制造装置以及制造方法_3

文档序号:9820882阅读:来源:国知局
退的动作执行器414经支承部件416连接并支承在保持单元41L’上。支承部件416延伸设置在保持单元41L’的下方,动作执行器414被配置在保持单元41L’的下侧。抵接部件413和动作执行器414构成机械性地保持面板P2的夹紧机构。
[0095]在动作执行器414的杆部的端部经托架415连接了抵接部件413。动作执行器414在退避位置和保持位置之间使抵接部件413在载置部411的上面411a上进退。图7 (C)表示抵接部件413处于退避位置的情况,图7(D)表示抵接部件413处于保持位置的情况。
[0096]在本结构例中,由于动作执行器414与载置部411的上面411a相比位于下方,所以在由动作执行器414的驱动产生了粉尘的情况下,能够降低粉尘向被保持在上面411a上的面板P2的附着。
[0097]转动支承单元42L’的结构是基本上与转动支承单元42L同样的结构,是侧壁421以及上壁422的形状或大小不同的程度。在本结构例中,也是轴423贯通保持单元41L’,且被固定在保持单元41L’上,但也可以是保持单元41L’相对于轴423转动自由的结构。另夕卜,在转动支承单元42L’的一方侧部,设置了限制轴423的转动范围的机构(臂424以及2个挡块425)。
[0098]限制机构43L’的结构也基本上与限制机构43L相同,具备主体部431和从主体部431进退的杆部432,但相对于保持单元41L’的抵接部位不同。在本结构例中,在保持单元41L’的上面上固定了被配置成跨过抵接部件413的倒U字型的框体415。在限制保持单元41L’的转动的情况下,杆部432的前端(下端)与框体415的上面抵接。图7 (C)以及图7(D)表示杆部432处于限制位置的情况。载置部411的上面411a是水平,被保持的面板P2的端部以水平姿势被保持。
[0099]图8 (B)表示杆部432处于退避位置的情况。在处于退避位置的情况下,杆部432的前端(下端)从框体415的上面离开。保持单元41L’成为可自由转动的浮动状态,如该图所示,可采取保持单元41L’倾斜的姿势。在此情况下,被保持的面板P2的端部以倾斜的姿势被保持。
[0100]接着,主要参照图9以及图10,对保持单元41R、转动支承单元42R、限制机构43R以及升降机构44R进行说明。保持单元41R、转动支承单元42R、限制机构43R以及升降机构44R的结构基本上与上述的保持单元41L、转动支承单元42L、限制机构43L以及升降机构44L同样,对同样的结构附加相同的符号。
[0101]保持单元41R具备在Y方向突出的一对爪状的载置部411。载置部411在X方向离开地设置。另外,载置部411既可以是I个,也可以是3个以上。
[0102]在载置部411的上面411a上形成了吸附部412。吸附部412是在载置部411的上面411a上进行了开口的孔。形成在载置部411内的空气通路411b与此孔连通,空气通路411b与未图示的空气吸引装置连接。空气吸引装置例如是栗。保持单元41R通过从吸附部412吸引空气,对面板P2的下面进行负压吸引而吸附。上面411a被平坦、平滑地形成,由此,形成了紧密接触面板P2的面板保持面。
[0103]在本实施方式中,保持单元41R与保持单元41L不同,作为例子,列举了没有具备抵接部件413以及动作执行器414的结构的保持单元。但是,作为保持单元41R,当然也可以采用与保持单元41L相同的结构的保持单元。
[0104]转动支承单元42R是可转动地支承保持单元41R的倒U字型的单元。在本实施方式的情况下,相对于一个保持单元41R设置了一个转动支承单元42R,但也可以是由一个转动支承单元42R支承多个保持单元41R的结构。
[0105]转动支承单元42R具备一对侧壁421和将一对侧壁421的上部连接的上壁422。一对侧壁421在X方向相互离开地配置,其面方向与Y-Z平面平行。
[0106]在一对侧壁421之间可旋转地支承轴423。轴423是与X方向平行的轴,换言之,是与被保持在保持单元31上的面板Pl的面板面平行的轴。轴423贯通保持单元41R,且被固定在保持单元41R上。因此,保持单元41R可绕轴423转动地被支承。另外,在本实施方式中,做成了将轴423和保持单元41R相互固定的结构,但也可以是保持单元41R相对于轴423转动自由的结构。
[0107]在转动支承单元42R的一方侧部设置了限制轴423的转动范围的机构。此机构具备臂424和2个挡块425。通过限制轴423的转动范围来限制保持单元41R的转动范围。
[0108]臂424被固定在转动支承单元42R的一方侧部中的轴423的端部。2个挡块425被固定在转动支承单元42R的另一方侧部中的侧壁421的外面上,臂424位于2个挡块425之间。轴423可在从臂424与一方的挡块425抵接的位置到臂424与另一方的挡块425抵接的位置为止的规定的角度范围内转动。
[0109]限制机构43R是对保持单元41R的转动进行限制或进行限制解除的单元。在本实施方式的情况下,相对于一个保持单元41R设置了一个限制机构43R。在本实施方式的情况下,限制机构43R是空气缸、电动缸或电磁螺线管等伸缩型的动作执行器,具备主体部431和从主体部431进退的杆部432。主体部431被固定在转动支承单元42R的上壁422上,以便杆部432的进退方向成为Z方向。杆部432可在限制保持单元41R的转动的限制位置和将保持单元41L的转动限制解除的解除位置之间移动。在处于限制位置的情况下,杆部432的前端(下端)与保持单元41L的上面抵接。抵接的位置是与轴423相比为下游侧的位置。在处于退避位置的情况下,杆部432的前端(下端)从保持单元41L的上面离开。
