洗涤精密零件用的洗涤剂组合物的制作方法

文档序号:1333878阅读:202来源:国知局
专利名称:洗涤精密零件用的洗涤剂组合物的制作方法
技术领域
本发明涉及洗涤精密零件用的洗涤剂组合物。更具体地说,本发明涉及洗涤精密零件如金属零件、电子零件、半导体零件或液晶显示板用的含水洗涤剂组合物。
在这种熔剂组分的除去中,直到二十世纪九十年代以来,一直使用氟系溶剂和氯系溶剂,为的就是使用它们的特征如高度的洗净性和阻燃性,。然而,使用氯系溶剂或氟系溶剂的洗涤剂在安全、毒性和环境污染等方面具有严重的问题,使得这些溶剂完全被禁止。因此,作为替代这些溶剂所使用的工艺,已有许多市售的所谓含水熔剂洗涤剂,其通过使水溶解在水不可溶组分如有机溶剂中,而对危险如燃烧性能加以了考虑。
然而,最近,从更精细的布线节距和环境保护需要的角度考虑,为了满足这些需要,在焊糊组分中已对熔剂组分进行改性。具体地,为了增加焊糊的粘度,倾向于增加熔剂组合物中的触变剂量。为何增加粘度的原因是使得在更精细的丝网印刷中的印刷可靠性得到改进和防止由于较高熔点的不含铅的焊剂金属的改性导致在加热时变圆的边缘。
另一方面,已知显示出低溶解度的这种熔剂组分在苯甲醇中具有高的溶解度。因此,已公开了已知使用苯甲醇作为溶解助剂的熔剂洗涤剂。例如,日本专利公报No.2041987公开了一种非水基洗涤剂组合物,其包括作为主要组分的苯甲醇(或2-苯乙醇)和向其中加入的非离子表面活性剂;日本专利特开平4-34000公开了一种非水基洗涤剂组合物,其包括作为主要组分的苯甲醇;日本专利特开Nos.Hei6-346094和9-255995各自公开了一种含水洗涤剂组合物,其包括作为主要组分的3-甲氧基-3-甲基丁醇和向其中加入的苯甲醇和水;日本专利特开No.2000-8080公开了一种含水洗涤剂组合物,其包括作为主要组分的苯甲醇,和向其中加入的水溶性二元醇醚、非离子表面活性剂和水。此外,作为含有甘油醚的洗涤剂,日本专利特开平6-346092公开了一种洗涤剂组合物,其包含具有1-18个碳原子的烃基的甘油醚。在它们当中,本发明者对所谓的含水熔剂洗涤剂进行了洗涤试验,并对危险如燃烧性能加以了考虑。结果,尽管该洗涤剂对常用的含锡/铅的共晶软焊料显示出高的熔剂洗净性,但在无铅焊剂或增加了触变剂如N,N-亚乙基双硬脂酰胺用量的精细节距用的焊剂中,该洗涤剂显示出不令人满意的熔剂洗净性。此外,使用甘油醚作为溶解助剂的洗涤剂也对以上所述的无铅焊剂等的熔剂具有不令人满意的洗净性。
另外,至于液晶污斑,液晶元件之间的间距随着更薄液晶显示板的开发而变得甚至更窄,结果洗涤在间隙中存在的液晶变得愈加困难。当使用以上所述的常规洗涤剂组合物除去液晶污斑时,对于在间隙中存在的那些液晶来说洗净性不是令人满意的,尽管对于在表面上存在的液晶来说洗净性是优良的。
本发明的目的是提供洗涤精密零件用的含水洗涤剂组合物,当除了使用共晶软焊料之外,还使用无铅焊剂和精细节距用的焊剂作为焊剂时,所述组合物显示出高的熔剂洗净性,和所述组合物对主要由在金属零件、电子零件或半导体零件表面上存在的有机物质,或在液晶显示板中的液晶污斑组成的污斑显示出高的洗净性,和该洗涤剂组合物具有优良的安全性。
根据下述说明,本发明的这些和其它目的将变得显而易见。
本发明者首次发现,当给定量的水溶解在水不可溶的组分中时,不降低熔剂的溶解度,且对液晶污斑显示出优良的洗净性,其中所述水不可溶的组分含有给定量的具有特定结构的烷基或链烯基的甘油醚。
本发明提供了一种洗涤精密零件用的洗涤剂组合物,其包括有机溶剂,5-30重量%具有4-12个碳原子的烷基或链烯基的甘油醚和5重量%以上的水。
