重块，该配重块与片状齿轮通过齿啮合连 接，钢丝绳下端设有连接体，连接体与重锤连接，重锤端部设有用于夹持籽晶的卡头。
2.根据权利要求1所述的单晶炉的籽晶提拉旋转机构，其特征在于所述的箱体上设 有阻尼套出线口，钢丝绳从该阻尼套出线口穿出与连接体连接。
3.根据权利要求1所述的单晶炉的籽晶提拉旋转机构，其特征在于所述的连接体内 设有小电机，该小电机通过联轴器与重锤连接。
专利摘要本实用新型涉及单晶炉装置领域，尤其是一种单晶炉的籽晶提拉旋转机构。它包括驱动电机以及由驱动电机驱动的箱体，箱体内包括两个转轴，一个转轴随电机转动，该转轴上固定有卷轮，卷轮侧面设有片状齿轮，卷轮上设有钢丝绳，另一个转轴上设有配重块，该配重块与片状齿轮通过齿啮合连接，钢丝绳下端设有连接体，连接体与重锤连接，重锤端部设有用于夹持籽晶的卡头。本实用新型的好处是能用简单的结构实现旋转提拉稳定性好，降低设备高度达90％，达到理想的使用效果，大幅度提高了产品的正品率，且结构简单，制作使用成本低，维修和使用简便效果好。
文档编号C30B15/30GK201817575SQ20102052569
公开日2011年5月4日 申请日期2010年9月13日 优先权日2010年9月13日
发明者陈荣兴 申请人:江苏创大光伏科技有限公司