专利名称：一种在线镀膜的方法
技术领域：
本发明涉及一种对浮法玻璃进行在线镀膜的方法。
我国目前生产和在建浮法玻璃生产线已有几十条，浮法玻璃成为当前建筑玻璃的主导产品。目前国内浮法玻璃质量档次低，化学稳定性差，玻璃表面损伤多，经常出现玻璃表面发霉和玻璃粘片，甚至由于玻璃表面发霉出现整幢大楼犹如穿上迷彩服，尽管采取在玻璃片之间夹纸和加防霉剂等措施，但效果还是有限，严重地影响玻璃的使用，导致了中高档平板玻璃(如镀膜、夹层等玻璃)仍需进口的局面。
较早出现的氧氮玻璃就是适应这种需要而产生的，它作为一种特种玻璃，具有普通玻璃难以相比的高硬度、高强度、低热膨胀系数以及高耐磨性等优异性质，理论上有着广泛的应用前景。但由于制备工艺的局限性，常需很高的温度、特种坩埚和无氧气氛等，并且几乎所有的块氧氮玻璃都有浅灰色，有的甚至成了黑色，透光性能差，价格昂贵，难以实现工业化，限制了氧氮玻璃的广泛应用。
本发明结合浮法玻璃能大规模生产、成本低、性能稳定和氧氮玻璃优良力学和化学性能的特点，直接对浮法玻璃进行在线镀膜深加工，在保持原有浮法玻璃生产工艺和光学性能的同时，大幅度地提高其硬度、强度和化学稳定性，避免玻璃霉变和粘片，提高我国浮法玻璃档次，在同等强度要求情况下，能降低玻璃自重，减轻建材玻璃、汽车玻璃的重量。同时，采用SiH4-NH3-N2-H2O系统在线制备含Si、N、O的复合薄膜，由于SiH4亲氧能力很强，能有效降低锡槽中残余氧和水的浓度，起到保护锡槽锡氧化和减少玻璃沾锡现象，提高玻璃质量，降低生产成本。
本发明的任务在于寻找合理的方法，在线对平板玻璃进行表面镀膜，改善其化学稳定性和表面力学性能。
本发明采用常压化学气相沉积技术，控制的技术参数如下N2的纯度 99.99％以上NH3/SiH4流量比例范围 0～100NH3中水汽含量 0～0.1％反应温度 600～750℃反应气体浓度 1～10％(N2稀释)沉积时间 1～10分钟在上述条件下，用常压化学气相沉积方法可以直接对浮法玻璃进行在线复合镀膜，制得的镀膜玻璃抗弯强度和硬度提高幅度较大，耐酸性、耐碱性良好，透光率变化不大，符合玻璃镀膜的质量要求。镀膜玻璃与平板玻璃的部分性能对比如下性能指标 退火平板玻璃 镀膜后平板玻璃抗弯强度 81.6MPa ＞90MPa硬度 6.8GPa＞7.2GPa透光率 90％ ＞75％本发明与氧氮玻璃的制备相比，具有以下优点①本发明在浮法玻璃上在线制备复合薄膜，以提高玻璃的力学性能和化学稳定性，在国内外研究中具有先进性和独创性。②本发明采用SiH4-NH3-N2-H2O系统在线制备含Si、O、N的薄膜，在制备薄膜同时，由于SiH4亲氧能力很强，能有效降低锡槽中残余氧和水的浓度，起到保护锡槽防止锡氧化和减少玻璃粘片现象，提高玻璃质量，降低生产成本。
以下所述实施例详细说明了本发明。在这些实施例中，除另有说明外，所有份数和百分比均按体积计。
在高温反应炉内，采用氮气作保护气，氮气纯度为99.99％，NH3/SiH4流量比例为15/1，NH3中水汽含量为0.001％，反应温度为650℃，反应时间为5分钟，用化学气相沉积法对平板玻璃进行表面镀膜，生成复合薄膜，制得的产品与平板玻璃相比，硬度提高30％，抗弯强度提高47％，透光率为80％，耐酸性、耐碱性良好，符合镀膜玻璃质量要求。
权利要求
1.一种对浮法玻璃进行在线复合镀膜的方法，其特征在于用化学气相沉积法对浮法玻璃直接在线镀膜，在玻璃表面进行镀膜时，采用SiH4-NH3-N2-H2O系统，炉内充氮气作保护气体，氮气纯度为99.99％，NH3/SiH4流量比例为0～100/1，NH3中水汽含量为0～0.1％，反应温度600～750℃，反应时间为1～10分钟，生成较高质量的复合薄膜(主要含Si、N、O)，使制得的镀膜玻璃抗弯强度和硬度提高幅度较大，耐酸性、耐碱性良好，透光率＞80％。
2.按照权利要求1所述的方法，其特征在于NH3/SiH4流量比例为10/1，NH3中水汽含量为0.001％，反应温度为650℃，反应时间1分钟。
3.按照权利要求1所述的方法，其特征在于NH3/SiH4流量比例为60/1，中水汽含量为0.01％，反应温度为650℃，反应时间10分钟。
4.按照权利要求1所述的方法，其特征在于NH3/SiH4流量比例为100/1，NH3中水汽含量为0.1％，反应温度为650℃，反应时间5分钟。
全文摘要
本发明公布了一种用常压化学气相法(APCVD)对浮法玻璃进行在线复合镀膜深加工的方法,镀膜时用SiH
文档编号C03C17/23GK1330048SQ0011891
公开日2002年1月9日 申请日期2000年6月15日 优先权日2000年6月15日
发明者杨辉, 葛曼珍, 孟祥森, 江仲华 申请人:浙江大学无机非金属材料研究所