从对熔剂的洗净性角度考虑,可在本发明中使用的有机溶剂优选在70℃下,N,N-亚乙基双硬脂酰胺的溶解度为0.3重量%以上的有机溶剂。此处“在70℃下,N,N-亚乙基双硬脂酰胺的溶解度为0.3重量%以上的有机溶剂”是指在100重量份保持在70℃的有机溶剂中,能以0.3重量份以上的总量溶解N,N-亚乙基双硬脂酰胺的有机溶剂。可如下所述获得这一溶解度。
在螺旋管中精确称取N,N-亚乙基双硬脂酰胺和有机溶剂,使得N,N-亚乙基双硬脂酰胺的浓度例如为0.1重量份、0.2重量份和0.3重量份,基于100重量份有机溶剂。接着,将N,N-亚乙基双硬脂酰胺和有机溶剂的混合物加热到70℃。通过判断所得溶液是否变得透明和溶解来证实混合物的溶解状态,此处,若在0.2重量份N,N-亚乙基双硬脂酰胺情况下,混合物变得透明和溶解,而在0.3重量份N,N-亚乙基双硬脂酰胺情况下,变得白色混浊,和这定义为0.2重量%的溶解度。通过重复上述步骤,所得溶解度可具有增加的精度。
有机溶剂包括具有4-16个碳原子的直链醇,如丁醇(0.5重量%以上)、己醇(0.5重量%以上)、辛醇(0.5重量%以上)、月桂醇(0.5重量%以上)和硬脂醇(0.5重量%以上);具有10-16个碳原子的支链醇,如4-癸醇(0.5重量%以上)、2-庚基壬醇(0.5重量%以上)和7-甲基-2-(3-甲基丁基)-1-辛醇(0.5重量%以上);不饱和醇,如苯甲醇(0.3重量%以上)、1-己烯-3-醇(1重量%以上)、2-己烯-3-醇(0.75重量%以上)、1-辛烯-3-醇(1重量%以上)、里哪醇(0.5重量%以上)和ω-十一烷醇(0.5重量%以上);二丙二醇单烷基醚,如二丙二醇单丙醚(0.3重量%以上)和二丙二醇单丁醚(0.3重量%以上);和脂肪酸,如乙酸(0.5重量%以上)、丙酸(2重量%以上)、己酸(1.75重量%以上)和2-乙基己酸(0.75重量%以上)(上述括号内的数字表示有机溶剂的溶解度)。在它们当中,优选苯甲醇、二丙二醇单丙醚和二丙二醇单丁醚。
此外,从对液晶污斑具有优良的洗净性的角度考虑,优选具有10-18个碳原子的烃。具有10-18个碳原子的烃包括,例如直链或支链的、饱和或不饱和的烃类溶剂如癸烷、十二烷、十四烷、十六烷、十八烷、癸烯、十二碳烯、十四碳烯、十六碳烯和十八碳烯;芳烃类溶剂如烷基苯如壬基苯和月桂基苯,和萘化合物如甲基萘和二甲基萘;脂环烃类溶剂如环状化合物如环癸烷和环十二烷;等等。在它们当中,优选具有12-18个碳原子的直链或支链的、饱和或不饱和的烃,和特别优选烯烃。
可以单独地或以两种或多种的混合物形式使用这些有机溶剂。
从不降低其洗净性,和在可操作的温度范围内,维持所制造的洗涤剂组合物的均匀和透明性能的角度考虑,可在本发明中使用的具有含4-12个碳原子的烷基或链烯基的甘油醚(其后简称为“甘油醚”)可以是具有含4-12个碳原子的烷基或链烯基的那些,优选具有含4-12个碳原子的烷基的那些,所述烷基如正丁基、异丁基、正己基、异己基、正庚基、正辛基、2-乙基己基、正壬基和正癸基,特别优选具有各自含6-10个碳原子,更优选6-8个碳原子的一个或两个烷基的那些,特别是烷基之一含6-10个碳原子,更优选6-8个碳原子的那些。此外,可在本发明中使用的具有含4-12个碳原子的烷基或链烯基的甘油醚可以是单烷基二甘油醚或单烷基多甘油醚,其中两个或更多个,优选两个或三个甘油基通过醚键键接。从对液晶污斑的优良洗净性的角度考虑,特别优选单烷基甘油醚和单烷基二甘油醚。可以单独地或以两种或多种的混合物形式使用这些甘油醚。在本发明中,可通过使用甘油醚稳定带水的有机溶剂的分散性,以便存在获得更优良的对抗熔剂和/或液晶污斑的洗净性的优点。
