专利名称：硅片清洗脱胶夹具的制作方法
技术领域：
本实用新型属于机械设备技术领域，涉及一种硅片清洗脱胶夹具。
背景技术：
在单晶硅片切割之前，需要将硅棒粘在玻璃板上进行切割，切割成硅片后，经过清洗脱胶，使硅片脱离玻璃板。现有的硅片清洗脱胶过程中，硅片清洗脱胶夹具设有挡板，挡板能有效地固定脱胶后的硅片，但是挡板会损伤硅片，影响硅片质量，降低了良品率。
发明内容·[0004]本实用新型的目的是提供一种硅片清洗脱胶夹具，解决了现有技术中挡板设置不科学，硅片易损伤、良品率低的问题。本实用新型所采用的技术方案是，一种硅片清洗脱胶夹具，包含脱胶篮和硅片夹持部分，所述脱胶篮结构是，包括第一侧板和第二侧板、以及安装于两侧板之间的一对横杆和一对支撑杆，其中的第一侧板和第二侧板相对平行设置，一对横杆设置在第一侧板和第二侧板之间的上段位置，与该两侧板固定连接；一对支撑杆设置在第一侧板和第二侧板之间的下段位置，与该两侧板固定连接；所述硅片夹持部分包括两组条刷支撑机构，每组条刷支撑机构包含一个条刷、若干个条刷固定块、两个扭簧和一个支承轴，条刷同时固定于每组条刷固定块上的条刷安装槽中，条刷固定块上设有第一孔，每组条刷固定块均通过各自的第一孔同轴穿在同一个支承轴上；每个支承轴一端与第一侧板连接，每个支承轴另一端与第二侧板连接。本实用新型的硅片清洗脱胶夹具，其特征还在于所述的每个支承轴两端各设置有一个扭簧，其中一个扭簧一端与第一侧板固定连接，另一端和手柄固定连接；另一个扭簧一端与第二侧板固定连接，另一端和手柄固定连接。所述的条刷固定块还设有第二孔，所述每组条刷固定块的第二孔内共同穿有一转动轴。本实用新型的有益效果是，结构合理，彻底解决了硅片易滑倒、良品率低的问题，用于对薄的盘片如半导体晶片、玻璃基片或类似物品夹持，特别用于太阳能硅片进行清洗脱胶时的夹持。
图I是本实用新型装置的前视结构示意图；图2为本实用新型装置的侧视结构示意图；[0015]图3为本实用新型装置实施例I的条刷固定块的单孔结构示意图；图4为本实用新型装置实施例2的条刷固定块的双孔结构示意图。图中，I.硅片，2.条刷，3.条刷固定块，4.扭簧，5.支承轴，6.支撑杆，7.第一侧板，8.第二侧板，9.横杆，10.第一孔，11.第二孔，12.条刷安装槽，13.手柄。
具体实施方式
以下结合附图和具体实施方式
对本实用新型进行详细说明。参照图I、图2，本实用新型的硅片清洗脱胶夹具，包含脱胶篮和硅片夹持部分，所述脱胶篮结构是，包括第一侧板7、第二侧板8、以及安装于两侧板之间的一对横杆9和一对支撑杆6，其中的第一侧板7和第二侧板8相对平行设置，一对横杆9设置在 第一侧板7和第二侧板8之间,位于该两侧板相对面的上段,一对横杆9的两端与该两侧板固定连接；一对支撑杆6设置在第一侧板7和第二侧板8之间，位于该两侧板相对面的下段，一对支撑杆6的两端与该两侧板固定连接；所述硅片夹持部分包括两组条刷支撑机构，每组条刷支撑机构包含一个条刷2、若干个条刷固定块3、两个扭簧4和一个支承轴5，条刷2同时固定于若干个条刷固定块3上的条刷安装槽12中，条刷固定块3上设有第一孔10，若干个条刷固定块3通过第一孔10同轴穿在同一个支承轴5上；每个支承轴5 —端与第一侧板7连接，每个支承轴5另一端与第二侧板8连接，每个支承轴5两端各设置有一个扭簧4，其中一个扭簧4 一端与第一侧板7固定连接，另一端和手柄13固定连接；另一个扭簧4 一端与第二侧板8固定连接，另一端和手柄13固定连接。