[0110]参照图10,对限制机构43R的动作以及保持单元41R的转动样态进行说明。图10(A)以及图10(B)表示限制机构43R的杆部432处于限制位置,保持单元41R的转动被限制的状态。图10(A)是在图10⑶中省略了侧壁421等的图示的图。因为杆部432的前端与保持单元41R的上面抵接,所以在该图中,在逆时针转动方向的保持单元41R的转动被限制。臂424在该图中与右侧的挡块425抵接,在该图中,在顺时针转动方向的保持单元41R的转动也被限制。在此状态下,载置部411的上面411a是水平,被保持的面板P2的端部以水平姿势被保持。
[0111]图10(C)表示限制机构43R的杆部432上升到解除位置,保持单元41R的转动限制被解除了的状态。保持单元41R处于在由一对挡块425规定的规定角度范围内可自由转动的浮动状态。图10⑶以及图10(E)表示限制机构43R的杆部432处于解除位置,保持单元41R在该图中向逆时针转动方向最大限度转动了的状态。图10(D)是在图10(E)中省略了侧壁421等的图示的图。臂424在该图中与左侧的挡块425抵接,在该图中在逆时针转动方向的保持单元41R的转动被限制。在此状态下,载置部411的上面411a相对于水平面倾斜,被保持的面板P2的端部以倾斜的姿势被保持。
[0112]在本实施方式中,因为保持单元41R可转动,所以如后所述,可与被保持的面板P2的姿势相应地进行保持单元41R的姿势变化。在本实施方式的情况下,保持单元41R的转动为自由转动,但也可以设置使保持单元41R强制性地转动的驱动机构。驱动机构例如可做成以马达为驱动源的机构。通过设置驱动机构,可控制保持单元41R的姿势。但是,在与面板P2的姿势相应地使保持单元41R的姿势变化的情况下,如本实施方式的那样,使保持单元41R成为可自由转动的浮动状态能够避免不必要的外力作用于面板P2,更合适。
[0113]接着,主要参照图2、图4,对升降机构44R进行说明。升降机构44R是使保持单元41R相对于保持单元31上下地移动的单元。在本实施方式的情况下,相对于一组保持单元41R以及转动支承单元42R设置了一个升降机构44R。
[0114]升降机构44R具备升降轴441和驱动单元442。升降轴441是在Z方向延伸的轴,在其下端固定了转动支承单元42R的上壁422。驱动单元442具备使升降轴441升降的机构。此机构例如可采用滚珠丝杆机构、皮带传动机构等。升降机构44L和升降机构44R被独立地驱动。因此,保持单元41L以及转动支承单元42L和保持单元41R以及转动支承单元42R可相互独立地升降。
[0115]接着,主要参照图1、图2,对水平移动机构45R进行说明。在本实施方式的情况下,水平移动机构45R是使保持单元41R在Y方向以及X方向移动的机构,但也可以是使保持单元41R仅在Y方向移动的机构。
[0116]水平移动机构45R具备可动轨道451、一对滑块452和一对轨道453。可动轨道451是以横穿输送机构2的方式在X方向延伸设置的梁部件。2个驱动单元442在X方向移动自由地与可动轨道451卡合且被支承。
[0117]驱动单元442由未图示的驱动机构通过可动轨道451的引导可在X方向往复移动。此驱动机构被设置在每个驱动单元442上,2个驱动单元442可相互独立地在X方向移动。通过变更2个驱动单元442的X方向的距离来变更2个保持单元41R的X方向的距离。由此,能够保持尺寸不同的面板P2。驱动机构例如可采用滚珠丝杆机构、皮带传动机构等。
[0118]在可动轨道451的两端部分别固定了滑块452。滑块452在Y方向移动自由地与轨道453卡合。一对轨道453相互在X方向离开地平行地配置。各轨道453在Y方向延伸设置。滑块452可由未图示的驱动机构通过轨道453的引导在Y方向往复移动。此驱动机构能够设置在一对滑块452中的至少一方,使可动轨道451在Y方向平行移动。驱动机构例如可采用滚珠丝杆机构、皮带传动机构等。
[0119]通过可动轨道451在Y方向平行移动,可使2个保持单元41R相对于保持单元41L接近或离开。在本实施方式中,相对于保持单元41L设置了水平移动机构45L,相对于保持单元4IR设置了水平移动机构45R。由此,保持单元4IL和保持单元4IR分别可独立地在相互接近或离开的方向移动。但是,也可以仅设置水平移动机构45L和水平移动机构45R中的一方。在此情况下,成为仅保持单元41L和保持单元41R中的一方相对于另一方接近或离开的结构。
[0120]〈推压机构〉
[0121]推压机构5是相对于被保持在保持单元31上的面板Pl将由保持单元41L以及41R保持的面板P2在其厚度方向(这里为Z方向)推压的机构。
[0122]推压单元5具备推压辊51和辊移动机构52。推压辊51以跨过输送机构2的方式在X方向水平地延伸设置,由辊移动机构52在Z方向和Y方向移动。推压辊51例如由金属制的轴和包覆此轴的周围的橡胶制或树脂制的圆筒体(辊部件)构成。图11是推压辊51的俯视图。
[0123]在本实施方式的情况下,在推压棍51的周面上形成了多个槽51a和多个槽51b。
[0124]槽51a是以避免保持单元41L以及41R和推压辊51的干涉为目的的槽
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