在本发明中可使用的水没有特别限制。水包括离子交换水、纯水等。
在本发明的洗涤剂组合物中,从获得优良熔剂洗净性的角度考虑,有机溶剂的含量优选1-90重量%,更优选50-90重量%,仍更优选60-90重量%,特别优选65-85重量%。此外,从获得优良的熔剂溶解度和优良的对有机污斑的洗净性的角度考虑,甘油醚的含量为5-30重量%,和该含量优选10-30重量%,更优选10-25重量%,仍更优选10-20重量%。另外,从不引起洗涤剂组合物燃烧和维持熔剂溶解度的角度考虑,水的含量为5wt%以上,和其含量优选5-30重量%,更优选5-20重量%,特别优选5-15重量%。在它们当中,当本发明的洗涤剂组合物用于洗涤在无铅焊剂或含大量N,N-亚乙基双硬脂酰胺作为触变剂的精细节距焊剂中的熔剂污斑时,优选有机溶剂的含量为65-85重量%,甘油醚的含量为10-20重量%,和水的含量为5-15重量%。
另外,从获得对液晶污斑优良的洗净性的角度考虑,本发明的洗涤剂组合物具有下述组成1或组成2。
在组成1中,从获得对液晶污斑优良的洗净性的角度考虑,有机溶剂的含量优选5-40重量%,更优选10-20重量%。此外,甘油醚的含量为5-30重量%,和其含量优选10-30重量%,更优选10-25重量%,特别优选10-20重量%。另外,从不引起洗涤剂组合物燃烧的角度考虑和从维持对液晶污斑的洗净性的角度考虑,水的含量为5重量%以上,和其含量优选40-90重量%,更优选60-80重量%。在它们当中,上述三种组分的优选结合(其具有对液晶污斑优良的洗净性)使得有机溶剂的含量为5-40重量%,甘油醚的含量为5-30重量%,和水的含量为40-90重量%。更优选的结合使得有机溶剂的含量为10-20重量%,甘油醚的含量为10-20重量%,和水的含量为60-80重量%。
在组成2中,有机溶剂的含量优选50-90重量%,更优选60-80重量%。此外,从获得对液晶污斑优良的洗净性的角度考虑,甘油醚的含量为5-30重量%,和其含量优选10-30重量%,特别优选10-25重量%。另外,从维持对液晶污斑的洗净性的角度考虑,水的含量为5重量%以上,和其含量优选5-40重量%,特别优选5-30重量%。在它们当中,上述三种组分的优选结合(其具有对液晶污斑优良的洗净性)使得有机溶剂的含量为50-90重量%,甘油醚的含量为5-30重量%,和水的含量为5-40重量%。更优选的结合使得有机溶剂的含量为60-80重量%,甘油醚的含量为10-25重量%,和水的含量为5-30重量%。
另外,当本发明的洗涤剂组合物用于熔剂的洗涤时,该洗涤剂组合物可含有熔剂皂化剂和消泡剂。作为熔剂皂化剂,可使用胺如烷胺或烷醇胺。此外,作为消泡剂,可使用硅氧烷-基消泡剂、矿物油-基消泡剂、二元醇-基消泡剂等等。
在洗涤剂组合物中的熔剂皂化剂和消泡剂的含量优选0.1-5重量%,更优选0.5-3重量%。
当本发明的洗涤剂组合物用于洗涤熔剂时,优选在70℃下具有0.15重量%以上,优选0.2重量%以上的N,N-亚乙基双硬脂酰胺溶解度的洗涤剂组合物。此处“在70℃下具有0.15重量%以上,优选0.2重量%以上的N,N-亚乙基双硬脂酰胺溶解度”是指在100重量份保持在70℃的洗涤剂组合物中,能以0.15重量份或更多的总量溶解N,N-亚乙基双硬脂酰胺的性能。此外,可通过使用洗涤剂组合物,以与在上述情况下获得溶解度用的方法相同的方式,获得N,N-亚乙基双硬脂酰胺在洗涤剂组合物中的溶解度,所不同的是使用洗涤剂组合物替代有机溶剂。