参照图3，实施例I中的支承轴5是可以转动的，手柄13是用来手动操作转动支承轴5的。参照图4，每个条刷固定块3还可以设有第二孔11，每组条刷固定块3的第二孔11内共同穿有一转动轴，采用转动轴取代实施例I中的手柄，通过在第二孔中共同穿有一根转动轴来实现转动支承轴5。当条刷支撑机构不工作的时候处于自由状态，条刷2与硅片I处于不接触状态；当条刷支撑机构处于工作状态的时候，条刷2与硅片I接触并底部平行。本实用新型的硅片清洗脱胶夹具，在进行硅片脱胶时，先将条刷支撑机构的手柄打开，自由释放。然后将待脱胶硅片I放进脱胶篮，等冲干净硅片后，将手柄转到工作状态，使两边的条刷2从底往上转动，直至支撑住硅片1，将手柄在此状态用限位挡固定，开始脱胶。脱胶完成后，将手柄转到捞料状态，捞料状态介于工作状态和自由状态之间，在捞料的时候，将条刷支撑机构倾斜，硅片降落到支撑杆6上，但是条刷支撑机构还要与硅片接触，起到支承作用，开始进行捞料。捞料完成后，将手柄转到自由状态，一次脱胶工作完成。
权利要求1.一种硅片清洗脱胶夹具，其特征在于包含脱胶篮和硅片夹持部分， 所述脱胶篮结构是，包括第一侧板(7)和第二侧板(8)、以及一对横杆(9)和一对支撑杆(6)，其中的第一侧板(7)和第二侧板(8)相对平行设置，一对横杆(9)设置在第一侧板(7)和第二侧板(8)之间的上段位置，一对横杆(9)的两端与该两侧板固定连接；一对支撑杆(6)设置在第一侧板(7)和第二侧板(8)之间的下段位置，一对支撑杆(6)的两端与该两侧板固定连接； 所述硅片夹持部分包括两组条刷支撑机构， 每组条刷支撑机构包含一个条刷(2)、若干个条刷固定块(3)、两个扭簧(4)和一个支承轴(5)，条刷(2)同时固定于每组条刷固定块(3)上的条刷安装槽(12)中，条刷固定块(3)上设有第一孔(10)，每组条刷固定块(3)均通过各自的第一孔(10)同轴穿在同一个支承轴(5)上；每个支承轴(5) —端与第一侧板(7)连接，每个支承轴(5)另一端与第二侧板(8)连接。
2.根据权利要求I所述的硅片清洗脱胶夹具，其特征在于所述的每个支承轴(5)两端各设置有一个扭簧(4),其中一个扭簧(4) 一端与第一侧板(7)固定连接,另一端和手柄(13)固定连接；另一个扭簧(4) 一端与第二侧板(8)固定连接,另一端和手柄(13)固定连接。
3.根据权利要求I所述的硅片清洗脱胶夹具，其特征在于所述的条刷固定块(3)还设有第二孔(11)，所述每组条刷固定块(3)的第二孔(11)内共同穿有一转动轴。
专利摘要本实用新型公开了一种硅片清洗脱胶夹具，包含脱胶篮和硅片夹持部分，脱胶篮包括平行设置的第一侧板和第二侧板、以及安装于两侧板之间的一对横杆和一对支撑杆，一对横杆设置在该两侧板相对面的上段位置，一对支撑杆设置在该两侧板相对面的下段位置；硅片夹持部分包括两组条刷支撑机构，每组条刷支撑机构包含一个条刷、若干个条刷固定块、两个扭簧和一个支承轴，条刷同时固定于每组条刷固定块上的条刷安装槽中，条刷固定块上设有第一孔，每组条刷固定块通过第一孔同轴穿在同一个支承轴上；每个支承轴两端分别与第一侧板及第二侧板连接。本实用新型的装置，结构合理，彻底解决了硅片易滑倒、良品率低的问题。
文档编号B08B13/00GK202762707SQ20122033448
公开日2013年3月6日 申请日期2012年7月11日 优先权日2012年7月11日
发明者郑军锋, 申朝锋 申请人:西安隆基硅材料股份有限公司, 无锡隆基硅材料有限公司, 宁夏隆基硅材料有限公司, 银川隆基硅材料有限公司