。槽51a在推压辊51的周面中被配置在与保持单元41L以及41R相向的部分上。在本实施方式的情况下，形成在与载置部411相向的部分上，具有比载置部411的宽度以及厚度宽的宽度以及深度。通过设置这样的槽51a，即使在面板P2是与面板Pl相同的尺寸的情况下或比面板Pl小的尺寸，也可以不会与载置部411干涉地推压面板P2的端缘周边。
[0125]在设想使用单一尺寸的面板P2的情况下，槽51a的数量可以与载置部411的数量相同。在本实施方式中，设想使用多个尺寸的面板P2，使槽51a的数量比载置部411的数量多。
[0126]槽51b是以提高面板Pl和面板P2的紧贴性为目的的槽，宽度以及深度分别比槽51a小，且遍及推压辊51的周面整个区域地形成。槽51b的间距是等间距和不等间距均可，但这里做成了等间距。
[0127]在面板Pl的粘合面上，存在具有微小的起伏的情况。通过设置槽51b，由槽51b之间的突起形成推压辊51的周面，此突起具有挠性而进行弹性变形，因此，可相对于起伏发挥更均匀的推压力。作为使推压辊51的周面容易进行弹性变形的其它的方法，可以考虑由硬度更低的材料形成推压辊51的圆筒体。但是，在此方法中，面板P2和推压辊51的周面的接触面积变大，两者之间的摩擦变大。因此，存在面板P2由推压辊51的移动相对于面板Pl错开的情况。通过如本实施方式的那样设置槽51b，面板P2和推压辊51的周面的接触面积变小，也能够防止面板P2的错开。
[0128]辊移动机构52具备多个支承部521、多个升降机构522、多个滑块523和多个轨道524。支承部521、升降机构522、滑块523和轨道524设置了 2组。升降机构522被搭载在滑块523上，支承部521被搭载在升降机构522上。
[0129]推压辊51，其两端部被旋转自由地支承在支承部521，可自由旋转。轨道524夹着输送机构2地在其两侧各配置了 I个，在Y方向水平地延伸设置。滑块523与轨道524卡合，通过轨道524的引导可在Y方向移动。滑块523由未图示的驱动机构在Y方向往复移动。通过使2个滑块523同步地移动，能够使推压辊51在Y方向平行移动。
[0130]升降机构522作为其驱动源例如包括空气缸、电动缸、电磁螺线管等动作执行器，使支承部521升降。通过使2个支承部521同步地升降移动，能够使推压辊51在Z方向平行移动(升降)。
[0131]〈控制单元〉
[0132]图12是进行制造装置A的控制的控制单元6的框图。控制单元6包括CPU等处理部61、RAM、ROM等存储部62、连接外部设备和处理部61的接口部63。作为接口部63，也包括进行与主计算机的通信的通信接口。主计算机例如是对配置了制造装置A的制造设备整体进行控制的计算机。
[0133]处理部61执行被存储在存储部62的程序，基于各种传感器65的检测结果、上位计算机等的指示，控制各种动作执行器64。作为各种传感器65，例如包括检测由输送机构2输送的面板P2的位置的传感器、检测保持单元41L以及41R的位置的传感器、检测支承部521的位置的传感器和检测保持单元31的位置的传感器等各种传感器。作为各种动作执行器64，例如包括吸附部411a用的空气装置、保持单元31用的空气装置、各种机构的驱动源(例如马达)等。
[0134]〈控制例〉
[0135]参照图13?图17，对处理部61的控制例进行说明。这里，对面板Pl和面板P2的粘合进行说明。另外，在粘合作业中，保持机构4中的各动作执行器414、各限制机构43L、各升降机构44L被同步地控制。同样，各限制机构43R、各升降机构44R被同步地控制。另夕卜，作为初期状态，限制机构43L、43R限制保持单元41L、41R的转动，抵接部件413位于退避位置。
[0136]被输入到输送机构2的面板P2如图13 (A)所示，向作业区域输送。此时，保持单元41L位于面板P2的输送方向上游侧，保持单元41R位于面板P2的输送方向下游侧。
[0137]如图13(B)所示，保持单元41L、41R分别由升降机构44L、44R向凹陷部21降下。进而，保持单元41L、41R由水平移动机构45L、45R向相互接近的方向移动，使保持单元41L的载置部411位于面板P2的输送方向上游侧的端部的下方，使保持单元41R的载置部411位于面板P2的输送方向下游侧的端部的下方。
[0138]与这些动作并行地将输入台I上的面板Pl向作业区域输送。如图14(A)所示，保持单元31向输入台I的上方移动。接着，保持单元31降下，由保持单元31吸附保持面板Plo面板Pl的与被粘合在面板P2上的一侧的面(这里为下面)相反侧的面(这里为上面)被吸附。
[0139]如图14⑶所示，使保持单元31从输入台I上升，向作业区域移动而使之停止。
[0140]如图14(C)所示，保持单元41L、41R分别由升降机构44L、44R从凹陷部21上升，将面板P2从输送面2a抬起。此时，由保持单元41L、41R的各吸附部412吸附保持面板P2。面板P2在面板Pl的下方，成为使粘贴面向上而以水平姿势被保持的状态。
[0141]如图15㈧所示，抵接部件413从退避位置向保持位置移动。由此，面板P2的输送方向上游侧的端缘的一部分在抵接部件413和载置部411的上面411a之间在上下方向被夹入。这样，面板P2的输送方向上游侧的端部在由吸附部412进行的吸附保持的基础上，还在抵接部件413和载置部411的上面411a之间被机械性地保持。
