一种砷化镓基多晶无液封合成装置制造方法
【专利摘要】本发明一种砷化镓基多晶无液封合成装置提供一种包括合成炉体和位于所述合成炉体内的石墨系统，石墨系统包括保温单元、加热单元和合成单元，所述保温单元包括石墨保温罩和石墨保温桶，所述加热单元包括电极、加热器和外围温控电路，所述合成单元、以及所述加热单元中的电极和加热器位于所述保温单元的内部，所述加热单元中的加热器和电极位于所述合成单元外围中下部，所述合成单元包括石墨坩埚盖、石墨坩埚和氮化硼坩埚，其特征在于，所述石墨系统还包括使所述合成单元升降转动的运动单元，所述运动单元与所述合成单元、所述合成炉体相连接；所述石墨坩埚和所述石墨坩埚盖在连接处设计有互相啮合的台阶形状。
【专利说明】一种砷化镓基多晶无液封合成装置
【技术领域】
[0001 ] 本发明涉及一种砷化镓基多晶的无液封接合成装置。
【背景技术】
[0002]近年以来，随着电子设备的迅速发展，越来越多半导体材料应用在光电器件中，例如砷化镓基多晶等半导体材料，而砷化镓基多晶等半导体材料在自然界中没有，需要人工合成来获得，但是目前现有的砷化镓基多晶的合成工艺存在着众多缺陷和不便，并且其合成工艺流程复杂，合成的砷化镓基多晶的结晶性不好并且成品率较低。因此，寻找一种能够避免以上缺陷的无液封接合成装置成为目前最为迫切的需要。
【发明内容】
[0003]本发明提供一种砷化镓基多晶无液封合成装置，包括合成炉体和位于所述合成炉体内的石墨系统，石墨系统包括保温单元、加热单元和合成单元，所述保温单元包括石墨保温罩和石墨保温桶，所述加热单元包括电极、加热器和外围温控电路，所述合成单元、以及所述加热单元中的电极和加热器位于所述保温单元的内部，所述加热单元中的加热器和电极位于所述合成单元外围中下部，所述合成单元包括石墨坩埚盖、石墨坩埚和氮化硼坩埚，其特征在于，所述石墨系统还包括使所述合成单元升降转动的运动单元，所述运动单元与所述合成单元、所述合成炉体相连接；所述石墨坩埚和所述石墨坩埚盖在连接处设计有互相啮合的台阶形状。
【具体实施方式】
[0004]下面结合具体实施例，进一步阐述本发明。应理解，这些实施例仅用于说明本发明而不用于限制本发明的范围。此外应理解，在阅读了本发明讲授的内容之后，本领域技术人员可以对本发明作各种改动或修改，这些等价形式同样落于本申请所附权利要求书所限定的范围。
[0005]该砷化镓基多晶无液封合成装置，包括合成炉体和位于所述合成炉体内的石墨系统，石墨系统包括保温单元、加热单元和合成单元，所述保温单元包括石墨保温罩和石墨保温桶，所述加热单元包括电极、加热器和外围温控电路，所述合成单元、以及所述加热单元中的电极和加热器位于所述保温单元的内部，所述加热单元中的加热器和电极位于所述合成单元外围中下部，所述合成单元包括石墨坩埚盖、石墨坩埚和氮化硼坩埚，其特征在于，所述石墨系统还包括使所述合成单元升降转动的运动单元，所述运动单元与所述合成单元、所述合成炉体相连接；所述石墨坩埚和所述石墨坩埚盖在连接处设计有互相啮合的台阶形状。
【权利要求】
1.一种砷化镓基多晶无液封合成装置，包括合成炉体和位于所述合成炉体内的石墨系统，石墨系统包括保温单元、加热单元和合成单元，所述保温单元包括石墨保温罩和石墨保温桶，所述加热单元包括电极、加热器和外围温控电路，所述合成单元、以及所述加热单元中的电极和加热器位于所述保温单元的内部，所述加热单元中的加热器和电极位于所述合成单元外围中下部，所述合成单元包括石墨坩埚盖、石墨坩埚和氮化硼坩埚，其特征在于，所述石墨系统还包括使所述合成单元升降转动的运动单元，所述运动单元与所述合成单元、所述合成炉体相连接；所述石墨坩埚和所述石墨坩埚盖在连接处设计有互相啮合的台阶形状。
【文档编号】C30B29/42GK104328499SQ201410521834
【公开日】2015年2月4日 申请日期:2014年9月30日 优先权日:2014年9月30日
【发明者】刘振宇, 方清平 申请人:青岛康和食品有限公司