在它们当中,当本发明的洗涤剂组合物用于洗涤液晶污斑时,从降低洗涤溶液的粘度,从而改进在液晶元件的间隙之间存在的液晶的洗净性的角度考虑,优选向该洗涤剂组合物中加入二元醇醚化合物。二元醇醚化合物的具体实例包括乙二醇单烷基(1-12个碳原子)醚,如乙二醇单甲醚、乙二醇单乙醚、乙二醇单丙醚、乙二醇单丁醚和乙二醇单2-乙基己醚;二乙二醇单烷基(1-12个碳原子)醚,如二乙二醇单甲醚、二乙二醇单乙醚、二乙二醇单丁醚、二乙二醇单己醚和二乙二醇单2-乙基己醚;丙二醇或二丙二醇单烷基(1-12个碳原子)醚,如苄乙二醇、苄二乙二醇、苯乙二醇、丙二醇单丙醚、二丙二醇单丙醚、丙二醇单丁醚和二丙二醇单丁醚;等等。在它们当中,优选二乙二醇单己醚和二丙二醇单丁醚,和特别优选二乙二醇单己醚。
从降低洗涤剂溶液粘度,增加在液晶元件间隙内的可渗透性和增加液晶的洗净性的角度考虑,本发明洗涤剂组合物中的二元醇醚的含量优选25-100重量份,更优选40-90重量份,特别优选50-80重量份,基于100重量份有机溶剂、甘油醚和水的总量。
可通过例如在搅拌下,混合上述有机溶剂和上述甘油醚,遇必要时,混合其它任选的组分,和最后向其中加入水,来制备具有上述组成的本发明洗涤剂组合物。
当使用本发明的洗涤剂组合物进行精密零件,例如具有熔剂污斑的精密零件的洗涤时,可在各种洗涤步骤(其中包括浸渍洗涤工艺、搅拌洗涤工艺、超声洗涤工艺、喷洒型洗涤工艺、涂刷洗涤工艺和类似工艺)中使用该洗涤剂组合物。另外,当本发明的洗涤剂组合物用于洗涤具有液晶污斑的精密零件时,可在各种洗涤步骤(其中包括浸渍洗涤工艺、搅拌洗涤工艺、超声洗涤工艺、涂刷洗涤工艺和类似工艺)中使用该洗涤剂组合物。
对通过本发明的洗涤剂组合物洗涤的熔剂没有特别限制,只要是在印刷基材、半导体组件等的布线连接中产生的熔剂即可。本发明的洗涤剂组合物特别显示出对焊接熔剂高的洗净性。焊剂包括由锡和铅组成的共晶软焊料、和无铅焊剂或在其中增加触变剂用量的精细节距用焊剂。
另外,本发明的洗涤剂组合物对主要由有机物质组成的污斑和在液晶如液晶板上的污斑显示出高的洗净性,其中该污斑存在于例如金属零件、电子零件、半导体零件等的表面上。特别地,至于液晶板,本发明的洗涤剂组合物除了对常规使用的具有7-10微米间距的液晶元件中的那些污斑显示出高的洗净性之外,还对具有3-6微米的窄间距的液晶元件中的液晶污斑显示出高的洗净性。
如上所述,通过使用本发明洗涤精密零件用的洗涤剂组合物,可容易操作地安全制备印刷基材、半导体组件等布线和液晶显示板。
将焊糊丝网印刷在玻璃环氧基材上,其中在所述基材上已印刷了cupper图案。在250℃下加热该玻璃环氧基材30秒,得到试验基材。
实施例1-8和对比例1-3加入并混合各组分,以便得到表1所示的组合物,得到实施例1-8和对比例1-3的各洗涤剂组合物。接着,将各洗涤剂组合物放置在洗涤的容器内,和在60℃下,将上述试验基材浸渍在洗涤剂组合物中5分钟。其后,在60℃下用离子交换水漂洗1分钟。随后,在80℃下干燥漂洗过的基材20分钟。肉眼观察试验基材的表面,和基于下述评价标准评价对熔剂的洗净性。结果见表2。
A优良地洗涤(没有熔剂残渣的残留粘着)B稍微不良地洗涤(稍微残留粘着)C不良地洗涤(看到大量的残留粘着)D根本没有洗涤此处,洗涤试验所使用的焊糊如下所示。引号内显示商品名。
无铅焊剂“M312-221BM5-42-11”(由Senju Kinzoku制造)无铅焊剂“Ecosolder M705”(由Senju Kinzoku制造)无铅焊剂“Solder Paste TLF-204-19A”(由Tamura Giken制造)精细节距用焊剂“OZ63-331F-9.5”(由Senju Kinzoku制造)锡-铅共晶软焊料“RX363-227DDO”(由Nihon Handa制造)高熔点焊剂“RX305-92MYO”(由Nihon Handa制造)
