水洗腔室的排液方法及装置制造方法

文档序号:1451898阅读:127来源:国知局
水洗腔室的排液方法及装置制造方法
【专利摘要】本发明提供一种水洗腔室的排液方法及装置,所述方法包括如下步骤:步骤1、提供水洗腔室;步骤2、设置与水洗腔室连接的废水排放管道及废液排放管道,所述废水排放管道及废液排放管道分别通过一阀门与水洗腔室连通;步骤3、在水洗腔室内设置探测器用于探测水洗腔室内预定成份的浓度;步骤4、根据探测器的探测结果,开启阀门连通废水排放管道或废液排放管道,从而排放水洗腔室内的液体。本发明实现了根据水洗腔室的液体中有害物质浓度的不同,对废水和废液进行分类回收,大幅度降低了废液排放量与废液处理费用;节约了制造成本,提高了产品竞争力。
【专利说明】水洗腔室的排液方法及装置
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种液晶显示面板制造领域,尤其涉及一种水洗腔室的排液方法及装置。
【背景技术】
[0002]平面显示器件具有机身薄、省电、无辐射等众多优点,得到了广泛的应用。现有的平面显示器件主要包括液晶显示器件(LiquidCrystal Display,IXD)及有机电致发光显示器件(Organic Light Emitting Display, OLED)。
[0003]现有的液晶显不器件一般为背光型液晶显不器件,其包括:壳体、设于壳体内的液晶显示面板及设于壳体内的背光模组(backlight module)。液晶显示面板的工作原理是在两片平行的玻璃基板当中放置液晶分子,并在两玻璃基板上施加驱动电压来控制液晶分子的旋转,从而将背光模组的光线折射出来产生画面。
[0004]通常液晶显示面板由彩色滤光膜(Color Filter, CF)基板、薄膜晶体管(ThinFilm Transistor, TFT)基板、夹于彩色滤光膜基板与薄膜晶体管基板之间的液晶(LiquidCrystal,LC)材料及密封胶框(Sealant)组成,其成型工艺一般包括:前段阵列(Array)制程(薄膜、黄光、蚀刻及剥膜)、中段成盒(Cell)制程(薄膜晶体管基板与彩色滤光膜基板贴合)及后段模组组装制程(驱动电路(IC)与印刷电路板压合)。
[0005]在液晶显示面板的前段阵列(Array)制程中,有许多湿制程需要使用药液,在完成药液处理制程后一般都需要进行水洗处理,以洗去残留的药液,由于现有的水洗腔室的排液装置无法对有害物质浓度低的废水和有害物质浓度高的废液进行区分以及分类排放,最终造成排放的废液量很大,由于废液需要委托到处理站进行清理,成本较高,而废水则可以排放到公司废水站处理,节约费用,因此废液的大量排放会产生大量的费用。
[0006]请参阅图1,为现有的水洗腔室的排液装置的结构示意图,其包括水洗腔室2及排水管4。工作时,水洗腔室2中的液体经排水管4直接排出,这种方法排出的废液量大,处理废液的成本高。因此如何降低废液的排放量,以节省制造成本,成为本领域技术人员亟需研究的课题。

【发明内容】

[0007]本发明的目的在于提供一种水洗腔室的排液方法,可以根据水洗腔室的液体中有害物质浓度的不同,实现对废水和废液的分类回收,降低了废液排放量以及废液处理费用。
[0008]本发明的又一目的在于提供一种水洗腔室的排液装置,通过在水洗腔室的排液口安装一探测器,其与控制单元电性连接,根据探测器侦测到有害物质浓度的不同分别控制废水排放管道或废液排放管道的阀门开启,实现对废水和废液的分类回收,降低了废液排放量以及废液处理费用。
[0009]为实现上述目的,本发明供一种水洗腔室的排液方法,包括如下步骤:
[0010]步骤1、提供水洗腔室;[0011]步骤2、设置与水洗腔室连接的废水排放管道及废液排放管道,所述废水排放管道及废液排放管道分别通过一阀门与水洗腔室连通;
[0012]步骤3、在水洗腔室内设置探测器用于探测水洗腔室内预定成份的浓度;
