一种导磁性材料磁控溅射平面靶的拼靶机构的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型属于磁控溅射镀膜领域，具体涉及到一种导磁性材料磁控溅射平面靶的拼靶机构。
【背景技术】
[0002]目前磁控溅射技术在工业上有着广泛的应用，磁控溅射中平面靶的靶材利用率低，造成生产成本的提高，对于溅射导磁性材料的平面靶，因为材料的特殊特性，导致靶材的利用率更低，拼靶的技术应用到磁控溅射领域，对于非导磁性材料，拼靶的技术日趋成熟，导磁性材料因为磁铁对靶板的巨大吸附力，使得靶材的安装成为技术的难点。
【发明内容】
[0003]本实用新型目的针对于磁控溅射中的平面靶的机构形成，进行了进一步加工设计，具体提供了一种导磁性材料磁控溅射平面靶的拼靶机构。
[0004]本实用新型是通过以下方式实现的一种导磁性材料磁控溅射平面靶的拼靶机构，靶体内通过螺栓固定着导磁体，导磁体上设有磁体组件，在靶体下端通过螺钉固定着背板，背板与靶体之间设有O型密封圈，背板下端固定着至少三块中部靶材，中部靶材为导磁性材料的长方体，且中部靶材的横截面I为梯形，中部靶材的斜边度数为72°至80°，在背板与中部靶材之间设有石墨垫，起到润滑，导电，传导热量的作用，在靠外侧两端的两个中部靶材分别连接着端部靶材，所述的端部靶材为导磁性材料的长方体，且端部靶材的横截面II为梯形，端部靶材的斜边度数为72°至80°，所述的端部靶材的斜边和中部靶材的斜边上设有压条，压条上设有与端部靶材和中部靶材的斜边相配合的斜边，通过压条来做靶体的轨道，所述的压条通过螺栓固定在背板和靶体上，通过拧固螺栓对压条进行拧紧，达到对端部靶材和中部靶材的挤压固定。
[0005]本实用新型的有益效果为结构设计合理，拼靶简单牢靠，并且安装靶体简单方便，减少员工的劳动强度，降低工件的损伤。提高靶材的利用率，降低企业的运营成本。
【附图说明】
[0006]图1为整体示意图；
[0007]图2为侧视图；
[0008]图3为中部板材示意图；
[0009]图4为端部板材示意图；
[0010]如图1至图4所述，革巴体(1)，螺栓(2)，导磁体(3)，背板(4)，O型密封圈(5)，磁体组件(6)，中部靶材(7)，石墨垫(8)，端部靶材(9)，内六角螺栓(10)，压条(11)，螺钉(12)，横截面I (13)，横截面II (14)。
【具体实施方式】
[0011]一种导磁性材料磁控溅射平面靶的拼靶机构，靶体(I)内通过螺栓(2)固定着导磁体(3)，导磁体(3)上设有磁体组件(6)，在靶体(I)下端通过螺钉(12)固定着背板(4)，背板(4 )与靶体(I)之间设有O型密封圈(5 )，背板(4 )下端固定着至少三块中部靶材(7 )，中部靶材(7)为长方形的导磁性材料，且中部靶材(7)的横截面I (13)为梯形，中部靶材
(7)的斜边度数范围在72°至80°之间，位于背板(4)与中部靶材(7)之间设有石墨垫
(8)，起到润滑，导电，传导热量的作用，在外侧两端的两个中部靶材(7)分别连接着端部靶材(9)，所述的端部靶材(9)为长方形的导磁性材料，且端部靶材(9)的横截面II (14)为梯形，端部靶材(9)的斜边度数范围在72°至80°之间，中部靶材(7)的斜边与端部靶材(9)的斜边相配合固定连接，所述的端部靶材(9)的边沿上设有压条(11)，通过压条(11)来做靶体(I)的轨道，所述的压条(11)通过内六角螺栓(10 )固定在背板(4 )和靶体(I)上。操作步骤:首先将压条(11)通过内六角螺栓(10)固定在背板(4)上，再将中部靶材(7)通过配合的斜边拼凑放置在有石墨垫(8)的背板(4)上，因为中部靶材(7)和端部靶材(9)都是用导磁性的材料制作，所以在安装拼凑时会被磁体组件(6)吸住难以卸下，石墨垫(8)，起到润滑，导电，传导热量的作用，克服很大一些磁场的吸附力，在中部靶材(7)和压条(11)之间安装上端部靶材(9)，最后拧紧内六角螺栓(10)，在拧紧内六角螺栓(10)过程中，压条
(11)的斜边与端部靶材(9)的斜边相配合产生一个向内的挤压力，从而紧固端部靶材(9)和中部靶材(7 )，端部靶材(9 )和中部靶材(7 )的边沿斜面起到导向的作用，对正，减少材料之间的摩擦力，压条(11)起到轨道的作用。
【主权项】
1.一种导磁性材料磁控派射平面革El的拼革El机构，革El体(I)内通过螺栓(2)固定着导磁体(3)，导磁体(3)上设有磁体组件(6)，其特征在于，在靶体(I)下端通过螺钉(12)固定着背板(4)，背板(4)与靶体(I)之间设有O型密封圈(5 )，背板(4)下端固定着至少三块中部靶材(7 )，在背板(4 )与中部靶材(7 )之间设有石墨垫(8 )，靠外侧的两个中部靶材(7 )分别连接着端部靶材(9 )，所述的端部靶材(9 )的边沿上设有压条(11 )，所述的压条(11)通过内六角螺栓(10 )固定在背板(4 )和靶体(I)上。2.根据权利要求1所述的一种导磁性材料磁控溅射平面靶的拼靶机构，其特征在于，所述的中部靶材(7)的横截面I (13)为梯形，且梯形斜边的角度为72°至80°。3.根据权利要求1所述的一种导磁性材料磁控溅射平面靶的拼靶机构，其特征在于，所述的端部靶材(9)的横截面II (14)为梯形，且梯形斜边的角度为72°至80°。
【专利摘要】一种导磁性材料磁控溅射平面靶的拼靶机构，属于磁控溅射镀膜领域，靶体内通过螺栓固定着导磁体，在靶体下端通过螺钉固定着背板，背板与靶体之间设有O型密封圈，导磁体上设有磁体组件，结构设计合理，拼靶简单牢靠，并且安装靶体简单方便，减少员工的额劳动强度，降低工件的损伤。提高靶材的利用率，降低企业的运营成本。
【IPC分类】C23C14/35
【公开号】CN204849011
【申请号】CN201520488630
【发明人】刘敏, 金云华, 李抚龙, 赵丽敏
【申请人】爱蓝天高新技术材料(大连)有限公司
【公开日】2015年12月9日
【申请日】2015年7月9日