表1实施例号 对比实施例号1 2 3 4 5 6 7 8 1 2 3洗涤剂组合物的组成(重量%)*)有机溶剂苯甲醇(0.3重量%以上) 75.075.075.080.073.236.675.0二丙二醇单丙醚(0.3重量%以上) 73.2二丙二醇单丁醚(0.3重量%以上) 73.236.6丁二醇(0.1重量%以下) 44.526.3己二醇(0.1重量%以下) 10.044.5甘油醚2-乙基己基甘油醚 15.010.014.714.714.714.7己基甘油醚 15.0辛基甘油醚 15.0水10.010.010.010.010.010.010.010.010.010.070.9表面活性剂聚氧化烯单苯基醚(HLB约12)5.0聚氧化烯单烷基醚(HLB约10)0.7添加剂熔皂化剂(二乙醇胺) 1.0 1.0 1.0 1.0 0.9 2.1消泡剂(硅氧烷消泡剂) 1.1 1.1 1.1 1.1 0.1总计 100.0 100.0 100.0 100.0 100.0 100.0 100.0 100.0 100.0 100.0 100.0在N,N-亚乙基双脂酰胺在洗涤剂组0.250.220.200.280.230.200.160.200.080.050.05合物中于70℃下的溶解性(重量%)注*)亚乙基双脂酰胺在70℃下在有机溶剂中的溶解性表2实施例号 对比实施例号12345678123无铅焊剂M312-221BM5-42-11 AAAAAAAACCCSolder Paste TLF-204-19AAAAAAAAADBDEcosolder M705-221BM-5-42-11AAAAAAAADBD精细节距用焊剂OZ63-331F4-9.5 AAAAAAAACBC锡铅共晶焊剂RX363-227DDOAAAAAAAABAC高熔点焊剂RX305-92MYO AAAAAAAADBD
从表2的结果可看出,由于实施例1-8的洗涤剂组合物对N,N-亚乙基双硬脂酰胺显示出高的溶解度,因此本发明的洗涤剂组合物对无铅焊剂、精细节距用焊剂、锡-铅共晶软焊料和高熔点焊剂均有优良的洗净性,与对比例1-3的任何洗涤剂组合物中的那些相比。另外,由于所有实施例1-8的洗涤剂组合物含有水,因此在60℃左右的洗涤处理温度下不存在燃烧的危险,因此该洗涤剂组合物具有优良的安全性。
<试验基材2的制备>
将TFT液晶熔封到液晶元件之间的间隙内(间隙之间的距离为5微米),和使该元件在室温下静置30分钟,得到试验基材。
实施例9-12和对比例4-6加入并混合各组分,以便得到表3所示的组合物,得到实施例9-12和对比例4-6的各洗涤剂组合物。在30℃下,在所制备的各洗涤剂组合物中对试验基材进行超声洗涤5分钟。其后,在四个纯水罐(40℃)中漂洗各试验基材3分钟。随后,用热空气干燥器,在90℃下干燥漂洗过的基材30分钟,称为观察样品。
通过偏光显微镜(放大25倍),观察洗涤之后在液晶元件之间的间隙内残留的液晶和在漂洗过程中没有充分排出的液晶和洗涤剂组合物的混合物,并评价液晶板的洗净性。
通过用从所观察的间隙的整个面积中减去液晶和液晶与洗涤剂的混合物残留的部分所得的面积结果除以所观察的间隙的整个面积所计算的值表示洗净性的评价。如下定义评价标准洗净性的评价标准◎90-100%○80-小于90%
△40%-小于80%×小于40%[液晶的溶解速率]在30℃下,将以与如上所述相同的方式制备的液晶元件试验基材(其中将TFT液晶填充在该液晶基材中)浸渍在洗涤剂组合物中5分钟,和通过带有放大25倍的透镜的光学显微镜观察,确定渗透到间隙内的洗涤剂组合物的距离。通过用所得渗透距离除以时间获得的数值定义为液晶溶解速率。
