硅片洗净机的制作方法

文档序号:1345665阅读:186来源:国知局
专利名称:硅片洗净机的制作方法
技术领域
本实用新型涉及太阳能硅片清洗设备,尤其涉及一种硅片洗净机。
背景技术
洗净是硅片生产过程中的一项重要工序,洗净分为预洗和使用药液进行机洗两个过程。在预洗之后,洗净机用药液将硅片表面的金属离子、砂浆及油污清洗干净,为了给药液加温,洗净机上安装有加热器,但是,现有技术的洗净机的加热器暴露在外边,在运送硅片的过程中,运料车经常会与加热器发生碰撞,使加热器受到损坏,影响药液加温的效果和硅片清洗效果。
发明内容本实用新型所要解决的技术问题是:提供一种硅片洗净机,以避免加热器受到损坏。为解决上述技术问题,本实用新型的技术方案是:硅片洗净机,包括加热器,所述洗净机还包括罩设在所述加热器外侧的防护罩,所述防护罩的形状为方形,所述洗净机的输水管穿过所述防护罩。作为一种改进,所述防护罩的内部设置有两个所述加热器。作为一种改进,所述防护罩的背面开口。由于采用了上述技术方案,本实用新型的有益效果是:由于将加热器设置在防护罩的内部,使加热器不直接暴露在外部,避免了加热器与运料车直接相撞的现象发生,使加热器免受损坏,保证了加热器正常运行以及药液的正常加温,保障了硅片的清洗质量;由于输水管从防护罩中穿过,使防护罩安装位置固定,不易移位。
以下结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。


图1是本实用新型实施例的结构示意图;图中:1-加热器;2-防护罩;3-输水管。
具体实施方式

图1所示,硅片洗净机,包括加热器1,洗净机还包括罩设在加热器I外侧的防护罩2,防护罩2的形状为方形,洗净机的输水管3穿过防护罩2,使防护罩2固定在输水管3上。每个防护罩2的内部设置有两个加热器I。防护罩2的背面开口,可以节省原材料。由于将加热器设置在防护罩的内部,使加热器不直接暴露在外部,避免了加热器与运料车直接相撞的现象发生,使加热器免受损坏,保证了加热器正常运行以及药液的正常加温,保障了硅片的清洗质量;由于输水管从防护罩中穿过,使防护罩安装位置固定,不易移位。以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解,本实用新型不受上述实施例的限制,在不脱离本实用新型精神和范围的前提下,本实用新型还会有各种变化和改进,这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
权利要求1.硅片洗净机,包括加热器,其特征在于:所述洗净机还包括罩设在所述加热器外侧的防护罩,所述防护罩的形状为方形,所述洗净机的输水管穿过所述防护罩。
2.如权利要求1所述的硅片洗净机,其特征在于:所述防护罩的内部设置有两个所述加热器。
3.如权利要求1或2所述的硅片洗净机,其特征在于:所述防护罩的背面开口。
专利摘要本实用新型公开了一种硅片洗净机,包括加热器,所述洗净机还包括罩设在所述加热器外侧的防护罩,所述防护罩的形状为方形,所述洗净机的输水管穿过所述防护罩。由于将加热器设置在防护罩的内部,使加热器不直接暴露在外部,避免了加热器与运料车直接相撞的现象发生,使加热器免受损坏,保证了加热器正常运行以及药液的正常加温,保障了硅片的清洗质量;由于输水管从防护罩中穿过,使防护罩安装位置固定,不易移位。
文档编号B08B3/10GK202984178SQ20122075062
公开日2013年6月12日 申请日期2012年12月31日 优先权日2012年12月31日
发明者王东梅 申请人:宇骏(潍坊)新能源科技有限公司
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