[0013]步骤4、根据探测器的探测结果,开启阀门连通废水排放管道或废液排放管道,从而排放水洗腔室内的液体。
[0014]所述水洗腔室用于TFT-1XD的湿制程。
[0015]所述阀门为自动阀。
[0016]所述探测器连接一控制单元,该控制单元电性连接所述阀门,该探测器将探测结果传送给控制单元,控制单元根据该探测结果决定开启废水排放管道或废液排放管道的阀门。
[0017]所述水洗腔室设有排液口,所述废水排放管道及废液排放管道分别通过阀门连接于该排液口,所述探测器安装于排液口。
[0018]所述步骤5中,当所述预定成份的浓度等于或大于预定值时,开启阀门连通废液排放管道;当所述预定成份的浓度低于预定值时,开启阀门连通废水排放管道。
[0019]本发明还提供一种水洗腔室的排液装置,包括水洗腔室、分别与水洗腔室连接的废水排放管道与废液排放管道、探测器及控制单元,所述废水排放管道及废液排放管道分别通过一阀门与水洗腔室连通,所述阀门为自动阀,所述探测器与控制单元电性连接,所述阀门分别与控制单元电性连接。
[0020]所述水洗腔室用于TFT-1XD的湿制程。
[0021 ] 所述水洗腔室设有排液口,所述废水排放管道及废液排放管道分别通过阀门连接于该排液口。
[0022]所述探测器安装于排液口。
[0023]本发明的有益效果:本发明提供的一种水洗腔室的排液方法及装置,通过设置与水洗腔室连接的废水排放管道及废液排放管道,所述废水排放管道及废液排放管道分别通过一阀门与水洗腔室连通;在水洗腔室内设置探测器用于探测水洗腔室内预定成份的浓度;根据探测器的探测结果,开启阀门连通废水排放管道或废液排放管道,从而排放水洗腔室内的液体。本发明实现了根据水洗腔室的液体中有害物质浓度的不同,对废水和废液进行分类回收,大幅度降低了废液排放量与废液处理费用;节约了制造成本,提高了产品竞争力。
[0024]为了能更进一步了解本发明的特征以及技术内容,请参阅以下有关本发明的详细说明与附图,然而附图仅提供参考与说明用,并非用来对本发明加以限制。
【专利附图】

【附图说明】
[0025]下面结合附图和实施例对发明的技术方案做进一步的详细描述。
[0026]图1为现有水洗腔室的排液装置的结构示意图;
[0027]图2为本发明水洗腔室的排液方法的流程图;
[0028]图3为本发明水洗腔室的排液装置的结构示意图;
[0029]图4为本发明水洗腔室的排液装置的控制部分的电性连接图。【具体实施方式】
[0030]为更进一步阐述本发明所采取的技术手段及其效果,以下结合本发明的优选实施例及其附图进行详细描述。
[0031]请参阅图2,本发明提供一种水洗腔室的排液方法,包括如下步骤:
[0032]步骤1、提供水洗腔室。
[0033]所述水洗腔室用于TFT-1XD的湿制程。
[0034]步骤2、设置与水洗腔室连接的废水排放管道及废液排放管道,所述废水排放管道及废液排放管道分别通过一阀门与水洗腔室连通。
[0035]所述阀门为自动阀。
[0036]所述水洗腔室设有排液口,所述废水排放管道及废液排放管道分别通过所述阀门连接于该排液口。
[0037]步骤3、在水洗腔室内设置探测器用于探测水洗腔室内预定成份的浓度。
[0038]所述探测器安装于排液口,且连接一控制单元,该控制单元电性连接所述阀门,该探测器将探测结果传送给控制单元,控制单元根据该探测结果决定开启废水排放管道或废液排放管道的阀门。
[0039]步骤4、根据探测器的探测结果,开启阀门连通废水排放管道或废液排放管道,从而排放水洗腔室内的液体。
[0040]当所述预定成份的浓度等于或大于预定值时,开启阀门连通废液排放管道;当所述预定成份的浓度低于预定值时,开启阀门连通废水排放管道。
[0041]例如,所述预定成分为氟离子,所述探测器为氟离子探测器,当氟离子浓度大于15ppm时,开启阀门连通废液排放管道,所述水洗腔室内的液体作为废液排放,并委托到处理站进行清理;当氟离子浓度小于15ppm时,开启阀门连通废水排放管道,所述水洗腔室内的液体作为废水直接排放到公司废水站回收处理。