表3实施例号对比实施例号9 101112 4 56组成(重量份)有机溶剂十四碳烯 7070 13 100 70 70十二碳烯 70甘油醚2-乙基己基甘油醚 25 302-乙基己基二甘油醚 252520聚氧乙烯烷基醚 20(C12-14,仲醇)二乙二醇单己基醚 40*水 5 5 5 675液晶溶解速率(微米/分钟)9.0 9.0 9.0 10.0 11.0 6.0 7.0液晶的洗涤性 ○○○◎ ×△ △注*基于有机溶剂、甘油醚和水的总重量的100重量份的重量份数从表3可看出,在实施例9-12中,由于洗涤剂组合物的漂洗能力因维持高液晶溶解速率而变得优良,所以该洗涤剂组合物能很好地渗透到液晶元件之间的窄间隙内,结果洗涤剂组合物不残留在间隙内,从而具有优良的洗净性。
另一方面,在单独使用有机溶剂的洗涤剂组合物(对比例4)中,可看出因为在洗涤试验的漂洗工艺中与水的交换变得更差,所以洗涤剂组合物本身的洗净性变得更差,尽管间隙内的液晶溶解速率高。
此外,在不含水(对比例5)或不含甘油醚(对比例6)的洗涤剂组合物中,因为在任何一种洗涤剂组合物中液晶溶解速率降低,所以液晶板的洗净性变得更差。
由于可安全地处理本发明洗涤精密零件用的洗涤剂组合物,和它显示出高的熔剂洗净性,甚至当使用该洗涤剂组合物除了洗涤除共晶软焊料上的熔剂之外,还用于洗涤无铅焊剂或精细节距用焊剂上的熔剂时,可容易操作地安全制备印刷基材和半导体组件等的布线。另外,当该洗涤剂组合物用于洗涤液晶时,该洗涤剂组合物很好地渗透到液晶之间的窄间隙内,从而显示出高的洗净性。因此,可高质量地安全生产精密零件如电子零件、半导体零件和液晶显示板。
如此描述本发明,显而易见的是可按照许多方式来变化它。这种变化不认为脱离本发明的精神和范围,和对本领域技术人员来说显而易见的所有这些改性拟包括在下述权利要求的范围内。
权利要求
1.一种洗涤精密零件用的洗涤剂组合物,其包括有机溶剂,5-30重量%具有4-12个碳原子的烷基或链烯基的甘油醚和5重量%以上的水。
2.权利要求1的洗涤剂组合物,其中有机溶剂的用量为1-90重量%。
3.权利要求1的洗涤剂组合物,其可用于洗涤具有熔剂污斑的精密零件,其中有机溶剂的用量为50-90重量%,和水发用量为5-30重量%。
4.权利要求1-3任何一项的洗涤剂组合物,其中有机溶剂包括在70℃下N,N-亚乙基双硬脂酰胺的溶解度为0.3重量%以上的有机溶剂。
5.权利要求1-3任何一项的洗涤剂组合物,其中有机溶剂是选自苯甲醇、二丙二醇单丙醚和二丙二醇单丁醚中的至少一种化合物。
6.权利要求1的洗涤剂组合物,其可用于洗涤具有液晶污斑的精密零件,其中有机溶剂和水的用量各自为(i)有机溶剂的用量为5-40重量%,和水的用量为40-90重量%;或(ii)有机溶剂的用量为50-90重量%,和水的用量为5-40重量%。
7.权利要求6的洗涤剂组合物,进一步包括二元醇醚化合物。
8.权利要求6或7的洗涤剂组合物,其中有机溶剂是具有10-18个碳原子的烃。
全文摘要
一种洗涤精密零件用的洗涤剂组合物,其包括有机溶剂,5-30重量%具有4-12个碳原子的烷基或链烯基的甘油醚和5重量%以上的水。该洗涤剂组合物可用于洗涤精密零件如金属零件、电子零件、半导体零件或液晶显示板。
文档编号C11D3/20GK1450156SQ03109239
公开日2003年10月22日 申请日期2003年4月4日 优先权日2002年4月5日
发明者林藤克彦, 桥本良一, 根岸政隆 申请人:花王株式会社
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