专利名称：一种抽真空装置的制作方法
技术领域：
本实用新型属于真空设备技术领域，特别涉及一种光伏产业中多晶炉工艺所需要的抽真空装置。
背景技术：
目前，多晶炉生产工艺中，拉一炉多晶硅，抽真空装置一般要运行50小时，其中抽真空至彡3Pa后运行约6小时左右，其余44小时的保压阶段压力维持在约6 X 104Pa。常规的抽真空装置，就采用一套罗茨泵油旋片泵真空机组(粗抽泵+罗茨泵组合)，因为二者的压差相差很大，在抽真空阶段，抽真空装置是全负荷工作，而在占绝大部分时间的保压阶段， 罗茨泵油旋片泵真空机组的能力显得很富裕，也即利用率低。
实用新型内容为了解决常规设备技术中存在的不足，本实用新型所要解决的技术问题是提供一种有效节约电力能源，根据罗茨 泵油旋片泵真空机组与油旋片真空泵根据拉晶工艺中不同时间段对真空度的不同要求，可以进行分段使用的装置。本实用新型解决上述技术问题的技术方案如下一种抽真空装置，包括罗茨泵油旋片泵真空机组，油旋片真空泵，三个真空阀，真空计，罗茨泵油旋片泵真空机组与第一真空阀的进口经过真空管道相连接并且在二者相连接的真空管道上装有真空计，油旋片真空泵与第二真空阀的进口经过真空管道相连接，第一真空阀与第二真空阀的出口经过真空管道相连接后与第三真空阀的进口经过真空管道相连接，第三真空阀的出口与多晶炉的进口经过真空管道相连接。本实用新型的有益效果是在拉晶工艺中，抽真空过程利用罗茨泵油旋片泵真空机组，有效发挥其强大的抽气能力；在充氩保压阶段，采用低能耗的油旋片真空泵来实现。 因此本抽真空装置具有有效节约电力能源、降低油旋片真空泵的损耗等特点。在上述技术方案的基础上，本实用新型还可以做如下改进。进一步，所述油旋片真空泵与罗茨泵油旋片泵真空机组分别通过一个独立的真空阀与多晶炉相连接，或者共同通过一个三通阀与多晶炉相连接。进一步，所述罗茨泵油旋片泵真空机组包括罗茨泵和油旋片真空泵。进一步，所述油旋片真空泵的排气口还连接有油雾过滤器。采用上述进一步方案的有益效果是节省了独立真空阀的个数以及真空管道，控制更加方便简洁。
图I为本实用新型一种应用于拉晶工艺中的抽真空装置的结构框图；附图中，各标号所代表的部件列表如下I、油旋片真空泵，2、罗茨泵油旋片泵真空机组，3、第二真空阀，4、油雾过滤器，5、多晶炉，6、第一真空阀，7、第三真空阀，8、真空计。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型的原理和特征进行描述，所举实例只用于解释本实用新型，并非用于限定本实用新型的范围。实施例I如图I所示，罗茨泵油旋片泵真空机组2与第一真空阀6的进口经过真空管道相连接并且二者相连接的管道上还装有真空计8，油旋片真空泵I与第二真空阀3的进口经过真空管道相连接，第一真空阀 6与第二真空阀 3的出口经过真空管道相连接后与第三真空阀7的进口经过真空管道相连接，第三真空阀7的出口与多晶炉5的进口经过真空管道相连接，两个油旋片真空泵I的排气口都分别与油雾过滤器4相连接，并且装置的各个部件间都是经过真空管道相连接。 罗茨泵油旋片泵真空机组包括罗茨泵和油旋片真空泵，它的作用是在抽真空阶段对真空炉装置进行抽真空。油旋片真空泵在充氩保压阶段为装置进行保压。油旋片真空泵的排气口上连接有油雾过滤器的作用是过滤从真空泵排气口排出的油烟，并将从油烟过滤下来的泵油回收到真空泵内，以节约泵油，净化空气。以上所述仅为本实用新型的较佳实施例，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
权利要求1.一种抽真空装置，包括罗茨泵油旋片泵真空机组，油旋片真空泵，三个真空阀，真空计，其特征在于罗茨泵油旋片泵真空机组与第一真空阀的进口经过真空管道相连接并且在二者相连接的真空管道上装有真空计，油旋片真空泵与第二真空阀的进口经过真空管道相连接，第一真空阀与第二真空阀的出口经过真空管道相连接后与第三真空阀的进口经过真空管道相连接，第三真空阀的出口与多晶炉的进口经过真空管道相连接。
2.根据权利要求I所述的一种抽真空装置，其特征在于所述油旋片真空泵与罗茨泵油旋片泵真空机组分别通过一个独立的真空阀与多晶炉相连接，或者共同通过一个三通阀与多晶炉相连接。
3.根据权利要求I所述的一种抽真空装置，其特征在于所述罗茨泵油旋片泵真空机组包括罗茨泵和油旋片真空泵。
4.根据权利要求I所述的抽真空装置，其特征在于所述油旋片真空泵的排气口还连接有油雾过滤器。
专利摘要本实用新型涉及真空设备技术领域，特别涉及一种光伏产业中多晶炉工艺所需要的抽真空装置。包括罗茨泵油旋片泵真空机组，油旋片真空泵，真空阀，真空计。本实用新型在抽真空过程中利用罗茨泵油旋片泵真空机组对工件或真空箱进行抽真空；在充氩保压阶段，采用低能耗的油旋片真空泵来实现装置的保压，具有有效节约电力能源、降低油旋片真空泵的损耗等特点。
文档编号C30B35/00GK202465952SQ20112055088
公开日2012年10月3日 申请日期2011年12月26日 优先权日2011年12月26日
发明者深浦裕治 申请人:宁波爱发科真空技术有限公司