[0042]请参阅图3-4,本发明还提供一种水洗腔室的排液装置,包括水洗腔室21、分别与水洗腔室连接的废水排放管道31与废液排放管道32、探测器51及控制单元61,所述废水排放管道31与废液排放管道32分别通过阀门41和42与水洗腔室21连通,所述阀门41和42为自动阀,所述探测器51与控制单元61电性连接,所述阀门41和42分别与控制单元61电性连接。
[0043]所述水洗腔室21用于TFT-1XD的湿制程。
[0044]所述水洗腔室21设有排液口 71,所述废水排放管道31与废液排放管道32分别通过阀门41和42连接于该排液口 71。
[0045]所述探测器51安装于排液口 71。所述探测器51用于探测水洗腔室21内预定成份的浓度。
[0046]综上所述,本发明提供的一种水洗腔室的排液方法及装置,通过设置与水洗腔室连接的废水排放管道及废液排放管道,所述废水排放管道及废液排放管道分别通过一阀门与水洗腔室连通;在水洗腔室内设置探测器以探测水洗腔室内预定成份的浓度;根据探测器的探测结果,开启阀门连通废水排放管道或废液排放管道,从而排放水洗腔室内的液体。本发明实现了根据水洗腔室的液体中有害物质浓度的不同,对废水和废液进行分类回收,大幅度降低了废液排放量与废液处理费用;节约了制造成本,提高了产品竞争力。[0047]以上所述,对于本领域的普通技术人员来说,可以根据本发明的技术方案和技术构思作出其他各种相应的改变和变形,而所有这些改变和变形都应属于本发明权利要求的保护范围。
【权利要求】
1.一种水洗腔室的排液方法,其特征在于,包括如下步骤: 步骤1、提供水洗腔室; 步骤2、设置与水洗腔室连接的废水排放管道及废液排放管道,所述废水排放管道及废液排放管道分别通过一阀门与水洗腔室连通; 步骤3、在水洗腔室内设置探测器用于探测水洗腔室内预定成份的浓度; 步骤4、根据探测器的探测结果,开启阀门连通废水排放管道或废液排放管道,从而排放水洗腔室内的液体。
2.如权利要求1所述的水洗腔室的排液方法,其特征在于,所述水洗腔室用于TFT-LCD的湿制程。
3.如权利要求1所述的水洗腔室的排液方法,其特征在于,所述阀门为自动阀。
4.如权利要求3所述的水洗腔室的排液方法,其特征在于,所述探测器连接一控制单元,该控制单元电性连接所述阀门,该探测器将探测结果传送给控制单元,控制单元根据该探测结果决定开启废水排放管道或废液排放管道的阀门。
5.如权利要求1所述的水洗腔室的排液方法,其特征在于,所述水洗腔室设有排液口,所述废水排放管道及废液排放管道分别通过阀门连接于该排液口,所述探测器安装于排液□。
6.如权利要求1所述的水洗腔室的排液方法,其特征在于,所述步骤5中,当所述预定成份的浓度等于或大于预定值时,开启阀门连通废液排放管道;当所述预定成份的浓度低于预定值时,开启阀门连通废水排放管道。
7.一种水洗腔室的排液装置,其特征在于,包括水洗腔室、分别与水洗腔室连接的废水排放管道与废液排放管道、探测器及控制单元,所述废水排放管道及废液排放管道分别通过一阀门与水洗腔室连通,所述阀门为自动阀,所述探测器与控制单元电性连接,所述阀门分别与控制单元电性连接。
8.如权利要求7所述的水洗腔室的排液装置,其特征在于,所述水洗腔室用于TFT-LCD的湿制程。
9.如权利要求7所述的水洗腔室的排液装置,其特征在于,所述水洗腔室设有排液口,所述废水排放管道及废液排放管道分别通过阀门连接于该排液口。
10.如权利要求9所述的水洗腔室的排液装置,其特征在于,所述探测器安装于排液□。
【文档编号】B08B3/00GK104014496SQ201410245704
【公开日】2014年9月3日 申请日期:2014年6月4日 优先权日:2014年6月4日
【发明者】李嘉 申请人:深圳市华星光电技术有限公司
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