[0142]接着，使被保持的面板P2的姿势变化。在本例中，将面板P2的输送方向下游侧的端部作为粘合始端部，将输送方向上游侧的端部作为粘合终端部。因此，使面板P2的姿势倾斜地变化，以便在Z方向面板P2的输送方向下游侧的端部离面板Pl近，面板P2的输送方向上游侧的端部离面板Pl远。
[0143]首先，如图15⑶所示，将由限制机构43L、43R进行的对保持单元41L、41R的转动限制解除。保持单元41L、41R可绕轴423自由转动。
[0144]对升降机构44L或升降机构44R的至少任意一方进行驱动，如图16(A)所示，使之移动，以便成为保持单元41L与保持单元41R相比离开了面板Pl的状态。这里，使保持单元41L仅降下距离L2。此时，由水平移动机构45L使保持单元41L在Y方向仅移动距离LI，以便保持单元41L的轴423和保持单元41R的轴423的轴间距离不变。保持单元41L的移动轨迹成为弧状的轨迹Tl。
[0145]伴随着保持单元41L的移动，面板P2的姿势相对于水平方向倾斜地变化。此时，因为保持单元41L、41R处于浮动状态，所以保持单元41L、41R的姿势与面板P2的姿势变化相应地变化。在图16(A)的例中，保持单元41L、41R向逆时针转动方向转动。
[0146]这样，通过保持单元41L、41R的姿势变化，能够维持面板P2大致笔直的(大致平坦的)状态，更可靠地保持面板P2。S卩，若保持单元41L、41R的姿势不变化，载置部411是水平的状态，则面板P2的端部也以水平姿势被保持，从端部朝向中央部急剧地弯曲。由于此弯曲的弹性恢复力，存在面板P2从载置部411脱落的可能性。但是，在本实施方式中，由于载置部411与面板P2的倾斜相应地倾斜，所以在面板P2中几乎不产生弯曲，因此，能够更可靠地保持面板P2。
[0147]接着，由辊移动机构52使推压辊51向粘合始端部的下方位置移动。
[0148]如图17 (A)所示，由辊移动机构52使推压辊51上升，开始面板Pl和面板P2的粘合。推压辊51朝向面板Pl推压面板P2的输送方向下游侧的端部。推压力由保持单元31承受住。面板P2的粘贴面(上面)的一部分与面板Pl的粘贴面(下面)抵接。面板P2和面板Pl的抵接区域成为在X方向长的带状的区域。
[0149]由推压辊51将面板P2的端部向面板Pl推压，该端部的姿势逐渐水平地变化。与此相伴，保持单元41R也向顺时针转动方向转动，载置部411的姿势返回水平姿势。由于保持单元41R的载置部411位于推压辊51的槽51a内，所以不存在载置部411和推压辊51干涉的情况，另外，能够防止面板P2的输送方向下游侧的端部中的气泡混入。
[0150]在粘合中，由于保持单元41R的载置部411的姿势从防止面板Pl和面板P2剥离的观点看最好为水平姿势的状态，所以如图17(B)所示，驱动限制机构43R，限制保持单元41R的转动。由辊移动机构52使推压辊51朝向成为粘合终端部的面板P2的输送方向上游侧的端部水平地移动。由于面板Pl由保持单元31以水平姿势保持，所以推压辊51沿面板Pl移动。
[0151]面板Pl和面板P2的抵接区域追随推压辊51的移动而增大，面板P2从其输送方向下游侧的端部依次向面板Pl粘贴。面板Pl和面板P2之间的空气向输送方向上游侧被依次挤出，能够防止气泡向面板之间的混入。
[0152]伴随着推压辊51的移动，使保持单元41L由升降机构44L上升，并且使之由水平移动机构45L向离开保持单元41R的方向移动。在图17(B)的例中，保持单元41L向上方仅上升距离L4，在Y方向仅移动距离L3，其移动轨迹成为弧状的轨迹T2。保持单元41L的转动限制是继续被解除了的状态。因此，与伴随着推压辊51的移动的面板P2的姿势变化相应地处于浮动状态的保持单元41L转动，其姿势变化。面板P2从由推压棍51进行的推压部位朝向粘合终端部弯曲，但由于在由保持单元41L的吸附部412进行的吸附保持的基础上，还由抵接部件413机械性地保持面板P2的输送方向下游侧的端部，所以更可靠地保持面板P2。
[0153]若推压辊51接近面板P2的输送方向上游侧的端部，则如图17 (C)所示，抵接部件413由动作执行器414的驱动向退避位置移动，避免抵接部件413和面板Pl的干涉。与推压辊51的移动伴随着的保持单元41L的上升和Y方向的水平移动继续，在图17(C)的例中，保持单元41L向上方仅上升距离L6，在Y方向仅移动距离L5，其移动轨迹成为弧状的轨迹T3。保持单元41L的转动限制是继续被解除了的状态，其载置部411逐渐接近水平姿势。
[0154]若推压辊51到达作为粘合终端部的面板P2的输送方向下游侧的端部，则面板Pl和面板P2的粘合作业结束。在图17中，线M表示在粘合开始时的保持单元41L的轴423的位置。可以知道伴随着粘合进行，保持单元41L的轴423的位置向从保持单元41R离开的方向移动。通过使保持单元41L 一面上升一面向上游侧移动，可减小面板P2的挠曲，使面板P2相对于面板Pl紧紧地粘贴。线N表示在粘合开始时的保持单元41R的轴423的位置。可以知道即使粘合进行，保持单元41R也不移动。
[0155]此后，由限制机构43L限制保持单元41L的转动，其载置部411被做成水平姿势。推压辊51由辊移动机构52向初期位置退避，保持解除由单元31进行的面板Pl的保持。进而，使保持单元41L以及41R降下，面板Pl和面板P2的层叠体被载置在输送机构2的输送面2a上。此后，层叠体